一种气压控制装置的制作方法

本发明涉及半导体设备，特别是涉及一种气压控制装置。

背景技术：

1、随着晶圆制程节点的越来越高，对化学机械抛光设备的要求也越来越高，影响设备制程节点的主要因素就是抛光头。抛光头的核心技术指标是气体压力的控制精度。为了提高气体压力的控制精度，控制气路越来越复杂，从而导致所需占用的空间较大，在空间受限的情况下无法满足安装需求。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有技术中为了提高抛光头的气压控制精度，控制气路越来越复杂，从而导致所需占用的空间较大，在空间受限的情况下无法满足安装需求的问题，提供一种改善上述缺陷的气压控制装置。

2、一种气压控制装置，包括：

3、底座，开设有正压输入口、负压输入口和多个出气口；

4、多个气压控制组件，均安装在所述底座上，所述底座内部还开设有气流通道，每一所述气压控制组件通过所述气流通道与所述正压输入口和所述负压输入口连通，每一所述气压控制组件通过所述气流通道与对应的所述出气口连通；

5、其中，每一所述气压控制组件用于将所述负压输入口的负压和/或所述正压输入口的正压引入至对应的所述出气口，并控制对应的所述出气口的气压大小。

6、在其中一个实施例中，每一所述气压控制组件包括均安装在所述底座上的第一切换阀、第二切换阀和第三切换阀；

7、所述第一切换阀具有第一输入口和第一输出口，所述第一输入口通过所述气流通道与所述正压输入口连通；所述第二切换阀具有第二输入口和第二输出口，所述第二输入口通过所述气流通道与所述负压输入口连通；所述第三切换阀具有第三输入口和第三输出口，所述第三输入口通过所述气流通道与所述第一输出口和第二输出口连通，所述第三输出口通过所述气流通道与对应的所述出气口连通；

8、其中，所述第一切换阀被配置为能够控制所述第一输入口与所述第一输出口导通或截止，所述第二切换阀被配置为能够控制所述第二输入口与所述第二输出口导通或截止，所述第三切换阀被配置为能够控制所述第三输入口与所述第三输出口导通或截止。

9、在其中一个实施例中，每一所述气压控制组件还包括安装在所述底座上的气压检测件，所述气压检测件通过所述气流通道与所述第三输出口和对应的所述出气口连通，用于检测所述出气口的气压；

10、所述气压检测件与所述第二切换阀通讯连接，以使所述第二切换阀能够根据所述气压检测件的检测结果控制所述第二输入口与所述第二输出口导通或截止。

11、在其中一个实施例中，所述第三切换阀还包括第四输入口，所述第四输入口通过所述气流通道与所述负压输入口连通；所述第三切换阀被配置为能够控制所述第三输入口和所述第四输入口择一地与所述第三输出口导通。

12、在其中一个实施例中，所述第三切换阀可受控地在第一状态、第二状态和第三状态之间切换；所述第三切换阀在所述第一状态时，所述第三输入口与所述第三输出口导通，所述第四输入口与所述第三输出口截止；所述第三切换阀在所述第二状态时，所述第四输入口与所述第三输出口导通，所述第三输入口与所述第三输出口截止；所述第三切换阀在所述第三状态时，所述第三输入口与所述第三输出口截止，所述第四输入口与所述第三输出口截止。

13、在其中一个实施例中，每一所述气压控制组件还包括安装在所述底座上的第四切换阀，所述第四切换阀具有第五输入口和第四输出口，所述第五输入口与大气连通，所述第四输出口通过所述气流通道与所述第三输出口和对应的所述出气口连通；

14、所述第四切换阀被配置为能够控制所述第五输入口与所述第四输出口导通或截止。

15、在其中一个实施例中，每一所述气压控制组件包括均安装在所述底座上的第一控制阀和第二控制阀；

16、所述第一控制阀具有第一进口和第一出口，所述第二控制阀具有第二进口、第三进口和第二出口，所述第一进口通过所述气流通道与所述正压输入口连通，所述第一出口通过所述气流通道与所述第二进口连通，所述第三进口通过所述气流通道与所述负压输入口连通，所述第二出口通过所述气流通道与对应的所述出气口连通；

17、所述第一控制阀被配置为能够控制由所述第一出口输出的气压大小，所述第二控制阀被配置为能够控制所述第二进口和所述第三进口择一地与所述第二出口导通。

18、在其中一个实施例中，每一所述气压控制组件还包括安装在所述底座上的气压检测件，所述气压检测件通过所述气流通道与所述第二出口和对应的所述出气口连通，用于检测所述出气口的气压；

19、所述气压检测件与所述第一控制阀通讯连接，以使所述第一控制阀根据所述气压检测件的检测结果控制由所述第一出口输出的气压大小。

20、在其中一个实施例中，每一所述气压控制组件还包括安装在所述底座上的第三控制阀，所述第三控制阀具有第四进口、第五进口和第三出口，所述第四进口通过所述气流通道与所述第二出口连通，所述第五进口通过所述气流通道与大气连通，所述第三出口通过所述气流通道与对应的所述出气口连通；

21、所述第三控制阀被配置为能够控制所述第四进口和所述第五进口择一地与所述第三出口导通。

22、在其中一个实施例中，每一所述气压控制组件还包括安装在所述底座上的第四控制阀，所述第四控制阀具有第六进口和第四出口，所述第六进口通过所述气流通道与所述第三出口连通，所述第四出口通过所述气流通道与对应的所述出气口连通；

23、所述第四控制阀被配置为能够控制所述第六进口与所述第四出口导通或截止。

24、在其中一个实施例中，所述底座具有底面和与所述底面相背离的安装面，各个所述气压控制组件均安装在所述安装面上；

25、所述底座还具有连接在所述底面与所述安装面之间的进气侧面和出气侧面，所述负压输入口和所述正压输入口位于所述进气侧面，各个所述出气口位于所述出气侧面。

26、如此，上述气压控制装置将各个气压控制组件集成安装在底座上，并利用底座内部开设的气流通道与正压输入口、负压输入口和对应的出气口连通，从而使得各个气压控制组件能够精确控制各个出气口输出的气压。与现有技术相比，本申请中的气压控制装置在确保气压控制精度的前提下，大大减少了管路连接，且结构更加紧凑，从而所需占用的空间较小，能够更好的满足在空间受限的情况下的安装需求。

技术特征：

1.一种气压控制装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气压控制装置，其特征在于，每一所述气压控制组件(20)包括均安装在所述底座(10)上的第一切换阀(21)、第二切换阀(22)和第三切换阀(23)；

3.根据权利要求2所述的气压控制装置，其特征在于，每一所述气压控制组件(20)还包括安装在所述底座(10)上的气压检测件(25)，所述气压检测件(25)通过所述气流通道(c)与所述第三输出口(b3)和对应的所述出气口(b)连通，用于检测所述出气口(b)的气压；

4.根据权利要求2所述的气压控制装置，其特征在于，所述第三切换阀(23)还包括第四输入口(a4)，所述第四输入口(a4)通过所述气流通道(c)与所述负压输入口(a2)连通；所述第三切换阀(23)被配置为能够控制所述第三输入口(a3)和所述第四输入口(a4)择一地与所述第三输出口(b3)导通。

5.根据权利要求4所述的气压控制装置，其特征在于，所述第三切换阀(23)可受控地在第一状态、第二状态和第三状态之间切换；所述第三切换阀(23)在所述第一状态时，所述第三输入口(a3)与所述第三输出口(b3)导通，所述第四输入口(a4)与所述第三输出口(b3)截止；所述第三切换阀(23)在所述第二状态时，所述第四输入口(a4)与所述第三输出口(b3)导通，所述第三输入口(a3)与所述第三输出口(b3)截止；所述第三切换阀(23)在所述第三状态时，所述第三输入口(a3)与所述第三输出口(b3)截止，所述第四输入口(a4)与所述第三输出口(b3)截止。

6.根据权利要求2所述的气压控制装置，其特征在于，每一所述气压控制组件(20)还包括安装在所述底座(10)上的第四切换阀(24)，所述第四切换阀(24)具有第五输入口(a5)和第四输出口(b4)，所述第五输入口(a5)与大气连通，所述第四输出口(b4)通过所述气流通道(c)与所述第三输出口(b3)和对应的所述出气口(b)连通；

7.根据权利要求1所述的气压控制装置，其特征在于，每一所述气压控制组件(20)包括均安装在所述底座(10)上的第一控制阀(26)和第二控制阀(27)；

8.根据权利要求7所述的气压控制装置，其特征在于，每一所述气压控制组件(20)还包括安装在所述底座(10)上的气压检测件(25)，所述气压检测件(25)通过所述气流通道(c)与所述第二出口(d2)和对应的所述出气口(b)连通，用于检测所述出气口(b)的气压；

9.根据权利要求7所述的气压控制装置，其特征在于，每一所述气压控制组件(20)还包括安装在所述底座(10)上的第三控制阀(28)，所述第三控制阀(28)具有第四进口(c4)、第五进口(c5)和第三出口(d3)，所述第四进口(c4)通过所述气流通道(c)与所述第二出口(d2)连通，所述第五进口(c5)通过所述气流通道(c)与大气连通，所述第三出口(d3)通过所述气流通道(c)与对应的所述出气口(b)连通；

10.根据权利要求9所述的气压控制装置，其特征在于，每一所述气压控制组件(20)还包括安装在所述底座(10)上的第四控制阀(29)，所述第四控制阀(29)具有第六进口(c6)和第四出口(d4)，所述第六进口(c6)通过所述气流通道(c)与所述第三出口(d3)连通，所述第四出口(d4)通过所述气流通道(c)与对应的所述出气口(b)连通；

11.根据权利要求1至10任一项所述的气压控制装置，其特征在于，所述底座(10)具有底面(11)和与所述底面(11)相背离的安装面(12)，各个所述气压控制组件(20)均安装在所述安装面(12)上；

技术总结本发明涉及一种气压控制装置。该气压控制装置包括：底座，开设有正压输入口、负压输入口和多个出气口；多个气压控制组件，均安装在底座上，底座内部还开设有气流通道，每一气压控制组件通过气流通道与正压输入口和负压输入口连通，每一气压控制组件通过气流通道与对应的出气口连通；其中，每一气压控制组件用于将负压输入口的负压和/或正压输入口的正压引入至对应的出气口，并控制对应的出气口的气压大小。与现有技术相比，本申请中的气压控制装置在确保气压控制精度的前提下，本申请中的气压控制装置大大减少了管路连接，且结构更加紧凑，从而所需占用的空间较小，能够更好的满足在空间受限的情况下的安装需求。技术研发人员：庞金明,杨思远,黄荣上受保护的技术使用者：吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/20