一种spindle主轴上磁流体冷却的方法与流程

本发明涉及半导体设备冷却，具体涉及一种spindle主轴上磁流体冷却的方法。

背景技术：

1、spindle主轴安装在pecvd的工艺腔室下面，其通过旋转密封机制与工艺腔室之间实现隔离密封状态。spindle主轴的旋转密封机制巧妙地运用了磁流体技术，该技术以其非接触、低摩擦的特性，在旋转部件间构建起一道可靠的屏障，有效防止了介质泄漏。

2、然而，工艺腔体的温度会通过主轴传到磁流体上，随着温度的升高，磁流体的饱和磁化强度会降低，甚至当温度超过居里点时，磁性会完全消失，失去其特有的密封特性。此外温度升高还会增加磁流体的蒸发速率，导致密封介质减少，进而影响密封效果。因此，对磁流体进行冷却可以确保其保持在适宜的工作温度范围内，从而保持其良好的密封性能。并且冷却措施可以有效降低蒸发速度，保持密封介质的充足性。

技术实现思路

1、本发明的目的在于，提供一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其在滑块主体上盖的外周套接螺旋铜管，螺旋铜管内通入冷却水，通过循环水把热量带走，达到给磁流体散热的作用。

2、为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，包括：

3、在滑块主体上盖根部加工出第一避让槽，在滑块主体上盖侧壁加工出第二避让槽；

4、在盘管模具上缠绕铜管形成螺旋铜管，该螺旋铜管具有两个伸出端，第一伸出端从螺旋铜管根部引出作为进水管，第二伸出端起始于螺旋铜管顶部且紧贴其内壁从根部引出作为出水管；

5、将进水管和出水管分别焊接在水管夹两侧的通孔内；

6、焊接后，将螺旋铜管套接在滑块主体上盖外周，此时第一伸出端从第一避让槽穿出，第二伸出端从第二避让槽穿出；

7、将螺旋铜管上的缝隙及螺旋铜管与滑块主体上盖之间的缝隙添胶焊接。

8、在其中一个实施例中，将进水管和出水管分别焊接在水管夹两侧的通孔内，具体实现方式为：用乙炔枪加热水管夹、进水管、出水管，等到三者完全发红后，用磷铜焊条把进水管、出水管与水管夹焊接在一起。

9、在其中一个实施例中，所述进水管、出水管与水管夹焊接完成后用去氧化铜试剂浸泡，然后清水冲洗。

10、在其中一个实施例中，在水管夹底部两侧分别连接上进水接头和出水接头，用3-4bar的水压测漏。

11、在其中一个实施例中，将螺旋铜管上的缝隙及螺旋铜管与滑块主体上盖之间的缝隙用9911铸工ab胶焊接在一起。

12、在其中一个实施例中，所述水管夹上设有紧固座，紧固螺栓穿过紧固座将水管夹固定在滑块主体上盖上。

13、在其中一个实施例中，所述盘管模具形状与滑块主体上盖形状相适应。

14、在其中一个实施例中，所述滑块主体上盖与波纹管相连，在波纹管内设有磁流体。

15、在其中一个实施例中，冷却水从进水接头流入螺旋铜管内，再通过出水接头流出，通过循环水把热量带走，达到给磁流体散热的作用。

16、本发明由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：由于spindle主轴结构的特殊性，不能直接对磁流体进行冷却；本发明将螺旋铜管缠绕在滑块主体上盖，循环水在螺旋铜管内持续流动，高效吸收并带走上盖因工作而产生的热量，这一过程形成了一个闭环的热交换体系。随着上盖温度的降低，其热传导效应进一步作用于与之紧密接触的波纹管，进而实现对波纹管及其内部磁流体的有效冷却。

17、通过冷却措施，可以有效降低磁流体的温度，减少其热膨胀，从而保持密封间隙的稳定性，提高密封性能。

技术特征：

1.一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，将进水管和出水管分别焊接在水管夹两侧的通孔内，具体实现方式为：用乙炔枪加热水管夹、进水管、出水管，等到三者完全发红后，用磷铜焊条把进水管、出水管与水管夹焊接在一起。

3.根据权利要求1或2所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，所述进水管、出水管与水管夹焊接完成后用去氧化铜试剂浸泡，然后清水冲洗。

4.根据权利要求1所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，在水管夹底部两侧分别连接上进水接头和出水接头，用3-4bar的水压测漏。

5.根据权利要求1所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，将螺旋铜管上的缝隙及螺旋铜管与滑块主体上盖之间的缝隙用9911铸工ab胶焊接在一起。

6.根据权利要求1所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，所述水管夹上设有紧固座，紧固螺栓穿过紧固座将水管夹固定在滑块主体上盖上。

7.根据权利要求1所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，所述盘管模具形状与滑块主体上盖形状相适应。

8.根据权利要求4所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，所述滑块主体上盖与波纹管相连，在波纹管内设有磁流体。

9.根据权利要求5所述一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，其特征在于，冷却水从进水接头流入螺旋铜管内，再通过出水接头流出，通过循环水把热量带走，达到给磁流体散热的作用。

技术总结本发明公开了一种spindle主轴上磁流体冷却的方法，涉及半导体设备冷却技术领域；包括：在滑块主体上盖根部加工出第一避让槽，在滑块主体上盖侧壁加工出第二避让槽；在盘管模具上缠绕铜管形成螺旋铜管，该螺旋铜管具有两个伸出端，第一伸出端从螺旋铜管根部引出作为进水管，第二伸出端起始于螺旋铜管顶部且紧贴其内壁从根部引出作为出水管；将进水管和出水管分别焊接在水管夹两侧的通孔内；焊接后，将螺旋铜管套接在滑块主体上盖外周，此时第一伸出端从第一避让槽穿出，第二伸出端从第二避让槽穿出；将螺旋铜管上的缝隙及螺旋铜管与滑块主体上盖之间的缝隙添胶焊接。本发明通过循环水把热量带走，达到给磁流体散热的作用。技术研发人员：包驷璋,徐家庆,唐丽娜受保护的技术使用者：大连皓宇电子科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/4