一种晶圆检测方法及晶圆检测装置与流程

本发明涉及晶圆检测，尤其涉及一种晶圆检测方法及晶圆检测装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

2、对晶圆aoi检测，通过高分辨率摄像头和先进的图像处理算法来自动检测半导体晶圆或电路板上的元件安装、焊接质量、缺陷、不良连接等问题。

3、虽然该装置有益效果较多，但依然存在下列问题：对于不良晶圆，在取出时用到吸盘吸取，吸盘长期高频挤压，橡胶存在使用寿命，在更换吸盘时需要用到相应的工具进行拆卸，较为繁琐。

4、鉴于此，我们提出一种晶圆检测方法及晶圆检测装置。

技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种晶圆检测方法及晶圆检测装置，以解决当前在更换吸盘时需要用到相应的工具进行拆卸，较为繁琐的技术问题。

2、为了实现本发明的目的，本发明所采用的技术方案为：设计一种晶圆检测装置，包括机体，所述机体顶部布置有输送机本体，所述机体上布置有检测器本体，所述检测器本体内的摄像头与所述输送机本体对应，所述机体前端布置有显示屏本体，还包括电驱动轨道、电驱动滑块、连接板、液压缸本体和吸料结构；

3、两个电驱动轨道对称固设于所述检测器本体一侧的横梁架上；

4、两个电驱动滑块分别滑动设于两个所述电驱动轨道滑动端；

5、连接板两端内侧分别与两个所述电驱动滑块连接端固定；

6、液压缸本体固设于所述连接板内侧中间；

7、吸料结构布置于所述液压缸本体的活塞杆外端；

8、所述吸料结构包括平板和连接杆；

9、平板固设于所述液压缸本体的活塞杆外端；

10、两个连接杆分别布置于所述平板两侧；

11、其中，所述连接杆的两端分别布置有定位组件，所述定位组件用于快速与连接杆定位；所述定位组件上布置有吸附组件。

12、优选地，所述定位组件包括u形卡块、连接块、导向杆、限位块、把手和延伸块；

13、两个u形卡块对接卡设于所述连接杆端部；

14、两个连接块分别固设于两个所述u形卡块相对一端的外壁；

15、导向杆穿设于两个所述连接块；

16、两个限位块分别固设于所述导向杆的两端；

17、其中，所述限位块和所述连接块之间的导向杆上套设有弹簧；

18、两个把手分别固设于两个所述u形卡块相背离的一侧；

19、延伸块固设于一个所述u形卡块上。

20、优选地，所述连接杆端部对称套接有两个限位框，两个所述u形卡块对接的两侧分别与两个所述限位框相对一侧接触配合。

21、优选地，所述限位框内侧的上下端分别设成斜面。

22、优选地，所述吸附组件包括真空吸盘、气管和接头；

23、真空吸盘设于所述延伸块的下方；

24、气管固设于所述真空吸盘接口端；

25、其中，所述气管的螺纹段穿设于所述延伸块上，所述气管的螺纹段螺纹安装有两个紧固螺母，两个所述紧固螺母分别与所述延伸块的上下侧紧固配合；

26、接头布置于所述气管顶端。

27、优选地，所述平板侧端开设有凹槽，所述连接杆卡设于所述凹槽内，所述平板侧端通过固定组件与所述连接杆固定配合；

28、所述固定组件包括固定块、l形块和螺杆；

29、固定块固设于所述平板侧端顶侧；

30、l形块竖直段穿设于所述穿孔内；

31、螺杆螺纹穿设于所述固定块上；

32、其中，所述螺杆顶端与所述l形块水平段转动连接，所述螺杆底端固设有转柄。

33、优选地，所述l形块竖直段内侧对称固设有两个限位条，所述穿孔一侧对称开设有两个限位孔，所述限位条与所述限位孔穿设配合。

34、优选地，所述凹槽内底壁固设有插块，所述连接杆底侧开设有插槽，所述插槽与所述插块卡设配合。

35、一种晶圆检测方法，包括以下步骤：

36、s100、待检测的晶圆从输送机本体的进入端输入，由输送机本体的输送带将晶圆输送至检测器本体的下方，由检测器本体的高分辨率摄像头和先进的图像处理算法来自动检测晶圆的质量，并在显示屏本体上显示处检测的晶圆是否合格，合格的晶圆从输送机本体的输出被收集；

37、s200、检测到不合格的晶圆，将晶圆输送到吸料结构对应的下方，则电驱动滑块沿着电驱动轨道移动，将连接板、液压缸本体和吸料结构一起移动至晶圆的上方，液压缸本体推动吸料结构下移，直至真空吸盘接触到晶圆并挤压真空吸盘，通过真空吸盘连接的外部抽真空机进行抽真空，从而通过真空吸盘吸附住晶圆，液压缸本体带动真空吸盘吸附晶圆上移，电驱动滑块沿着电驱动轨道外移将晶圆移出并送至外部不合格产品回收处，将不合格的晶圆下移至收集处，真空吸盘撤去真空，晶圆不再被吸附并落入收集处；

38、s300、某一个真空吸盘折损过度时，则对应的上下拉动两个把手，将两个u形卡块分离，两个连接块沿着导向杆相背离移动，两个弹簧均被压缩，直到两个u形卡块分离到最大程度，将u形卡块不再接触限位框，将两个u形卡块从连接杆端部取出，则对应的取下真空吸盘，拆下接头，拧松取下上部紧固螺母，从而取出气管，换上新的真空吸盘并进行安装，最后将两个u形卡块套接在连接杆端部，两个u形卡块对接的两侧分别与两个限位框相对一侧接触配合；

39、s400、当一排的两个真空吸盘都折损过度时，则转动转柄，螺杆转动将l形块顶起，l形块竖直段上移，限位条随之沿着限位条上移，直至l形块竖直段不再挡住连接杆，取出连接杆，按照s300的步骤更换真空吸盘，最后将连接杆卡入凹槽内，反向转动转柄，l形块下移，l形块竖直段挡住连接杆。

40、与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

41、1.本发明通过设置u形卡块、连接块、导向杆、限位块、把手、延伸块、真空吸盘、气管和接头，具有结构简单，快速拆卸下损坏的真空吸盘进行更换，能独立更换某个损坏的真空吸盘，针对于某一个真空吸盘更换，不需要整体更换的优点，解决了在更换吸盘时需要用到相应的工具进行拆卸，较为繁琐的问题。

42、2.本发明通过设置凹槽、固定块、l形块、螺杆和转柄，具有能够根据真空吸盘损坏的数量整体更换，在单个更换和整体更换之间根据实际情况自行选择，实用性强的优点。

43、3.本发明通过设置限位条和限位孔，具有对移动的l形块竖直段进行导向限位，保持l形块竖直段移动稳定的优点。

44、4.本发明通过设置插块和插槽，具有对插入凹槽内的连接杆在y轴反向上的移动进行限位，保持连接杆稳定的优点。

技术特征：

1.一种晶圆检测装置，包括机体(1)，所述机体(1)顶部布置有输送机本体(2)，所述机体(1)上布置有检测器本体(4)，所述检测器本体(4)内的摄像头与所述输送机本体(2)对应，所述机体(1)前端布置有显示屏本体(3)，其特征在于，还包括：

2.如权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述定位组件(903)包括：

3.如权利要求2所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述连接杆(902)端部对称套接有两个限位框(9022)，两个所述u形卡块(9031)对接的两侧分别与两个所述限位框(9022)相对一侧接触配合。

4.如权利要求3所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述限位框(9022)内侧的上下端分别设成斜面(9023)。

5.如权利要求2所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述吸附组件(904)包括：

6.如权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述平板(901)侧端开设有凹槽(9011)，所述连接杆(902)卡设于所述凹槽(9011)内，所述平板(901)侧端通过固定组件(905)与所述连接杆(902)固定配合；

7.如权利要求6所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述l形块(9052)竖直段内侧对称固设有两个限位条(9055)，所述穿孔(9051-1)一侧对称开设有两个限位孔(9051-2)，所述限位条(9055)与所述限位孔(9051-2)穿设配合。

8.如权利要求6所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述凹槽(9011)内底壁固设有插块(9012)，所述连接杆(902)底侧开设有插槽(9021)，所述插槽(9021)与所述插块(9012)卡设配合。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种晶圆检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结本发明涉及一种晶圆检测方法及晶圆检测装置，旨在解决当前在更换吸盘时需要用到相应的工具进行拆卸，较为繁琐的技术问题，包括检测器本体，还包括电驱动轨道、电驱动滑块、连接板、液压缸本体和吸料结构；两个电驱动轨道对称固设于所述检测器本体一侧的横梁架上；两个电驱动滑块分别滑动设于两个所述电驱动轨道滑动端；连接板两端内侧分别与两个所述电驱动滑块连接端固定；液压缸本体固设于所述连接板内侧中间；吸料结构布置于所述液压缸本体的活塞杆外端，本发明具有快速拆卸下损坏的真空吸盘进行更换，能独立更换某个损坏的真空吸盘，针对于某一个真空吸盘更换的优点。技术研发人员：朱琳琳,尚伟朝,周子涵受保护的技术使用者：斯迈因光电科技（苏州）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/12