气浮托盘组件和外延生长设备的制作方法

本申请涉及外延生长，尤其涉及一种气浮托盘组件和外延生长设备。

背景技术：

1、外延生长设备中，外延片放置在气浮托盘上，以对外延片的表面进行外延生长。当外延生长设备对外延片的表面进行外延生长时，需要气浮托盘悬浮。

2、但是，现有的吹气结构对气浮托盘吹气使气浮托盘悬浮时，吹气不均，导致气浮托盘难以平稳悬浮。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种气浮托盘组件和外延生长设备，以解决吹气结构对气浮托盘吹气使气浮托盘悬浮时，吹气不均，导致气浮托盘难以平稳悬浮的问题。

2、第一方面，本申请一实施例提供了一种气浮托盘组件，应用于外延生长设备，气浮托盘组件被配置为对外延片进行支撑，以使外延生长设备对外延片进行外延生长；其中，气浮托盘组件包括：气浮托盘，被配置为承载外延片，气浮托盘下表面具有中心盲孔和与中心盲孔同轴设置的第一圆形凹槽，第一圆形凹槽的槽底具有多个导流槽，多个导流槽与中心盲孔连通，并沿中心盲孔的周向均布；承载板，设置于气浮托盘的下方，承载板的上表面具有与第一圆形凹槽同轴设置的第二圆形凹槽，第一圆形凹槽与第二圆形凹槽扣合形成分流腔室；中心柱，中心柱的第一端与承载板连接，中心柱的第二端插接在中心盲孔中，其中，中心柱的第一端与中心柱的第二端沿中心柱的轴向设置，中心柱具有沿中心柱的轴向贯穿中心柱的进气孔；其中，在气体被输送至进气孔的情况下，气体由进气孔进入中心盲孔，并由中心盲孔经多个导流槽进入分流腔室，以利用气体支撑气浮托盘。

3、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，承载板的上表面还具有弧形长槽，弧形长槽与第二圆形凹槽连通，以使分流腔室内的气体流入弧形长槽。

4、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，弧形长槽的数量为多条，多条弧形长槽沿第二圆形凹槽的周向均布。

5、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，弧形长槽的槽深由弧形长槽的第一端至弧形长槽的第二端逐渐减小，弧形长槽的第一端是弧形长槽的与第二圆形凹槽连通的一端，弧形长槽的第二端是弧形长槽的远离第二圆形凹槽的一端。

6、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，气浮托盘的水平截面的形状为圆形，承载板的上表面具有圆形的承载凹槽，气浮托盘设置于承载凹槽，其中，第二圆形凹槽与弧形长槽均设置于承载凹槽的槽底。

7、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，承载凹槽的槽底还具有排气槽，排气槽与弧形长槽连通，并延伸至承载凹槽的边缘区域。

8、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，排气槽的槽宽小于弧形长槽的槽宽，和/或排气槽的槽深小于弧形长槽的槽深。

9、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，排气槽与弧形长槽的第二端连通。

10、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，气浮托盘组件还包括：下半月板，与承载板的下表面连接，下半月板的竖直截面形状包括弧形，下半月板的弯曲方向朝向承载板；盖板，设置于气浮托盘的上方，其中，盖板具有平行于盖板的测温孔；上半月板，与盖板的上表面连接，上半月板的竖直截面形状包括弧形，上半月板的弯曲方向朝向盖板；侧板，连接盖板与承载板。

11、第二方面，本申请一实施例提供了一种外延生长设备包括：第一方面任一项所述的气浮托盘组件。

12、本申请实施例提供的气浮托盘组件包括气浮托盘、承载板和中心柱，气浮托盘的下表面具有中心盲孔，中心柱的第一端与承载板连接，中心柱的第二端插接在中心盲孔中，中心柱具有沿中心柱的轴向贯穿中心柱的进气孔，使得当气体被输送至进气孔时，气体由进气孔进入中心盲孔，并由中心盲孔经周向均布的多个导流槽进入分流腔室，使得气体能够支撑气浮托盘，使气浮托盘浮起并保持悬浮状态，由于气浮托盘的下表面的第一圆形凹槽的槽底具有多个导流槽，导流槽沿中心盲孔的周向均布，使得气体流入中心盲孔后经导流槽均匀地流向第一圆形凹槽、第二圆形凹槽，使得气体均匀地分布在分流腔室，并由均匀分布在分流腔室的气体对气浮托盘下表面的第一圆形凹槽均匀施力，使气浮托盘被托起，并增加了气浮托盘被托起时的受力面积，避免了单一气孔直接吹向气浮托盘引起的气浮托盘歪斜、气浮托盘旋转时偏磨或者振动等问题，从而使气浮托盘受到均匀分布的支撑力，而被平稳、稳定地托起，并保持平稳悬浮。

技术特征：

1.一种气浮托盘组件，其特征在于，应用于外延生长设备，所述气浮托盘组件被配置为对外延片进行支撑，以使所述外延生长设备对所述外延片进行外延生长；

2.根据权利要求1所述的气浮托盘组件，其特征在于，所述承载板的上表面还具有弧形长槽，所述弧形长槽与所述第二圆形凹槽连通，以使所述分流腔室内的所述气体流入所述弧形长槽。

3.根据权利要求2所述的气浮托盘组件，其特征在于，所述弧形长槽的数量为多条，多条所述弧形长槽沿所述第二圆形凹槽的周向均布。

4.根据权利要求2所述的气浮托盘组件，其特征在于，所述弧形长槽的槽深由所述弧形长槽的第一端至所述弧形长槽的第二端逐渐减小，所述弧形长槽的第一端是所述弧形长槽的与所述第二圆形凹槽连通的一端，所述弧形长槽的第二端是所述弧形长槽的远离所述第二圆形凹槽的一端。

5.根据权利要求2所述的气浮托盘组件，其特征在于，所述气浮托盘的水平截面的形状为圆形，所述承载板的上表面具有圆形的承载凹槽，所述气浮托盘设置于所述承载凹槽，其中，所述第二圆形凹槽与所述弧形长槽均设置于所述承载凹槽的槽底。

6.根据权利要求5所述的气浮托盘组件，其特征在于，所述承载凹槽的槽底还具有排气槽，所述排气槽与所述弧形长槽连通，并延伸至所述承载凹槽的边缘区域。

7.根据权利要求6所述的气浮托盘组件，其特征在于，所述排气槽的槽宽小于所述弧形长槽的槽宽，和/或

8.根据权利要求6所述的气浮托盘组件，其特征在于，所述排气槽与所述弧形长槽的第二端连通。

9.根据权利要求1至8任一项所述的气浮托盘组件，其特征在于，还包括：

10.一种外延生长设备，其特征在于，包括：

技术总结本申请涉及外延生长技术领域，尤其涉及一种气浮托盘组件和外延生长设备。该气浮托盘组件的气浮托盘的下表面具有中心盲孔，中心柱一端与承载板连接，另一端插接在中心盲孔中，中心柱具有进气孔，气浮托盘下表面的第一圆形凹槽的槽底具有多个导流槽，导流槽沿中心盲孔的周向均布，当气体被输送至进气孔时，气体由进气孔进入中心盲孔，经导流槽均匀地流向第一圆形凹槽、第二圆形凹槽，使得气体均匀地分布在分流腔室，以对气浮托盘下表面的第一圆形凹槽均匀施力，使气浮托盘被托起，避免了单一气孔直接吹向气浮托盘引起的气浮托盘歪斜、气浮托盘旋转时偏磨或振动等问题，从而使气浮托盘受到均匀分布的支撑力，而被平稳、稳定地托起，并保持平稳悬浮。技术研发人员：廖家豪,谭湘达,邱淋鹏,柴攀,万强受保护的技术使用者：湖南德智新材料有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/27