一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构的制作方法

本发明涉及半导体搬运，具体为一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

2、芯片晶圆加工制作过程中，或者是在后道封装制程中，由于需要去除制程中带给晶圆中的水汽，需要用到烘烤工序，水汽的存在会影响后续制程的粘附结合力，造成工艺异常，良率低下，因此需要对芯片晶圆进行烘烤，在对晶圆烘烤过程中，需要将晶圆放置在金属料盒的内部，然后将其送入到烘箱的内部进行烘烤，但烘烤结束后，烘箱内部的温度较高，不利于将金属料盒取出，进而降低了对晶圆的烘烤效率。

3、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，具备便于金属料盒取出等优点，解决了不利于金属料盒取出的问题。

3、(二)技术方案

4、为解决上述不利于金属料盒取出的技术问题，本发明提供如下技术方案：

5、一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，包括安装块，所述安装块固定安装在金属料盒的顶端上，所述安装块的内部设置有移动组件，所述移动组件的表面啮合设置有传动组件，所述安装块的内部设置有复位组件，所述复位组件的外表面滑动设置有连接组件，所述连接组件的表面与传动组件的表面相啮合，所述连接组件的内部设置有拨动组件，所述安装块的顶端固定连接有翻转组件，所述翻转组件的内部与拨动组件的外表面滑动设置，所述金属料盒的上侧设置有抓取组件。

6、优选地，所述移动组件包括顶块，所述顶块的外表面与安装块的内部滑动设置，所述顶块的一侧固定连接有齿板，所述齿板的表面与传动组件的表面相啮合。

7、优选地，所述传动组件包括两组固定轴，两组所述固定轴的两端均与安装块的内部固定安装，两组所述固定轴的外表面分别转动设置有两组传动齿轮，两组所述传动齿轮的表面均与齿板的表面相啮合。

8、优选地，所述复位组件包括滑动杆，所述滑动杆的两端均与安装块的内壁固定安装，所述滑动杆的外表面滑动连接有限位盘，所述限位盘的一侧固定连接有复位弹簧，所述限位盘的一侧与连接组件的一侧相贴合。

9、优选地，所述连接组件包括连接块，所述连接块的内部与滑动杆的外表面滑动设置，所述连接块的顶端固定连接有齿条，所述齿条的内部与拨动组件的一端固定连接。

10、优选地，所述拨动组件包括限位杆，所述限位杆的两端均与齿条的内部固定连接，所述限位杆的外表面滑动设置有限位块，所述限位块的一侧固定连接有弹簧；

11、所述限位块的一侧固定连接有拨杆，所述拨杆的外表面与翻转组件的内部滑动设置。

12、优选地，所述翻转组件包括转动座，所述转动座的底端与安装块的顶端固定连接，所述转动座的外侧转动设置有提拉板，所述提拉板的底端固定连接有转杆，所述转杆的内部与拨杆的外表面滑动设置；

13、所述提拉板的一侧开设有提拉孔，所述提拉孔的内部与抓取组件的外表面滑动设置。

14、优选地，所述抓取组件还包括螺纹杆，所述螺纹杆的螺纹面与固定块的内部螺纹连接，所述螺纹杆的外表面固定连接有定位块，所述螺纹杆的螺纹面螺纹连接有调节螺栓，所述调节螺栓的顶端与定位块的底端相贴合。

15、优选地，所述抓取组件还包括螺纹杆，所述螺纹杆的螺纹面与固定块的内部螺纹连接，所述螺纹杆的外表面固定连接有定位块，所述螺纹杆的螺纹面螺纹连接有调节螺栓，所述调节螺栓的顶端与定位块的底端相贴合。

16、优选地，所述安装块的内部开设有t型槽，所述t型槽的内部滑动设置有t型块，所述t型块的顶端与齿板的底端固定连接。

17、(三)有益效果

18、与现有技术相比，本发明提供了一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，具备以下有益效果：

19、1、本发明通过启动机械手带动抓取组件进行移动，使其移动至安装块的一侧，并与移动组件的一侧相接触，推动移动组件进行移动，能够带动传动组件进行转动，传动组件能够带动连接组件进行移动，连接组件能够带动拨动组件进行移动，拨动组件能够带动翻转组件进行翻转，使其与安装块的顶端呈垂直状态，然后在抓取组件的持续移动下，使其外表面插入翻转组件的内部，进而完成抓取，通过机械手带动其移动至烘箱的内部，该基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构能够在高温环境下正常工作，进而烘烤完成后，能够快速将其取出，进而提高了对晶圆的烘烤效率。

20、2、本发明通过拨杆带动其外表面滑动设置的转杆进行移动，转杆进行移动时，能够带动其一端固定连接的提拉板进行移动，由于提拉板的内部与转动座的外侧进行转动设置，且转动座的底端与安装块的顶端固定连接，进而当提拉板进行移动时，能够使其以转动座为圆心进行翻转，使其与安装块的顶端呈垂直状态，进而便于抓取组件进入到提拉孔的内部，完成抓取，且提拉板与转动座的设置，能够使其适配烘箱的内部空间，减少该基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构在烘箱内部的占用面积，进而能够达到更好的烘烤效果。

21、3、本发明通过将螺纹杆的螺纹面与机械手进行固定安装，然后通过转动调节螺栓和固定块，能够对固定块的高度和角度进行调整，当调整完成后再次转动调节螺栓，使其底端与固定块的顶端相贴合，从而完成对固定块的位置固定，较为方便。

技术特征：

1.一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，包括安装块(2)，所述安装块(2)固定安装在金属料盒(1)的顶端上，其特征在于；所述安装块(2)的内部设置有移动组件(3)，所述移动组件(3)的表面啮合设置有传动组件(4)，所述安装块(2)的内部设置有复位组件(5)，所述复位组件(5)的外表面滑动设置有连接组件(6)，所述连接组件(6)的表面与传动组件(4)的表面相啮合，所述连接组件(6)的内部设置有拨动组件(7)，所述安装块(2)的顶端固定连接有翻转组件(8)，所述翻转组件(8)的内部与拨动组件(7)的外表面滑动设置，所述金属料盒(1)的上侧设置有抓取组件(9)。

2.根据权利要求1所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述移动组件(3)包括顶块(301)，所述顶块(301)的外表面与安装块(2)的内部滑动设置，所述顶块(301)的一侧固定连接有齿板(302)，所述齿板(302)的表面与传动组件(4)的表面相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述传动组件(4)包括两组固定轴(401)，两组所述固定轴(401)的两端均与安装块(2)的内部固定安装，两组所述固定轴(401)的外表面分别转动设置有两组传动齿轮(402)，两组所述传动齿轮(402)的表面均与齿板(302)的表面相啮合。

4.根据权利要求3所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述复位组件(5)包括滑动杆(501)，所述滑动杆(501)的两端均与安装块(2)的内壁固定安装，所述滑动杆(501)的外表面滑动连接有限位盘(502)，所述限位盘(502)的一侧固定连接有复位弹簧(503)，所述限位盘(502)的一侧与连接组件(6)的一侧相贴合。

5.根据权利要求4所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述连接组件(6)包括连接块(601)，所述连接块(601)的内部与滑动杆(501)的外表面滑动设置，所述连接块(601)的顶端固定连接有齿条(602)，所述齿条(602)的内部与拨动组件(7)的一端固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述拨动组件(7)包括限位杆(701)，所述限位杆(701)的两端均与齿条(602)的内部固定连接，所述限位杆(701)的外表面滑动设置有限位块(702)，所述限位块(702)的一侧固定连接有弹簧(703)；

7.根据权利要求6所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述翻转组件(8)包括转动座(801)，所述转动座(801)的底端与安装块(2)的顶端固定连接，所述转动座(801)的外侧转动设置有提拉板(802)，所述提拉板(802)的底端固定连接有转杆(803)，所述转杆(803)的内部与拨杆(704)的外表面滑动设置；

8.根据权利要求7所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述抓取组件(9)包括固定块(901)，所述固定块(901)的一侧固定安装有顶杆(902)，所述顶杆(902)的一端与顶块(301)的一侧相贴合，所述固定块(901)的一侧固定安装有提拉杆(903)，所述提拉杆(903)的外表面与提拉孔(804)的内部滑动设置。

9.根据权利要求8所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述抓取组件(9)还包括螺纹杆(904)，所述螺纹杆(904)的螺纹面与固定块(901)的内部螺纹连接，所述螺纹杆(904)的外表面固定连接有定位块(905)，所述螺纹杆(904)的螺纹面螺纹连接有调节螺栓(906)，所述调节螺栓(906)的顶端与定位块(905)的底端相贴合。

10.根据权利要求2所述的一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，其特征在于；所述安装块(2)的内部开设有t型槽(10)，所述t型槽(10)的内部滑动设置有t型块(11)，所述t型块(11)的顶端与齿板(302)的底端固定连接。

技术总结本发明涉及半导体搬运技术领域，公开了一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，包括安装块。本发明通过启动机械手带动抓取组件进行移动，使其移动至安装块的一侧，并与移动组件的一侧相接触，推动移动组件进行移动，带动传动组件转动，传动组件带动连接组件进行移动，连接组件带动拨动组件进行移动，拨动组件带动翻转组件进行翻转，使其与安装块的顶端呈垂直状态，然后在抓取组件的持续移动下，使其外表面插入翻转组件的内部，进而完成抓取，通过机械手带动其移动至烘箱的内部，该基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构能够在高温环境下正常工作，进而烘烤完成后，能够快速将其取出，进而提高了对晶圆的烘烤效率。技术研发人员：郑刚,蔡斌君,曾金川受保护的技术使用者：上海功顶半导体有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/2