一种真空镀膜机的制作方法

本发明涉及真空镀膜，具体为一种真空镀膜机。

背景技术：

1、真空镀膜技术进入21世纪得到了蓬勃的发展，真空镀膜技术的持续创新使其广泛应用到了多个行业，近年来真空镀膜技术在半导体，光学，材料学等领域取得了巨大的进步。

2、通常情况下，真空镀膜机按照靶材沉积的物理状态主要分为蒸发和溅射两种，其镀膜过程需要在较高真空度下进行，包括很多种工艺技术，比如电阻加热蒸发，电磁加热蒸发、电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等，每一种镀膜技术方向根据实际镀膜需求又会产生多种特定需求的镀膜工艺，进而定制对应工艺的镀膜机。

3、现有的镀膜机往往仅适用于特定类型的膜系表面处理，限制了产品的多样性，且现有的镀膜机操作复杂，对操作人员的要求较高，增加了操作难度和出错率，为此，提出了一种真空镀膜机。

4、本背景技术所公开的上述信息仅仅用于增加对本发明背景技术的理解，因此，其可能包括不构成本领域普通技术人员已知的现有技术。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种真空镀膜机。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种真空镀膜机，包括：由内壁和外壁组成的环形主腔体，所述环形主腔体的外壁开设有矩形槽体，矩形槽体的一侧安装有封堵件；

4、环形主腔体的内部设有转动组件；

5、所述环形主腔体的内部安装有多个靶材模块，所述环形主腔体的外部通过安装板连接有分子泵，所述环形主腔体的外部安装有icp模块，所述分子泵和icp模块均通过管道与环形主腔体的内部相连通。

6、作为本申请的进一步优化方案，封堵件为第二门体。

7、作为本申请的进一步优化方案，矩形槽体的数量至少为两个，两个封堵件为插板阀或者翻板阀中的一种。

8、作为本申请的进一步优化方案，矩形槽体的数量至少为两个，一个封堵件为插板阀，另一个封堵件为翻板阀。

9、作为本申请的进一步优化方案，所述插板阀远离环形主腔体的一侧连接有大气过渡真空腔体，所述大气过渡真空腔体的内部对称安装有两组卡匣，卡匣上阵列设有多个治具，大气过渡真空腔体的内底壁安装有用于拿取治具的抓取臂，所述大气过渡真空腔体的内部通过合页安装有第一门体。

10、作为本申请的进一步优化方案，转动组件包括上下两圈转架，所述转架对称安装于环形主腔体的内部，所述转架上安装有轨道，所述治具固定于轨道上。

11、作为本申请的进一步优化方案，所述环形主腔体和大气过渡真空腔体的内部均连接有真空组件，真空组件包括粗抽泵，所述粗抽泵通过真空管道连接于环形主腔体和大气过渡真空腔体的内部，所述环形主腔体的内部通过真空管道连接有维持泵。

12、作为本申请的进一步优化方案，所述环形主腔体的外壁上安装有脉冲偏压模块和多个检修门。

13、作为本申请的进一步优化方案，所述环形主腔体和大气过渡真空腔体的底部安装有底座框架。

14、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

15、本发明将分子泵和靶材模块通过管道连接于环形主腔体的内侧面，使得镀膜机结构紧凑，有利于真空度的控制和掺杂气体成份隔离控制，同时可以提高生产的灵活性和效率，允许同时交替沉积不同的材料且互不干扰，封堵件的设置可以快速切换大气过渡真空腔体和主腔体的压力状态，同时便于产品的加载和卸载，放置在治具上的产品在转架的带动下转动，有助于自动化镀膜过程，提高生产效率。

16、本发明采用了全新的镀膜机腔体设计结构，适用于市场上大部分光学膜、颜色膜、超硬膜、防指纹膜、导电膜等膜系表面处理。本设计在提高真空镀膜机产能和产品质量的条件下，大幅降低镀膜机设计尺寸，以及各种气体消耗量及真空泵的使用数量和能耗，从而大幅降低真空镀膜机的运营成本。

17、上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本发明进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。

技术特征：

1.一种真空镀膜机，其特征在于，包括：由内壁和外壁组成的环形主腔体(10)，所述环形主腔体(10)的外壁开设有矩形槽体，矩形槽体的一侧安装有封堵件；

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：封堵件为第二门体(50)。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：矩形槽体的数量至少为两个，两个封堵件为插板阀(20)。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：矩形槽体的数量至少为两个，一个封堵件为插板阀(20)，另一个封堵件为翻板阀。

5.根据权利要求3或4所述的真空镀膜机，其特征在于：所述插板阀(20)远离环形主腔体(10)的一侧连接有大气过渡真空腔体(30)，所述大气过渡真空腔体(30)的内部对称安装有两组卡匣(32)，卡匣(32)上阵列设有多个治具(17)，大气过渡真空腔体(30)的内底壁安装有用于拿取治具(17)的抓取臂(33)，所述大气过渡真空腔体(30)的内部通过合页安装有第一门体(31)。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜机，其特征在于：转动组件包括上下两圈转架(16)，所述转架(16)对称安装于环形主腔体(10)的内部，所述转架(16)上安装有轨道(1601)，所述治具(17)固定于轨道(1601)上。

7.根据权利要求5所述的真空镀膜机，其特征在于：所述环形主腔体(10)和大气过渡真空腔体(30)的内部均连接有真空组件，真空组件包括粗抽泵(40)，所述粗抽泵(40)通过真空管道(41)连接于环形主腔体(10)和大气过渡真空腔体(30)的内部，所述环形主腔体(10)的内部通过真空管道(41)连接有维持泵(42)。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述环形主腔体(10)的外壁上安装有脉冲偏压模块(15)和多个检修门(18)。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述环形主腔体(10)和大气过渡真空腔体(30)的底部安装有底座框架(19)。

技术总结本发明公开了一种真空镀膜机，属于真空镀膜技术领域，包括：由内壁和外壁组成的环形主腔体，所述环形主腔体的外壁开设有矩形槽体，矩形槽体的一侧安装有封堵件；环形主腔体的内部设有转动组件；所述环形主腔体的内部安装有多个靶材模块，所述环形主腔体的外部通过安装板连接有分子泵，所述环形主腔体的外部安装有ICP模块，所述分子泵和ICP模块均通过管道与环形主腔体的内部相连通；本发明将分子泵和靶材模块通过管道连接于环形主腔体的内部，有利于真空度的控制和结构的紧凑性，同时可以提高生产的灵活性，允许同时或交替沉积不同的材料，放置在治具上的产品在转架的带动下转动，这样有助于自动化镀膜过程，提高生产效率。技术研发人员：田成,张军,廖俊杰受保护的技术使用者：深圳市芥子精研科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17