一种靶材加工用抛光设备的制作方法

本发明涉及靶材加工，尤其涉及一种靶材加工用抛光设备。

背景技术：

1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

2、靶材的平整度和表面光洁度对最终产品的性能有着至关重要的影响，因此在靶材生产过程中需要进行抛光处理，传统的靶材抛光设备在进行抛光加工时无法对靶材的装夹平整度进行校准，当靶材出现偏移时会使得表面抛光均匀性差、易产生表面损伤，不能够保证靶材的高精度加工；因此我们提出一种靶材加工用抛光设备来解决这个问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种靶材加工用抛光设备，以解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种靶材加工用抛光设备，包括：

4、基座；

5、夹具，所述夹具用于装夹靶材并控制其旋转，所述夹具设置在所述基座的顶部；

6、校准机构，用于校准靶材的装夹平整度，所述校准机构包括第一电动推杆、平移座、升降台和旋转台，所述第一电动推杆固定安装在所述基座的内部，且所述平移座固定连接在所述平移座的一侧，所述平移座的顶部固定安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端固定连接在所述升降台的底部，且所述升降台的顶部固定连接有固定轴，所述旋转台转动套接在所述固定轴的外侧，所述旋转台的顶部固定安装有水箱，所述水箱的一侧固定安装有压缩筒，所述压缩筒的内部滑动安装有活塞板，所述活塞板的一侧固定连接有检测杆，所述检测杆的另一端固定连接有球形罩，所述球形罩内部设置有滚珠；

7、抛光机构，所述抛光机构包括固定板、第一横板、第二横板、安装架和抛光轮，所述抛光轮转动安装在所述安装架内，且所述第一横板的右侧铰接有滑板，所述滑板滑动连接在所述安装架的左侧，所述第二横板铰接在所述安装架的左侧，且所述固定板的固定安装在所述旋转台的顶部，且所述固定板的一侧开设有两个横向孔，所述第一横板和第二横板分别滑动连接在对应的所述横向孔内。

8、优选的，所述夹具包括圆壳、密封板和多个夹持板，多个所述夹持板的外侧均固定连接有连接杆，所述连接杆的另一端固定连接有梯形板，所述密封板滑动密封连接在所述圆壳内，且所述密封板的一侧固定连接有多个支架，所述支架内转动安装有转轮，所述转轮活动抵接在对应的所述梯形板的外侧，且所述梯形板的内侧固定连接有连接弹簧，所述圆壳的内部固定安装有固定环，所述连接弹簧的另一端固定连接在所述固定环的外侧，所述圆壳的一侧连通有多个吸盘。

9、优选的，所述基座的顶部固定安装有安装板和两个立板，所述安装板的一侧固定连接有气缸，所述气缸的输出端上固定连接有圆板，所述圆板转动连接在所述密封板的一侧，所述密封板的一侧固定连接有限位罩，所述限位罩的侧壁上转动连接有多个限位轮，所述限位轮活动抵接在所述圆板的一侧，所述圆壳的一侧固定连接有转筒，两个所述立板均转动套接在所述转筒的外侧；

10、所述转筒的外侧固定套接有从动带轮，所述基座的顶部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固定连接有主动带轮，所述主动带轮与所述从动带轮上传动安装有同一个皮带。

11、优选的，所述基座的顶部固定安装有控制器，所述安装架的顶部固定安装有抛光电机，所述抛光轮固定安装在所述抛光电机的输出轴上，所述水箱的顶部固定安装有密封盒，所述密封盒的内部滑动密封安装有检测板，密封盒的侧壁上固定连接有横向弹簧和第一按钮，所述横向弹簧的另一端与所述检测板固定连接，所述第一横板的底部固定安装有第二按钮，所述水箱的一侧固定安装有第三按钮，所述第一按钮、第二按钮、第三按钮、抛光电机、气缸与所述控制器电性连接，所述第一按钮受到按压后通过控制器控制气缸的输出端伸出，所述第二按钮和第三按钮受到按压后控制抛光电机停止运转。

12、优选的，所述安装架的一侧开设有滑槽，所述滑板滑动连接在滑槽内，且所述滑槽内固定安装有竖杆，所述滑板滑动套接在所述竖杆的外侧，所述第一横板和第二横板的底部均固定连接有压簧，所述压簧的另一端固定连接在所述固定板的一侧，所述水箱的右侧固定连接有两个连接弹簧和两个横杆，两个连接弹簧的另一端固定连接有同一个侧板，所述侧板滑动套接在两个所述横杆的外侧，且所述第一横板和第二横板均活动抵接在所述侧板的右侧，所述侧板左移后会触碰第三按钮，所述第二横板的顶部固定连接有推板，所述第二横板的底部固定连接有竖向弹簧，所述竖向弹簧的底端固定连接有弧形板，所述第二横板的顶部固定连接有顶杆，所述顶杆活动抵接在所述弧形板的底部，且所述弧形板上移后会按压第一按钮，所述弧形板的顶部固定连接有两个圆杆，所述第一横板滑动套接在两个所述圆杆的外侧。

13、优选的，所述固定轴的顶端固定连接有挡板，所述挡板活动密封抵接在所述水箱的顶部内壁上，且所述水箱的顶部和密封盒的底部均开设有漏水口。

14、优选的，所述压缩筒的顶部和底部分别连通有出水管和进水管，所述出水管和进水管内分别设置有第一单向阀和第二单向阀，且所述出水管的另一端与所述密封盒连通，所述进水管的另一端与所述水箱连通。

15、优选的，所述基座的一侧固定连接有两个导向板，所述平移座滑动套接在两个所述导向板的外侧，且所述平移座的顶部固定连接有多个导向柱，所述升降台的底部固定连接有多个导向筒，所述导向筒滑动套接在对应的所述导向柱的外侧。

16、优选的，所述旋转台的底部固定安装有外齿环和内限位环，所述升降台的顶部固定连接有旋转电机和外限位环，所述外限位环转动套接在所述内限位环的外侧，且所述旋转电机的输出轴上固定连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述外齿环相啮合，所述圆壳的一侧固定连接有环形板，所述环形板和圆壳的外侧均开设有多个滑孔，所述连接杆滑动连接在对应的所述滑孔内；

17、所述活塞板的另一侧固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的另一端固定连接在所述压缩筒的侧壁上；

18、所述圆壳的内部固定安装有多个竖板，所述竖板滑动套接在对应的所述支架的外侧。

19、本发明的有益效果在于：

20、本发明中，所述的一种靶材加工用抛光设备，通过将需要抛光加工的圆盘状靶材置于圆壳的一侧，并使其与多个吸盘抵接，然后启动气缸带动密封板向左运动，使得圆壳内的气压降低，从而在吸盘处产生吸力，对靶材进行吸附，同时密封板带动多个支架和多个转轮向左运动，转轮通过与梯形板的抵接带动多个连接杆相互靠近，多个连接杆带动多个夹持板相互靠近，实现对靶材的装夹；

21、本发明中，所述的一种靶材加工用抛光设备，通过启动第一电动推杆带动滑动座横向移动，使得滚珠抵接在靶材表面，然后启动旋转电机带动主动带轮旋转，主动带轮通过皮带与从动带轮的传动带动转筒和圆壳旋转，圆壳带动靶材旋转，当靶材装夹不平整时，靶材旋转时会推动滚珠带动活塞板在压缩筒内移动，并通过复位弹簧对活塞板进行复位，活塞板在来回移动时会通过进水管对水箱内的水进行抽取，并通过出水管导入密封盒内，第一单向阀和第二单向阀的导通方向均为由下向上，从而通过第一单向阀和第二单向阀保证水流按照上述方向流通、防止逆流，同时可启动第二电动推杆带动升降盘进行升降，从而对靶材的不同位置进行检测，随着水流进入密封盒内推动检测板向右移动，并对第一按钮进行按压，第一按钮受到按压后将信息传递至控制器，控制器控制气缸的输出端伸长从而带动活塞板向右运动，解除对于靶材的装夹固定，从而可重新调整靶材的位置进行装夹，再次装夹后，通过上述方式重新对靶材装夹位置进行检测，检测到滚珠移动至圆壳中部时，停止检测；

22、本发明中，所述的一种靶材加工用抛光设备，通过启动驱动电机带动驱动齿轮旋转，驱动齿轮通过与外齿环的啮合带动旋转台旋转半圈，使得抛光轮对准左侧，然后启动抛光电机带动抛光轮旋转，第二电动推杆带动旋转台和抛光轮横向移动，第二电动推杆带动抛光轮进行升降，并通过启动旋转带动靶材旋转，使得抛光轮对靶材的不同位置进行抛光处理；

23、本发明中，所述的一种靶材加工用抛光设备，抛光过程中当抛光轮受到靶材的反作用力会推动安装架带动第一横板和第二横板进行移动，当靶材出现倾斜时，会使得第一横板和第二横板的横移距离不一致，从而使得顶杆会相对于弧形板进行水平移动，顶杆推动弧形板带动运动并对第二按钮进行按压，从而通过控制器控制抛光电机停止运转，从而停止抛光工作，且在当抛光轮的横向进给过快时会使得第一横板和第二横板的移动距离扩大，从而使得第一横板或第二横板对侧板进行挤压，并通过侧板对第三按钮进行挤压，从而可停止抛光工作，以保证抛光质量；

24、本发明中，所述的一种靶材加工用抛光设备，在抛光完成后通过校准机构对抛光盘进行的表面平整度进行检测，当反复检测第一按钮仍然未围绕挤压时，则说明抛光效果达到要求；

25、本发明中，所述的一种靶材加工用抛光设备，能够在抛光前和抛光过程中对靶材的装夹平整度进行检测和校准，并能够在抛光完成后检测抛光效果，从而保证抛光精细度。