一种承重结构和晶体生长设备的制作方法

本技术涉及晶体生长设备，特别涉及一种承重结构和晶体生长设备。

背景技术：

1、晶体生长设备是一种用于生产单晶体材料的设备。常规的晶体生长设备的底部承重结构为脚杯。在使用晶体生长设备前，需调节晶体生长设备底部各处的高度，以保证晶体生长设备内部长晶区域的水平度。然而，晶体生长设备的重量较大，可达到2吨重，而脚杯在承受较大的压力时难以被拧动。

2、因此，现有承重结构存在难以调节晶体生长设备底部的各处高度的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种承重结构和晶体生长设备，旨在解决现有承重结构难以调节晶体生长设备底部的各处高度的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提出的承重结构包括底座、第一滑块和第二滑块，底座设有第一导向部；第一滑块具有倾斜面，倾斜面沿第一路径延伸，第一路径具有水平分路径和竖直分路径，第一滑块沿第一水平路径滑动连接于底座上；第二滑块沿第一路径滑动连接于倾斜面上；第二滑块沿竖直分路径滑动配合于第一导向部；第二滑块的顶部用于支承晶体生长炉；第一滑块用于在相对底座滑动的过程中带动第二滑块沿竖直分路径移动。

3、可选地，承重结构还包括螺杆，螺杆的第一端与第一滑块的侧面螺纹连接；第一导向部上设有通孔；螺杆的第二端穿过通孔，螺杆的第二端与螺纹紧固件螺纹连接，螺纹紧固件的端面抵接第一导向部；或，通孔设置为螺纹通孔，螺杆与螺纹通孔螺纹连接，螺杆的第二端穿过螺纹通孔。

4、可选地，第二滑块的底部最下方设有缺口，缺口朝向螺杆设置。

5、可选地，底座的上表面设有第二导向部，第一滑块的底部设有第一配合部，第一配合部沿第一水平路径滑动配合于第二导向部上；其中，第二导向部、第一配合部中的其中一个为导向凸起，另外一个为导向滑槽。

6、可选地，倾斜面设有第三导向部，第二滑块的底部设有第二配合部，第二配合部沿第一路径滑动配合于第三导向部上；其中，第三导向部、第二配合部中的其中一个为导向凸起，另外一个为导向滑槽。

7、可选地，第一水平路径平行于水平分路径。

8、可选地，底座还设有限位部，第二导向部位于限位部与第一导向部之间，限位部用于抵接第一滑块；第一导向部设置为第一侧壁；限位部设置为第二侧壁。

9、可选地，承重结构包括螺纹紧固件，第二滑块的顶部设有安装孔，螺纹紧固件穿过安装孔并锁接于晶体生长炉上。

10、可选地，倾斜面与水平面之间的夹角范围设置为10°至16°。

11、为实现上述目的，本实用新型还提出一种晶体生长设备，包括晶体生长炉和若干个如上所述的承重结构；承重结构安装在晶体生长炉的底部四周。

12、本实用新型技术方案中，该承重结构包括底座、第一滑块和第二滑块，底座设有第一导向部；第一滑块具有倾斜面，倾斜面沿第一路径延伸，第一路径具有水平分路径和竖直分路径，第一滑块沿第一水平路径滑动连接于底座上；第二滑块沿第一路径滑动连接于第一滑块上；第二滑块沿竖直分路径滑动配合于第一导向部；第二滑块的顶部用于支承晶体生长炉；第一滑块用于在相对底座滑动的过程中带动第二滑块沿竖直分路径移动。本实用新型利用倾斜面和第一导向部，将第一滑块的水平移动转化为第二滑块的竖直移动，从而带动晶体生长设备上下移动。同时，相较于现有技术中的脚杯，本方案由于利用了倾斜面具有水平分量和竖直分量的特性，调节时只需给第一滑块提供与晶体生长设备对倾斜面的压力中沿水平分路径的分量大小相同的力即可，从而减少了调节晶体生长设备高度的过程中所需提供的力，实现了对晶体生长设备的底部高度调节效果。

技术特征：

1.一种承重结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的承重结构，其特征在于，所述承重结构还包括螺杆，所述螺杆的第一端与所述第一滑块的侧面螺纹连接；所述第一导向部上设有通孔；

3.如权利要求2所述的承重结构，其特征在于，所述第二滑块的底部最下方设有缺口，所述缺口朝向所述螺杆设置。

4.如权利要求1所述的承重结构，其特征在于，所述底座的上表面设有第二导向部，所述第一滑块的底部设有第一配合部，所述第一配合部沿所述第一水平路径滑动配合于所述第二导向部上；其中，所述第二导向部、所述第一配合部中的其中一个为导向凸起，另外一个为导向滑槽。

5.如权利要求1所述的承重结构，其特征在于，所述倾斜面设有第三导向部，所述第二滑块的底部设有第二配合部，所述第二配合部沿所述第一路径滑动配合于所述第三导向部上；其中，所述第三导向部、所述第二配合部中的其中一个为导向凸起，另外一个为导向滑槽。

6.如权利要求1所述的承重结构，其特征在于，所述第一水平路径平行于所述水平分路径。

7.如权利要求4所述的承重结构，其特征在于，所述底座还设有限位部，所述第二导向部位于所述限位部与所述第一导向部之间，所述限位部用于抵接所述第一滑块；

8.如权利要求1所述的承重结构，其特征在于，所述承重结构包括螺纹紧固件，所述第二滑块的顶部设有安装孔，所述螺纹紧固件穿过所述安装孔并锁接于所述晶体生长炉上。

9.如权利要求1所述的承重结构，其特征在于，所述倾斜面与水平面之间的夹角范围设置为10°至16°。

10.一种晶体生长设备，其特征在于，所述晶体生长设备包括晶体生长炉和若干个如权利要求1至9任意一项所述的承重结构；

技术总结本技术公开一种承重结构和晶体生长设备，涉及晶体生长设备领域。承重结构包括底座、第一滑块和第二滑块，底座设有第一导向部；第一滑块具有倾斜面，倾斜面沿第一路径延伸，第一路径具有水平分路径和竖直分路径，第一滑块沿第一水平路径滑动连接于底座上；第二滑块沿第一路径滑动连接于第一滑块上；第二滑块沿竖直分路径滑动配合于第一导向部；第二滑块的顶部用于支承晶体生长炉；第一滑块用于在相对底座滑动的过程中带动第二滑块沿竖直分路径移动。本技术利用倾斜面和第一导向部，将第一滑块的水平移动转化为第二滑块的竖直移动，从而带动晶体生长设备上下移动；倾斜面的设置减少了调节晶体生长设备高度所需驱动力，便于高度调节。技术研发人员：臧朴,刘光贤,黄源英受保护的技术使用者：广州海创产业技术研究院技术研发日：20240108技术公布日：2024/8/27