一种兼容型华夫盒上下料装置及其上下料方法与流程

本发明涉及华夫盒上下料领域，尤其涉及一种兼容型华夫盒上下料装置及其上下料方法。

背景技术：

1、华夫盒是一种在半导体加工过程中的一种重要载具。华夫盒通常会有三种不同的尺寸2寸，4寸和6寸。在半导体加工的过程中华夫盒的上下料一直是个难题。目前市面上的晶圆-华夫盒挑片机，其华夫盒运动平台上通常是一个大的平台上固定若干个华夫盒，这样的设计的弊端一是使华夫盒运动平台面积很大；其次是下料的时候需要停机，人工取走上面的华夫盒；最后是对于不同尺寸的华夫盒，需要更换承载华夫盒的治具。

2、除了上述的方式，还有一种方式是若干个华夫盒排布在轨道上，由推杆机构推动华夫盒整体前移，这种方式虽然可以实现华夫盒的不停机上下料，但是这种方式导致吸嘴每次放料的位置不一样，不能用于点对点式的晶片分拣设备。

技术实现思路

1、本发明目的是：提供一种兼容型华夫盒上下料装置及其上下料方法，以解决现有技术中华夫盒上下料装置兼容性不高的问题。

2、本发明的技术方案是：一种兼容型华夫盒上下料装置，包括机壳，设置于机壳外侧的不停机操作部，封装于机壳内部的缓存组件，以及对应缓存组件设置的进出料驱动组件；

3、所述不停机操作部具有分别位于上料工位和取料工位的上料仓和取料仓，满载物料的华夫盒经上料仓送入缓存组件中，空的华夫盒经由取料仓输出；所述进出料驱动组件具有能够夹持华夫盒的夹爪，所述夹爪夹持华夫盒并在取放驱动器的带动下进行进出机壳的动作。

4、优选的，所述进出料驱动组件和缓存组件均具有用于容置华夫盒的一对连接端，且分别设置有第一调节机构和第二调节机构，并分别用于驱动一对夹持端朝向或远离一固定的空间坐标点进行同步运动。

5、优选的，所述进出料驱动组件的连接端被构造为成对设置的夹具，一对所述夹具滑动设置于进出料底板上；

6、所述第一调节机构包括第一变距驱动器和第一正反螺纹变距丝杆，所述第一正反螺纹变距丝杆的两端分别与一对夹具螺纹连接，并在第一变距驱动器的驱动下带动一对夹具相互靠近或远离。

7、优选的，任意所述夹具包括取放驱动器和夹具本体，所述夹爪滑动设置于夹具本体上，一对所述夹爪在取放驱动器的驱动下能够沿夹具本体长度方向运动，所述夹爪驱动器带动夹爪夹持华夫盒，从而将华夫盒从缓存组件中取出或放入。

8、优选的，一对所述夹爪之间连接有联动装置，所述联动装置包括联动滑块和一对联动导轨，一对所述联动导轨的一端分别与一对夹爪固定后与联动滑块沿夹具运动方向滑动配合；

9、所述取放驱动器与任一夹爪连接，并在联动装置的作用下使得一对夹爪同步运动。

10、优选的，还设置有运动平台，所述进出料驱动组件与运动平台滑动连接，能够沿水平面运动。

11、优选的，所述不停机操作部还包括设置于机壳外侧的储存仓底板，所述上料仓和取料仓均沿竖直方向固定于储存仓底板上；所述上料仓和取料仓均由多个定位挡边构成，且构成取料仓的定位挡边设置有止回装置，阻止其容纳的华夫盒向下掉落；

12、所述储存仓底板上设置有多个销孔，任意所述定位挡边通过贯穿销孔的销轴与储存仓底板固定，相邻定位挡边通过配合不同的销孔从而调节间距。

13、优选的，所述缓存组件的连接端被构造为分别对应上料仓和取料仓平行设置的两组缓存轨道，所述第二调节机构包括第二变距驱动器和第二正反螺纹变距丝杆，任意一组缓存轨道之间与第二正反螺纹变距丝杆的两端螺纹配合，并在第二变距驱动器的带动下相互靠近或远离。

14、优选的，所述缓存组件还包括对应上料仓和取料仓设置的顶升机构，所述顶升机构具有顶升板和顶升驱动器，所述顶升板在顶升驱动器的带动下进入对应的上料仓或取料仓中将华夫盒取出或放入。

15、一种兼容型华夫盒的上下料方法，包括如下步骤：

16、步骤一、操作者调节位于机壳外侧的上料仓和取料仓，将其定位挡边与储存仓底板上不同的销孔对应连接，使得相邻定位挡边的间距与华夫盒尺寸对应，然后将华夫盒放入上料仓中；

17、步骤二、所述缓存组件上的顶升机构运动，承接上料仓中的华夫盒并将其放入缓存轨道中；同时，对应的缓存轨道在第二调节机构的带动下调节为适应华夫盒尺寸的间距，并将华夫盒搭载；

18、步骤三、所述第一调节机构调整一对夹具进入适应华夫盒尺寸的间距，夹具上的夹爪在取放驱动器的带动下伸入缓存组件中，并由夹爪驱动器驱动夹爪夹持缓存轨道上的华夫盒；随后，所述取放驱动器驱动夹爪将华夫盒从缓存轨道中取出，供后续设备将华夫盒内搭载的晶圆取出加工；

19、步骤四、所述运动平台带动进出料驱动组件运动，使得夹爪与对应取料仓的缓存轨道对应，所述夹爪继续将空的华夫盒放入对应取料仓的缓存轨道上，所述顶升机构将缓存轨道上的空的华夫盒顶升至取料仓中，供操作者从机壳外部回收。

20、与现有技术相比，本发明的优点是：

21、（1）设置有第一调节机构和第二调节机构，使得本发明能够兼容不同规格的华夫盒，且不需要更换不同的治具。

22、（2）第一调节机构和第二调节机构使得本发明能够兼容不同规格的华夫盒的同时，还能使得不同规格的华夫盒在转运过程中，其中心点的运行路径保持一致。即华夫盒上的晶圆不会因华夫盒规格的不同而在同一工位中具有不同的空间位置，从而使得便于后续设备对华夫盒上的晶圆进行点对点的取料作业。

23、（3）本发明将用于储存华夫盒的上料仓和取料仓设置于机壳外侧，使得操作者可以在本发明工作的同时，完成对华夫盒的上料和取料作业，实现不停机操作。

技术特征：

1.一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，包括机壳（1），设置于机壳（1）外侧的不停机操作部（2），封装于机壳（1）内部的缓存组件（3），以及对应缓存组件（3）设置的进出料驱动组件（4）；

2.根据权利要求1所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，所述进出料驱动组件（4）和缓存组件（3）均具有用于容置华夫盒的一对连接端，且分别设置有第一调节机构（43）和第二调节机构（32），并分别用于驱动一对夹持端朝向或远离一固定的空间坐标点进行同步运动。

3.根据权利要求2所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，所述进出料驱动组件（4）的连接端被构造为成对设置的夹具（42），一对所述夹具（42）滑动设置于进出料底板上；

4.根据权利要求3所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，任意所述夹具（42）包括取放驱动器（421）和夹具本体（422），所述夹爪（423）滑动设置于夹具本体（422）上，一对所述夹爪（423）在取放驱动器（421）的驱动下能够沿夹具本体（422）长度方向运动，所述夹爪（423）驱动器带动夹爪（423）夹持华夫盒，从而将华夫盒从缓存组件（3）中取出或放入。

5.根据权利要求4所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，一对所述夹爪（423）之间连接有联动装置（44），所述联动装置（44）包括联动滑块（441）和一对联动导轨（442），一对所述联动导轨（442）的一端分别与一对夹爪（423）固定后与联动滑块（441）沿夹具（42）运动方向滑动配合；

6.根据权利要求5所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，还设置有运动平台（41），所述进出料驱动组件（4）与运动平台（41）滑动连接，能够沿水平面运动。

7.根据权利要求6所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，所述不停机操作部（2）还包括设置于机壳（1）外侧的储存仓底板（23），所述上料仓（21）和取料仓（22）均沿竖直方向固定于储存仓底板（23）上；所述上料仓（21）和取料仓（22）均由多个定位挡边构成，且构成取料仓（22）的定位挡边设置有止回装置，阻止其容纳的华夫盒向下掉落；

8.根据权利要求6所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，所述缓存组件（3）的连接端被构造为分别对应上料仓（21）和取料仓（22）平行设置的两组缓存轨道（31），所述第二调节机构（32）包括第二变距驱动器（321）和第二正反螺纹变距丝杆（322），任意一组缓存轨道（31）之间与第二正反螺纹变距丝杆（322）的两端螺纹配合，并在第二变距驱动器（321）的带动下相互靠近或远离。

9.根据权利要求8所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，所述缓存组件（3）还包括对应上料仓和取料仓（22）设置的顶升机构（33），所述顶升机构（33）具有顶升板（331）和顶升驱动器（332），所述顶升板（331）在顶升驱动器（332）的带动下进入对应的上料仓或取料仓（22）中将华夫盒取出或放入。

10.一种兼容型华夫盒的上下料方法，采用如权利要求6或7或9所述的一种兼容型华夫盒上下料装置，其特征在于，包括如下步骤：

技术总结本发明涉及华夫盒上下料领域，尤其涉及一种兼容型华夫盒上下料装置。包括机壳，设置于机壳外侧的不停机操作部，封装于机壳内部的缓存组件，以及对应缓存组件设置的进出料驱动组件；不停机操作部具有分别位于上料工位和取料工位的上料仓和取料仓，满载物料的华夫盒经上料仓送入缓存组件中，空的华夫盒经由取料仓输出；进出料驱动组件具有能够夹持华夫盒的夹爪，夹爪夹持华夫盒并在取放驱动器的带动下进行进出机壳的动作。本发明能够兼容不同规格的华夫盒的同时，还能使华夫盒上的晶圆不会因华夫盒规格的不同而在同一工位中具有不同的空间位置，从而使得便于后续设备对华夫盒上的晶圆进行点对点的取料作业。技术研发人员：吕松也,王荣受保护的技术使用者：苏州茂特斯自动化设备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/4