一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备和方法与流程

本发明涉及真空镀膜领域，具体涉及一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备和方法。

背景技术：

1、镀膜设备上通过设置双腔室，可以提高镀膜效率。目前双腔室真空镀膜设备腔室之间镀膜产品装卸载采用磁力臂和旋转钩子相结合的装卸载装置，这种装卸载装置不但磁力传输力矩不够，而且磁力臂伸长后容易出现前端抖动的问题，造成装卸载不稳定，因此容易出现故障。另外，采用旋转钩子实现磁力臂与基片转盘小车的连接，该连接为硬连接，一旦旋转钩子没旋转到位，会导致整个基片转盘小车的装卸载无法完成，该结构不稳定，增加装卸载装置故障率。

技术实现思路

1、本发明的首要目的是提供一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其可以用于解决上述问题，提高装卸载的稳定性。

2、本发明采取的技术方案具体如下。

3、一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：包括第一腔室、第二腔室和用于装载待镀膜工件的装载装置，装载装置活动安装在第一腔室和第二腔室之间，第一腔室和第二腔室之间设置有供装载装置移动的连接通道，连接通道处设置有用于调节连接通道的连通状态的第一调节装置，还设置有用于调节装载装置在第一腔室和第二腔室之间进行移动的第二调节装置，装载装置上具有第一连接部，第二调节装置具有第二连接部，第一连接部、第二连接部中的一者为电磁铁连接件构成、另一者为磁性连接件构成，磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构。

4、进一步的方案为：第一腔室、第二腔室内分别设置有用于对装载装置的位置进行检测的第一传感器、第二传感器。

5、第二腔室为镀膜腔室，第一腔室内还设置有对第一连接部的位置进行检测的第三传感器。

6、第二调节装置上设置有用于对第一连接部、第二连接部之间连接状态进行检测的第四传感器。

7、第一连接部为电磁铁连接件构成，第二连接部为磁性连接件构成。

8、磁性连接件为铁块构成。

9、第一连接部通过弹簧沿第一方向浮动安装在装载装置上，第一方向为第一连接部、第二连接部之间的间距方向，弹簧驱使第一连接部向靠近第二连接部的一侧进行移动。

10、第二调节装置为真空电缸构成，真空电缸装配在第一腔室上，第一腔室位于第二腔室和真空电缸之间，真空电缸的活塞杆沿第一方向布置，第二连接部和第四传感器安装在活塞杆的抵推端。

11、第一调节装置为连接通道上设置的插板阀构成，第一腔室为向装载装置上装载待镀膜工件的装载腔室，真空气缸上采用伺服电机驱动装载装置进行移动。

12、本发明还提供了一种用于镀膜设备双腔室装卸载的方法，包括如下操作。

13、首先向位于第一腔室内的装载装置上装配待镀膜处理的工件，调整第一调节装置使得连接通道处于连通状态，将电磁铁连接件通电和磁性连接件进行装配连接，当检测到电磁铁连接件和磁性连接件装配连接完成后，调整第二调节装置将装载装置移动至第二腔室内，当检测到装载装置移动到位后，将电磁铁连接件断电和磁性连接件进行分离，调整电磁铁连接件移动至第一腔室内，当检测到电磁铁连接件移动到位后，调整第一调节装置使得连接通道处于关闭状态，然后对位于第二腔室内的装载装置上的工件进行镀膜处理。

14、当工件完成镀膜处理后，调整第一调节装置使得连接通道处于连通状态，启动第二调节装置，使得电磁铁连接件移动至第二腔室内，当检测到电磁铁连接件移动到位后，将电磁铁连接件通电和磁性连接件进行装配连接，当检测到电磁铁连接件和磁性连接件装配连接完成后，启动第二调节装置将装载装置移动至第一腔室内，当检测到装载装置移动到位后，调整第一调节装置使得连接通道处于关闭状态，对镀膜处理后的工件进行卸载。

15、本发明提供的上述方案，采用磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构，该结构更加稳定，减少装卸载装置故障率，从而提高镀膜生产效率。

技术特征：

1.一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：包括第一腔室、第二腔室和用于装载待镀膜工件的装载装置，装载装置活动安装在第一腔室和第二腔室之间，第一腔室和第二腔室之间设置有供装载装置移动的连接通道，连接通道处设置有用于调节连接通道的连通状态的第一调节装置，还设置有用于调节装载装置在第一腔室和第二腔室之间进行移动的第二调节装置，装载装置上具有第一连接部，第二调节装置具有第二连接部，第一连接部、第二连接部中的一者为电磁铁连接件构成、另一者为磁性连接件构成，磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构。

2.根据权利要求1所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：第一腔室、第二腔室内分别设置有用于对装载装置的位置进行检测的第一传感器、第二传感器。

3.根据权利要求1所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：第二腔室为镀膜腔室，第一腔室内还设置有对第一连接部的位置进行检测的第三传感器。

4.根据权利要求1所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：第二调节装置上设置有用于对第一连接部、第二连接部之间连接状态进行检测的第四传感器。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：第一连接部为电磁铁连接件构成，第二连接部为磁性连接件构成。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：磁性连接件为铁块构成。

7.根据权利要求6所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：第一连接部通过弹簧沿第一方向浮动安装在装载装置上，第一方向为第一连接部、第二连接部之间的间距方向，弹簧驱使第一连接部向靠近第二连接部的一侧进行移动。

8.根据权利要求3所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：第二调节装置为真空电缸构成，真空电缸装配在第一腔室上，第一腔室位于第二腔室和真空电缸之间，真空电缸的活塞杆沿第一方向布置，第二连接部和第四传感器安装在活塞杆的抵推端。

9.根据权利要求8所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：第一调节装置为连接通道上设置的插板阀构成，第一腔室为向装载装置上装载待镀膜工件的装载腔室，真空气缸上采用伺服电机驱动装载装置进行移动。

10.根据权利要求8所述的用于镀膜设备双腔室装卸载的方法，其特征在于，包括如下操作：

技术总结本发明涉及一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，包括第一腔室、第二腔室和用于装载待镀膜工件的装载装置，第一腔室和第二腔室之间设置有连接通道，连接通道处设置有第一调节装置，还设置有用于调节装载装置在第一腔室和第二腔室之间进行移动的第二调节装置，装载装置上具有第一连接部，第二调节装置具有第二连接部，第一连接部、第二连接部中的一者为电磁铁连接件构成、另一者为磁性连接件构成，磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构。本发明提供的上述方案，采用磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构，该结构更加稳定，减少装卸载装置故障率，从而提高镀膜生产效率。技术研发人员：张心凤,汪鹏,刘洋,周健健,张望受保护的技术使用者：安徽纯源镀膜科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/27