抓取平台的调平方法、调整机构及抓取系统与流程

本发明的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送设备，特别涉及一种抓取平台的调平方法、调整机构及抓取系统。

背景技术：

1、在半导体行业中，采用自动化物料搬运系统夹持12寸晶圆传送盒的方式对物流输送的可靠性、稳定性和效率性有着直接影响。在现有技术中，晶圆传送盒的输送方案大多采用一对夹持板进行抓取。

2、然而发明人发现，由于现在自动化物料搬运系统天车中，抓取平台的平行精度直接影响半导体行业物流输送可靠性，稳定性，效率性。由于抓取平台在抓取晶圆传送盒上升或下降时，会因各传动带张紧力的不同，以及晶圆传送盒自重的关系，导致抓取平台在升降过程中产生倾斜，从而就会影响抓取平台在抓取晶圆传送盒时的稳定性和可靠性，而目前市场的抓取平台一般都是通过人工对皮带长度的调节，以使抓取平台保证水平度，但人工调节不但十分消耗人力，而且无法保证调节的精确度，同时，当抓取平台在升降的过程中，如产生倾斜是无法通过人为的方式对其进行调节的，即目前的抓取平台是无法解决在其升降的过程中，导致其出现倾斜的问题。

技术实现思路

1、为了解决上述问题或至少部分地解决上述技术问题，本发明的部分实施方式设计了一种抓取平台的调平方法、调整机构及抓取系统，可在抓取平台升降时，对抓取平台的水平度进行实时调整，从而保证抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时的稳定性和可靠性。

2、为了实现上述目的，本发明的部分实施方式提供了一种抓取平台的调平方法，所述调平方法包括如下步骤：

3、当所述抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时，实时获取所述抓取平台上升或下降时的姿态；

4、根据获得的所述抓取平台的姿态，判断所述抓取平台是否倾斜；

5、如判定所述抓取平台倾斜，则控制设置于所述抓取平台上的调平装置，使所述调平装置对所述抓取平台执行调平动作；

6、在实时获取所述抓取平台上升或下降时的姿态的步骤中，具体包括：实时检测所述抓取平台沿x轴的第一倾斜角的角度、实时检测所述抓取平台沿y轴的第二倾斜角的角度；

7、在根据获得的所述抓取平台的状态，判断所述抓取平台是否倾斜的步骤中，具体包括：

8、当测得所述抓取平台沿x轴的所述第一倾斜角的角度，和/或测得所述抓取平台沿y轴的所述第二倾斜角的角度大于预设角度时，则判定所述抓取平台倾斜；

9、当测得所述抓取平台沿x轴的所述第一倾斜角的角度、测得所述抓取平台沿y轴的所述第二倾斜角的角度均小于或等于预设角度时，则判定所述抓取平台未倾斜。

10、另外，本发明的实施方式设计了一种抓取平台的调整机构，所述调整机构包括：

11、检测模块，设置于用于抓取或释放晶圆传送盒的抓取平台上，用于所述抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时，检测所述抓取平台上升或下降时的姿态；

12、调平装置，设置于抓取平台上，用于所述抓取平台上升或下降，对所述抓取平台进行调平；

13、主控模块，分别与所述调平装置和所述检测模块通讯连接，用于所述抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时，获取所述检测模块测得的所述抓取平台上升或下降时的姿态，并根据获得的所述抓取平台的姿态判断所述抓取平台是否倾斜；

14、所述主控模块还用于在判定所述抓取平台倾斜后，控制所述调平装置对所述抓取平台执行调平动作；

15、所述检测模块用于所述抓取平台上升或下降时，实时检测所述抓取平台沿x轴的第一倾斜角的角度、所述抓取平台沿y轴的第二倾斜角的角度；

16、所述主控模块用于在获得的所述抓取平台沿x轴的第一倾斜角的角度，和/或所述抓取平台沿y轴的第二倾斜角的角度大于预设角度时，则判定所述抓取平台倾斜；

17、所述主控模块还用于在获得的所述抓取平台沿x轴的第一倾斜角的角度、所述抓取平台沿y轴的第二倾斜角的角度均小于或等于预设角度时，则判定所述抓取平台未倾斜。

18、另外，本发明的实施方式设计了一种抓取系统，所述抓取系统包括：

19、抓取平台，沿竖直方向可上升或下降，并用于在下降时，抓取或释放处于目标位的晶圆传送盒；

20、如上所述的调整机构；

21、驱动装置，与所述抓取平台连接，用于接收所述主控模块输出的上升指令或下降指令，并用于根据接收到的所述上升指令驱动所述抓取平台上升，还用于根据接收到的所述下降指令驱动所述抓取平台下降；

22、本发明的实施例相对于现有技术而言，由于抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时，通过对抓取平台升降时的姿态的实时获取，可判断抓取平台是否倾斜，一旦判定抓取平台倾斜，即可控制设置于抓取平台上的调平装置，使调平装置对抓取平台执行调平动作，从而保证了抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时的水平度，使得抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时具有较高的稳定性和可靠性。

技术特征：

1.一种抓取平台的调平方法，其特征在于，所述调平方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的抓取平台的调平方法，其特征在于，所述抓取平台具有可被所述调平装置提升或下放的定端、至少两个可被所述调平装置提升或下放的动端，其中，至少一个所述动端的提升或下放与所述抓取平台的所述第一倾斜角相关，至少一个所述动端的提升或下放与所述抓取平台的所述第二倾斜角相关；

3.根据权利要求2所述的抓取平台的调平方法，其特征在于，在控制调平装置，使所述调平装置提升或下方与所述抓取平台的所述第一倾斜角相关的至少一个所述动端的步骤中，具体包括：

4.根据权利要求3所述的抓取平台的调平方法，其特征在于，在根据得到的所述抓取平台沿x轴的倾斜方向控制所述调平装置，使所述调平装置提升或下放与所述第一倾斜角的角度相关的至少一个所述动端的步骤中，具体包括：

5.根据权利要求2所述的抓取平台的调平方法，其特征在于，在控制调平装置，使所述调平装置提升或下方与所述抓取平台的所述第二倾斜角相关的至少一个所述动端的步骤中，具体包括：

6.根据权利要求5所述的抓取平台的调平方法，其特征在于，在根据得到的所述抓取平台沿y轴的倾斜方向控制所述调平装置，使所述调平装置提升或下放与所述第二倾斜角的角度相关的至少一个所述动端的步骤中，具体包括：

7.根据权利要求2-6中任意一项所述的抓取平台的调平方法，其特征在于，所述定端设有一个，所述动端设有两个，且所述定端和两个所述动端不共线设置；

8.一种抓取平台的调整机构，其特征在于，所述调整机构包括：

9.根据权利要求8所述的抓取平台的调整机构，其特征在于，所述检测模块为设置于所述抓取平台上的陀螺仪。

10.根据权利要求8所述的抓取平台的调整机构，其特征在于，所述抓取平台具有可被所述调平装置提升或下放的定端、至少两个可被所述调平装置提升或下放的动端，且至少一个所述动端的提升或下放与所述抓取平台的所述第一倾斜角的角度相关，至少一个所述动端的提升或下放与所述抓取平台的所述第二倾斜角的角度相关；

11.根据权利要求10所述的抓取平台的调整机构，其特征在于，所述调平装置包括：

12.根据权利要求11所述的抓取平台的调整机构，其特征在于，各所述收卷组件包括：

13.根据权利要求12所述的抓取平台的调整机构，其特征在于，各所述收卷组件还包括：

14.一种抓取系统，其特征在于，所述抓取系统包括：

15.根据权利要求14所述的抓取系统，其特征在于，所述驱动装置为可收卷或释放若干传动带的卷扬装置，且各所述传动带的一端连接于所述调平装置，各所述传动带的另一端连接于所述卷扬装置；

技术总结本发明的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送设备，特别涉及一种抓取平台的调平方法、调整机构及抓取系统，调平方法包括如下步骤：当抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时，实时获取抓取平台上升或下降时的姿态；根据获得的抓取平台的姿态，判断抓取平台是否倾斜；如判定抓取平台倾斜，则控制设置于抓取平台上的调平装置，使调平装置对抓取平台执行调平动作。同现有技术相比，当抓取平台抓取或释放晶圆传送盒时，通过对抓取平台升降时的姿态的获取，可判断抓取平台是否倾斜，一旦判定抓取平台倾斜，即可控制调平装置对抓取平台执行调平动作，从而保证了抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时的水平度，使得抓取平台具有较高的稳定性和可靠性。技术研发人员：张健强,蒲宗杰,赵萌受保护的技术使用者：尊芯智能科技（苏州）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/26