一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘的制作方法

本申请属于晶圆制造设备，尤其是涉及一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘。

背景技术：

1、中国实用新型专利文献cn214624981u公开了单片晶圆清洗装置，该装置是通过支撑盘固定住晶圆，然后带动晶圆旋转，再由各种清洗液喷头喷出清洗液完成清洗。然而，现有的单片晶圆清洗装置仅能针对一种尺寸的晶圆进行清洗，比如仅能对6寸或者8寸的晶圆进行清洗。随着晶圆生产工艺的提升，晶圆逐渐变大，因此，需要一种能够适应多种尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，包括：

4、盘体，盘体中间具有中心孔，用于安装在转轴上，能够在转轴的带动下进行转动；

5、第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和第二支撑杆设置在盘体顶部，且所述第一支撑杆的高度低于所述第二支撑杆，且所述第二支撑杆到盘体中心的距离大于所述第一支撑杆到盘体中心的距离；

6、第一卡紧柱和第二卡紧柱，所述第一卡紧柱和第二卡紧柱包括直接安装在所述盘体上的底部，位于底部上的中间段，位于顶端的顶段，所述顶段设置有凹陷部，所述第一卡紧柱的凹陷部的高度与所述第一支撑杆的高度相等，所述第二卡紧柱的凹陷部的高度与所述第二支撑杆的高度相等，所述第一卡紧柱到盘体中心的距离大于第一支撑杆到盘体中心的距离且小于所述第二支撑杆到盘体中心的距离，所述第二卡紧柱到盘体中心的距离大于第二支撑杆到盘体中心的距离。

7、优选地，本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，所述盘体上设置有安装孔，每个所述第一支撑杆和第二支撑杆均安装于安装孔内。

8、优选地，本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，所述安装孔的开口处设置有封堵片，以防止水流入开口处。

9、优选地，本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，所述安装孔的开口处设置有阶梯孔，以支撑住封堵片。

10、优选地，本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，所述第一支撑杆和第二支撑杆的顶部为锥形。

11、优选地，本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，所述第一支撑杆和第二支撑杆分别共圆布置；所述第一卡紧柱和第二卡紧柱分别共圆布置。

12、优选地，本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，所述盘体包括顶面和安装在顶面底部的底面，从而顶面和底面中间形成安装空间。

13、优选地，本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，每个第一支撑杆和第二支撑杆均通过螺纹安装在所述盘体上。

14、本实用新型的有益效果是：

15、本实用新型的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，由盘体、第一支撑杆和第二支撑杆、第一卡紧柱和第二卡紧柱组成；第一支撑杆和第二支撑杆分别对晶圆起支撑作用，而后再分别卡入第一卡紧柱和第二卡紧柱的凹陷部内起到最终固定作用。由于所述第一卡紧柱到盘体中心的距离大于第一支撑杆到盘体中心的距离且小于所述第二支撑杆到盘体中心的距离，所述第二卡紧柱到盘体中心的距离大于第二支撑杆到盘体中心的距离，且设置不同的高度，使得晶圆支撑盘能够匹配两种不同尺寸的晶圆。

技术特征：

1.一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，所述盘体(1)上设置有安装孔(13)，每个所述第一支撑杆(21)和第二支撑杆(22)均安装于安装孔(13)内。

3.根据权利要求2所述的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，所述安装孔(13)的开口处设置有封堵片(310)，以防止水流入开口处。

4.根据权利要求2所述的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，所述安装孔(13)的开口处设置有阶梯孔，以支撑住封堵片(310)。

5.根据权利要求1所述的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，所述第一支撑杆(21)和第二支撑杆(22)的顶部为锥形。

6.根据权利要求1所述的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，所述第一支撑杆(21)和第二支撑杆(22)分别共圆布置；所述第一卡紧柱(31)和第二卡紧柱(32)分别共圆布置。

7.根据权利要求1所述的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，所述盘体(1)包括顶面(14)和安装在顶面(14)底部的底面(12)，从而顶面(14)和底面(12)中间形成安装空间。

8.根据权利要求1所述的适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，每个第一支撑杆(21)和第二支撑杆(22)均通过螺纹安装在所述盘体(1)上。

技术总结本申请涉及一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，由盘体、第一支撑杆和第二支撑杆、第一卡紧柱和第二卡紧柱组成；第一支撑杆和第二支撑杆分别对晶圆起支撑作用，而后再分别卡入第一卡紧柱和第二卡紧柱的凹陷部内起到最终固定作用。由于所述第一卡紧柱到盘体中心的距离大于第一支撑杆到盘体中心的距离且小于所述第二支撑杆到盘体中心的距离，所述第二卡紧柱到盘体中心的距离大于第二支撑杆到盘体中心的距离，且设置不同的高度，使得晶圆支撑盘能够匹配两种不同尺寸的晶圆。技术研发人员：钱诚,黄典礼,彭竹云受保护的技术使用者：江苏亚电科技股份有限公司技术研发日：20240103技术公布日：2024/9/26