半导体电镀系统的制作方法

本申请涉及半导体电镀，更具体地说，涉及半导体电镀系统。

背景技术：

1、半导体电镀是一种在半导体制造过程中常用的技术，用于在半导体表面涂覆一层金属薄膜，以改善其导电性、抗腐蚀性或其他性能。这种技术通常包括以下步骤：

2、表面准备：在进行电镀之前，需要对半导体表面进行准备，确保其清洁、平整并具有良好的粘附性。这可能包括去除表面的氧化物、油污和其他杂质，以及进行表面处理(如刻蚀、清洗、活化等)。

3、电解液准备：选择适当的电解液，通常是含有金属离子的溶液。电解液的成分和配比会影响到电镀层的性能和质量。

4、电镀过程：将半导体作为阴极，将金属阳极放置在电解液中，然后施加电流使金属阳极上的金属离子在半导体表面沉积成金属层。在电流作用下，金属离子会在半导体表面上沉积并形成均匀的金属薄膜。

5、电流密度控制：通过控制电流密度和电镀时间等参数，可以控制金属沉积的速率和均匀性，以确保薄膜的质量和厚度满足要求。

6、后处理：完成电镀后，可能需要进行后处理步骤，如清洗、干燥、退火等，以改善电镀层的结晶性、平整度和粘附性。

7、半导体电镀技术在集成电路制造、太阳能电池制造、传感器制造等领域都有广泛的应用，对于改善器件性能和可靠性具有重要作用。

8、现有技术公开号为cn219731099u的文献提供一种半导体电镀装置，该装置通过设置固定环、连接柱和弹簧，有利于提升半导体夹持的便捷性，设置安装架和风机，有利于提高半导体风干的效率。

9、上述中的现有技术方案虽然通过现有技术的结构可以实现与有关的有益效果，但是仍存在以下缺陷；该装置在进行使用时，实现了对半导体风干的作用，但是在半导体电镀后，由于该装置不便于对半导体电镀后进行质量检测，导致其功能较为单一，不便于根据检测结果及时调整电镀参数，影响电镀质量，实用性较差，

10、鉴于此，我们提出半导体电镀系统。

技术实现思路

1、1.要解决的技术问题

2、本申请的目的在于提供半导体电镀系统，解决了上述背景技术中提出的技术问题，实现了便于对半导体电镀后进行质量检测的技术效果。

3、2.技术方案

4、本申请实施例提供了半导体电镀系统，包括：半导体电镀面图像采集模块、半导体电镀面图像预处理模块、半导体电镀面图像特征提取模块、半导体电镀质量检测模型训练模块、实时质量检验模块，

5、半导体电镀面图像采集模块：所述半导体电镀面图像采集模块收集半导体电镀面图像数据；

6、半导体电镀面图像预处理模块：所述半导体电镀面图像预处理模块对图像进行预处理，例如去噪、调整大小等，以便模型能够准确识别质量问题；

7、半导体电镀面图像特征提取模块：所述半导体电镀面图像特征提取模块从预处理后的图像中提取特征，包括形状、颜色、纹理等方面，以筛选出对电镀质量判断有帮助的特征；

8、半导体电镀质量检测模型训练模块：所述半导体电镀质量检测模型训练模块选择合适的机器学习模型，用于训练电镀质量检验模型；

9、实时质量检验模块：所述实时质量检验模块当有新的电镀样本需要进行质量检验时，将其输入到系统中。

10、作为本申请文件技术方案的一种可选方案，所述半导体电镀面图像采集模块收集半导体电镀面图像数据，使用摄像头，来捕获半导体电镀表面的图像，确保采集到的图像质量满足后续处理的要求，将采集到的图像数据进行存储和管理，以便后续的处理和分析。

11、作为本申请文件技术方案的一种可选方案，所述半导体电镀面图像预处理模块对图像进行预处理，例如去噪、调整大小等，以便模型能够准确识别质量问题，所述去噪：通过高斯滤波的去噪方法对图像进行去噪处理，以去除图像中的噪声和干扰，使图像更清晰；

12、所述调整大小：调整图像的大小和尺寸，使其符合模型的输入要求，这能够提高模型的计算效率，并确保模型能够接受统一大小的输入。

13、作为本申请文件技术方案的一种可选方案，所述半导体电镀面图像特征提取模块从预处理后的图像中提取特征，包括形状、颜色、纹理等方面，以筛选出对电镀质量判断有帮助的特征，包括形状特征：通过边缘检测算法提取电镀表面的形状信息，例如表面的轮廓、边缘形状等；

14、所述颜色特征：通过色彩空间转换提取电镀表面的颜色信息，包括整体颜色分布、颜色均值、颜色直方图等；

15、所述纹理特征：通过纹理描述符提取电镀表面的纹理信息，例如表面的纹理密度、纹理方向、纹理对比度等。

16、作为本申请文件技术方案的一种可选方案，所述半导体电镀质量检测模型训练模块选择卷积神经网络的机器学习模型，用于训练电镀质量检验模型，使用特征提取的数据集对模型进行训练，使其能够识别并分类不同质量的电镀表面，将训练好的电镀质量检验模型集成到实际系统中，并进行部署和应用。

17、作为本申请文件技术方案的一种可选方案，所述实时质量检验模块当有新的电镀样本需要进行质量检验时，将其输入到系统中，系统会使用训练好的机器学习模型对样本进行分析和评估，输出质量评分或者判断样本是否合格，能够实现高效、准确的质量检验，提高半导体电镀的生产效率和产品质量。

18、3.有益效果

19、本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

20、1.本申请由于采用了半导体电镀面图像采集模块等技术手段，所以有效解决了现有技术中的技术问题，进而实现了在半导体电镀后，通过采集其电镀面图像，利用模型对样本进行分析和评估，输出质量评分或者判断样本是否合格，能够实现高效、准确的质量检验，提高半导体电镀的生产效率和产品质量的效果。

21、2.本申请通过设置电镀液自动过滤机构，在将放置网座抬起完成电镀时，此时会带动转动盘上移，此时滤网会实现对电镀液的过滤，然后在传动连接架的作用下，使得滤网转动到滤渣座上方，然后在弧型齿条的作用下，使得滤网进行翻转，使其过滤的滤渣落到滤渣座完成自动清理收集，保证了电镀液的清洁，从而保证了电镀质量。

22、3.本申请通过设置叶轮，在将放置网座内的半导体置于电镀液内后，利用电推杆带动放置网座进行上下往复的短距离移动，此时在齿条a的作用下，会使得叶轮自转，对电镀液进行搅动，防止电镀过程中产生气泡，可以帮助保持金属离子的均匀分布，保证了金属膜的均匀性和质量，提高了装置的实用性。

技术特征：

1.半导体电镀系统，包含：半导体电镀面图像采集模块、半导体电镀面图像预处理模块、半导体电镀面图像特征提取模块、半导体电镀质量检测模型训练模块、实时质量检验模块，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的半导体电镀系统，其特征在于：所述半导体电镀面图像采集模块收集半导体电镀面图像数据，使用摄像头，来捕获半导体电镀表面的图像，确保采集到的图像质量满足后续处理的要求，将采集到的图像数据进行存储和管理，以便后续的处理和分析。

3.根据权利要求1所述的半导体电镀系统，其特征在于：所述半导体电镀面图像预处理模块对图像进行预处理，例如去噪、调整大小等，以便模型能够准确识别质量问题，所述去噪：通过高斯滤波的去噪方法对图像进行去噪处理，以去除图像中的噪声和干扰，使图像更清晰；

4.根据权利要求1所述的半导体电镀系统，其特征在于：所述半导体电镀面图像特征提取模块从预处理后的图像中提取特征，包括形状、颜色、纹理等方面，以筛选出对电镀质量判断有帮助的特征，包括形状特征：通过边缘检测算法提取电镀表面的形状信息，例如表面的轮廓、边缘形状等；

5.根据权利要求1所述的半导体电镀系统，其特征在于：所述半导体电镀质量检测模型训练模块选择卷积神经网络的机器学习模型，用于训练电镀质量检验模型，使用特征提取的数据集对模型进行训练，使其能够识别并分类不同质量的电镀表面，将训练好的电镀质量检验模型集成到实际系统中，并进行部署和应用。

6.根据权利要求1所述的半导体电镀系统，其特征在于：所述实时质量检验模块当有新的电镀样本需要进行质量检验时，将其输入到系统中，系统会使用训练好的机器学习模型对样本进行分析和评估，输出质量评分或者判断样本是否合格，能够实现高效、准确的质量检验，提高半导体电镀的生产效率和产品质量。

技术总结本申请公开了半导体电镀系统，包括：半导体电镀面图像采集模块、半导体电镀面图像预处理模块、半导体电镀面图像特征提取模块、半导体电镀质量检测模型训练模块、实时质量检验模块，采用了半导体电镀面图像采集模块等技术手段，所以有效解决了现有技术中的技术问题，进而实现了在半导体电镀后，通过采集其电镀面图像，利用模型对样本进行分析和评估，输出质量评分或者判断样本是否合格，能够实现高效、准确的质量检验，提高半导体电镀的生产效率和产品质量的效果。技术研发人员：于春永受保护的技术使用者：江苏诚益达智能科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17