腔体结构及其制造方法与流程

本公开涉及光伏或半导体，具体涉及一种腔体结构及其制造方法。

背景技术：

1、在科学研究、工业生产及实验室设备等领域中，真空腔体由于其独特的真空环境而具有广泛的应用。然而，现有的真空腔体在承受外部大气压力方面存在不足。因此，研发一种结构稳定且能承受外部大气压力的真空腔体显得尤为重要。

2、传统的真空腔体往往采用单一的金属或合金材料，其承受外部大气压力和面对不同气体氛围的能力有限。此外，传统的制备方法也存在操作复杂、成本较高等问题，限制了带热场真空腔体的广泛应用。

技术实现思路

1、有鉴于此，本公开实施例提供了一种腔体结构及其制造方法，以解决相关技术中真空腔体承受外部大气压力的能力有限的问题。

2、本公开第一方面提供了一种腔体结构，包括：框架，包括两个端部支架和多个沿第一方向延伸的支撑件，多个所述支撑件位于两个所述端部支架之间，且分别与两个所述端部支架固定连接；多个发热结构，与所述支撑件固定连接，多个所述发热结构与所述框架围成工艺腔。

3、在一个实施例中，所述支撑件包括：第一构成板，沿所述第一方向延伸；第二构成板，沿所述所述第一方向延伸，且与所述第一构成板垂直固定；多个所述发热结构包括：至少一个第一发热结构，沿第二方向延伸，且所述第一发热结构的两端分别与相应的所述支撑件的所述第一构成板连接；至少一个第二发热结构，沿第三方向延伸，且所述第二发热结构的两端分别与相应的所述支撑件的所述第二构成板连接；其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。

4、在一个实施例中，，所述支撑件在所述第一构成板和所述第二构成板之间形成夹角，所述夹角朝向远离所述工艺腔的一侧。

5、在一个实施例中，所述第一发热结构的数量为多个，多个所述第一发热结构沿所述第一方向排列，且多个所述第一发热结构分别与所述第一构成板连接；和/或，所述第二发热结构的数量为多个，多个所述第二发热结构沿所述第一方向排列，且多个所述第一发热结构分别与所述第二构成板连接。

6、在一个实施例中，所述支撑件还包括：加强筋，所述加强筋设置于所述第一构成板和所述第二构成板之间，且分别与所述第一构成板和所述第二构成板垂直固定。

7、在一个实施例中，所述发热结构包括：管体，所述管体的一端与其中一个所述支撑件固定连接，所述管体的另一端与另一个所述支撑件固定连接；加热丝，包括加热段和连接段，所述加热段位于所述管体内，所述连接段与所述加热段连接，且延伸至所述管体的外侧，所述连接段被配置为连接电源。

8、在一个实施例中，所述发热结构还包括：导热绝缘材料，填充在所述管体和所述加热丝之间。

9、在一个实施例中，所述导热绝缘材料为导热型陶瓷化硅胶、导热硅脂和导热灌封胶中的一种。

10、在一个实施例中，所述发热结构还包括：加强件，位于所述管体内侧，与所述管体固定连接。

11、在一个实施例中，所述框架的材料为金属材料；和/或，所述管体的材料为不锈钢或钛合金材料；和/或，所述加热段的材料为镍铬合金或铁铬铝合金材料。

12、在一个实施例中，还包括：多个密封层，位于所述发热结构背离所述工艺腔的一侧，与所述支撑件和/或所述端部支架固定连接。

13、在一个实施例中，所述密封层的材料为金属材料。

14、在一个实施例中，还包括：至少一层保温隔热层，设置于多个所述密封层的外侧，且与所述密封层和/或所述框架固定连接。

15、本公开第二方面提供了一种腔体结构的制造方法，包括：制造发热结构；提供两个端部支架和多个支撑件，将两个端部支架与多个支撑件固定连接，以获得框架；将所述发热结构与所述支撑件固定连接。

16、在一个实施例中，在所述将所述发热结构与所述支撑件固定连接之后，还包括：提供密封层，将所述密封层与所述支撑件和/或所述端部支架固定连接。

17、在一个实施例中，在所述将所述密封层与所述支撑件和/或所述端部支架固定连接之后，还包括：提供保温隔热层，将所述保温隔热层固定在所述密封层的外侧。

18、在一个实施例中，所述制造发热结构包括：提供管体和加热丝；将所述加热丝安装在所述管体内。

19、在一个实施例中，所述将所述管体安装在所述加热丝内之后，所述制造发热结构还包括：提供导热绝缘材料，将所述导热绝缘材料填充在所述管体和所述加热丝之间。

20、在一个实施例中，所述制造发热结构还包括：提供加强件，将所述加强件固定在所述管体的内侧。

21、根据本公开实施例提供的腔体结构及其制造方法，腔体结构中的框架可以对发热结构起到支撑作用，多个发热结构与框架共同围成工艺腔，有利于增强该腔体结构承受外部大气压力的能力，保证其在各种气体氛围环境下的稳定性和安全性，框架中的支撑件与发热结构连接的结构形式可以简化发热结构的安装结构，降低结构复杂性和生产成本。

技术特征：

1.一种腔体结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的腔体结构，其特征在于，所述支撑件包括：

3.根据权利要求2所述的腔体结构，其特征在于，所述支撑件在所述第一构成板和所述第二构成板之间形成夹角，所述夹角朝向远离所述工艺腔的一侧。

4.根据权利要求2或3所述的腔体结构，其特征在于，所述第一发热结构的数量为多个，多个所述第一发热结构沿所述第一方向排列，且多个所述第一发热结构分别与所述第一构成板连接；

5.根据权利要求2或3所述的腔体结构，其特征在于，所述支撑件还包括：

6.根据权利要求1至3任一项所述的腔体结构，其特征在于，所述发热结构包括：

7.根据权利要求6所述的腔体结构，其特征在于，所述发热结构还包括：

8.根据权利要求7所述的腔体结构，其特征在于，所述导热绝缘材料为导热型陶瓷化硅胶、导热硅脂和导热灌封胶中的一种。

9.根据权利要求6所述的腔体结构，其特征在于，所述发热结构还包括：

10.根据权利要求6所述的腔体结构，其特征在于，所述框架的材料为金属材料；

11.根据权利要求1至3任一项所述的腔体结构，其特征在于，还包括：

12.根据权利要求11所述的腔体结构，其特征在于，所述密封层的材料为金属材料。

13.根据权利要求11所述的腔体结构，其特征在于，还包括：

14.一种腔体结构的制造方法，其特征在于，包括：

15.根据权利要求14所述的制造方法，其特征在于，在所述将所述发热结构与所述支撑件固定连接之后，还包括：

16.根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于，在所述将所述密封层与所述支撑件和/或所述端部支架固定连接之后，还包括：

17.根据权利要求14至16任一项所述的制造方法，其特征在于，所述制造发热结构包括：

18.根据权利要求17所述的制造方法，其特征在于，所述将所述管体安装在所述加热丝内之后，所述制造发热结构还包括：

19.根据权利要求18所述的制造方法，其特征在于，所述制造发热结构还包括：

技术总结本公开涉及涉及光伏或半导体技术领域，解决了相关技术中真空腔体承受外部大气压力的能力有限的问题。提供了一种腔体结构及其制造方法，腔体结构包括框架和多个发热结构，框架包括两个端部支架和多个沿第一方向延伸的支撑件，多个支撑件位于两个端部支架之间，且分别与两个端部支架固定连接；多个发热结构与支撑件固定连接，多个发热结构与框架围成工艺腔。腔体结构中的框架可以对发热结构起到支撑作用，多个发热结构与框架共同围成工艺腔，有利于增强该腔体结构承受外部大气压力的能力，保证其在各种气体氛围环境下的稳定性和安全性，框架中的支撑件与发热结构连接的结构形式可以简化发热结构的安装结构，降低结构复杂性和生产成本。技术研发人员：朱太荣,杨芳,刘官炫,刘群受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2