一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备

本发明属于晶硅生产，尤其涉及一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备。

背景技术：

1、由于硅半导体耐高电压、耐高温、晶带宽度大，比其它半导体材料有体积小、效率高、寿命长、可靠性强等优点，因此被广泛用于电子工业集成电路的生产中，高纯的晶硅是重要的半导体材料。

2、晶硅生产过程中通常会加强晶硅粒度的控制，利用合适粒度的晶硅材料增强晶硅合成过程中纯度，以便于获得高纯度的晶硅材料，而现有技术中针对晶硅材料的粒度检测设备通常采用单一检测结构，并且不能与筛分设备进行联动，造成最终获得到晶硅材料粒度偏差范围大，影响高纯度晶硅材料的合成效果。

技术实现思路

1、本发明提供一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，旨在解决目前晶硅材料的粒度检测设备通常采用单一检测结构，并且不能与筛分设备进行联动，造成最终获得到晶硅材料粒度分布不均，影响高纯度晶硅材料的合成效果的问题。

2、本发明是这样实现的，一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，包括：

3、进料传送带和检测传送带，所述进料传送带和检测传送带呈阶梯结构平行布置，进料传送带承接产线上输送过来的物料，并将接收到的物料投放至检测传送带上；

4、分析设备，所述分析设备包括检测腔、激光粒度分析仪和图像粒度分析仪，所述检测腔位于进料传送带和检测传送带之间，移动至进料传送带末端的物料会穿过检测腔后到达检测传送带的表面，所述检测传送带传输速度大于进料传送带输送速度，

5、所述激光粒度分析仪的检测口朝向检测腔内下落的物料，所述图像粒度分析仪的图像采集设备指向检测传送带上分布的物料；

6、所述检测传送带的后端还设有分离传输装置。

7、优选地，所述分析设备还包括机壳，所述检测腔设置在机壳内，所述检测腔的进料端与进料传送带的末端对齐，所述检测腔的出料端与检测传送带的进料端对齐；下落过程中的物料会穿过检测腔到达检测传送带的表面。

8、优选地，所述检测传送带传输速度远大于进料传送带输送速度，掉落至检测传送带物料分布均匀度大于进料传送带上物料分布均匀度。

9、优选地，所述激光粒度分析仪和图像粒度分析仪均设置在机壳的内部。

10、优选地，所述分离传输装置包括导向滑轨和滑动于导向滑轨的支撑架，所述支撑架上设有不同传输方向的传送带组，所述传送带组分别将检测传送带上掉落的物料推向不同出料出口。

11、优选地，所述传送带组包括第一传送带和第二传送带；所述第一传送带和第二传送带分别装配在支撑架上。

12、所述支撑架底部设有支撑滑块，所述支撑架通过支撑滑块整体滑动于导向滑轨。

13、优选地，所述支撑架不同侧分别设有第一出料传送带和第二出料传送带，当所述激光粒度分析仪和图像粒度分析仪完成数据分析后，所述导向滑轨驱动支撑架移向第一出料传送带或第二出料传送带。

14、优选地，所述第一传送带起始端位于检测传送带出料端下方时，所述第一传送带末端位于第一出料传送带起始端上方，所述第二传送带起始端位于检测传送带出料端下方时，所述第二传送带末端位于第二出料传送带起始端上方。

15、与现有技术相比，本申请实施例主要有以下有益效果：

16、1、本发明所提供的基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备通过结构设计让激光粒度分析仪首先对下降过程中的物料进行数据分析，随后再通过图像粒度分析仪对掉落后分布在检测传送带上物料进行图像采集分析，在这个过程中有效将激光粒度分析仪和图像粒度分析仪两种不同的方式进行有效结合，提高了晶硅粒度质量检测的准确性。

17、2、本发明所提供的基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备让检测传送带传输速度远大于进料传送带输送速度，在传送带之间的速度差作用下让检测传送带上的物料分布更加均匀，从而让图像粒度分析仪获得更好的测试效果。

18、3、本发明所提供的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备中第一传送带和第二传送带分别承担合格物料和不合格物料输出任务，通过第一传送带和第二传送带与分析设备进行联动，进一步增强筛分效果，减少粒度偏差范围。

技术特征：

1.一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，所述分析设备还包括机壳，所述检测腔设置在机壳内，所述检测腔的进料端与进料传送带的末端对齐，所述检测腔的出料端与检测传送带的进料端对齐；下落过程中的物料会穿过检测腔到达检测传送带的表面。

3.如权利要求2所述的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，所述检测传送带传输速度远大于进料传送带输送速度，掉落至检测传送带物料分布均匀度大于进料传送带上物料分布均匀度。

4.如权利要求3所述的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，所述激光粒度分析仪和图像粒度分析仪均设置在机壳的内部。

5.如权利要求4所述的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，所述分离传输装置包括导向滑轨和滑动于导向滑轨的支撑架，所述支撑架上设有不同传输方向的传送带组，所述传送带组分别将检测传送带上掉落的物料推向不同出料出口。

6.如权利要求5所述的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，所述传送带组包括第一传送带和第二传送带；所述第一传送带和第二传送带分别装配在支撑架上。

7.如权利要求6所述的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，所述支撑架不同侧分别设有第一出料传送带和第二出料传送带，当所述激光粒度分析仪和图像粒度分析仪完成数据分析后，所述导向滑轨驱动支撑架移向第一出料传送带或第二出料传送带。

8.如权利要求7所述的一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，其特征在于，所述第一传送带起始端位于检测传送带出料端下方时，所述第一传送带末端位于第一出料传送带起始端上方，所述第二传送带起始端位于检测传送带出料端下方时，所述第二传送带末端位于第二出料传送带起始端上方。

技术总结本发明提供了一种基于机器视觉晶硅粒度质量检测设备，包括：进料传送带和检测传送带；分析设备，所述分析设备包括检测腔、激光粒度分析仪和图像粒度分析仪，所述检测腔位于进料传送带和检测传送带之间，移动至进料传送带末端的物料会穿过检测腔后到达检测传送带的表面，所述激光粒度分析仪的检测口朝向检测腔内下落的物料，所述图像粒度分析仪的图像采集设备指向检测传送带上分布的物料；所述检测传送带的后端还设有分离传输装置。本发明所将激光粒度分析仪和图像粒度分析仪两种不同的方式进行有效结合，提高了晶硅粒度质量检测的准确性，配合分离传输装置增强筛分效果，减少粒度偏差范围。技术研发人员：赵冲,罗辉,盛雨婷,周龙,郝明,洪文受保护的技术使用者：合肥工业大学智能制造技术研究院技术研发日：技术公布日：2024/11/4