晶圆缺陷增强处理方法、装置、存储介质及电子设备与流程

本申请涉及工业视觉智能检测，尤其是涉及到一种晶圆缺陷增强处理方法、装置、存储介质及电子设备。

背景技术：

1、半导体晶圆产品如碳化硅在生产过程中，由于工艺的精度要求高，工序复杂问题，导致产品在生产过程中不可避免的出现瑕疵。人工对于此类产品的质量判定不仅需要高精度仪器的辅助，而且检测的效率较低，因此检测设备是一个更好的选择。检测设备在能够提高生产效率的同时，也能够更方便的观察缺陷的分布情况与原因，为前端生产工艺提供改良方向。

2、高精度的成像在实际采图过程中时常出现抖动，极易出现虚焦或像素波动较大的情况。基于此种现象，在弱缺陷检测时，单纯的依赖ai模型进行分割，难以控制缺陷与背景的有效区分。因此在缺陷检测前需要对缺陷进行增强处理，提高缺陷检出稳定性。

3、目前，对于晶圆弱缺陷，通常可使用对比度拉伸、像素指数、局部像素增强等方式，提高晶圆弱缺陷与背景的对比度。然而，单纯的对比度增强容易受到离群噪点的影响，导致晶圆弱缺陷增强效果不明显。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提供了一种晶圆缺陷增强处理方法、装置、存储介质及电子设备，主要目的在于能够提升晶圆弱缺陷的增强效果。

2、依据本申请的第一方面，提供了一种晶圆缺陷增强处理方法，该方法包括：

3、获取待处理的晶圆图像；

4、统计所述晶圆图像中的像素值分布；

5、根据所述像素值分布，确定所述晶圆图像对应的背景像素区域；

6、基于所述背景像素区域对所述晶圆图像进行灰度抑制，得到灰度抑制后的晶圆图像；

7、基于所述灰度抑制后的晶圆图像，进行缺陷对比度增强。

8、依据本申请的第二方面，提供了一种晶圆缺陷增强处理装置，该装置包括：

9、获取单元，用于获取待处理的晶圆图像；

10、统计单元，用于统计所述晶圆图像中的像素值分布；

11、确定单元，用于根据所述像素值分布，确定所述晶圆图像对应的背景像素区域；

12、抑制单元，用于基于所述背景像素区域对所述晶圆图像进行灰度抑制，得到灰度抑制后的晶圆图像；

13、增强单元，用于基于所述灰度抑制后的晶圆图像，进行缺陷对比度增强。

14、依据本申请的第三方面，提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现上述晶圆缺陷增强处理方法。

15、依据本申请的第四方面，提供了一种电子设备，包括存储介质、处理器及存储在存储介质上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述晶圆缺陷增强处理方法。

16、借由上述技术方案，本申请提供的一种晶圆缺陷增强处理方法、装置、存储介质及电子设备，与现有技术相比，通过统计晶圆图像中的像素值分布，并根据像素值分布，确定晶圆图像对应的背景像素区域，能够基于背景像素区域对晶圆图像进行灰度抑制，从而能够降低明显缺陷在灰度拉伸时对弱缺陷的影响，即本申请通过抑制对比度高的噪点，能够在保持明显缺陷效果不变的情况下，增强弱缺陷。

17、上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。

技术特征：

1.一种晶圆缺陷增强处理方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述统计所述晶圆图像中的像素值分布，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述像素值分布，确定所述晶圆图像对应的背景像素区域，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述像素值分布，拟合关于像素值和像素频次的函数曲线，包括：

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述峰值，确定所述晶圆图像对应的背景像素区域，包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述背景像素区域对所述晶圆图像进行灰度抑制，得到灰度抑制后的晶圆图像，包括：

7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述在基于所述背景像素区域对所述晶圆图像进行灰度抑制，得到灰度抑制后的晶圆图像之后，所述方法还包括：

8.一种晶圆缺陷增强处理装置，其特征在于，包括：

9.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述的方法。

10.一种电子设备，包括存储介质、处理器及存储在存储介质上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7中任一项所述的方法。

技术总结本申请公开了一种晶圆缺陷增强处理方法、装置、存储介质及电子设备，涉及工业视觉智能检测技术领域。其中方法包括：获取待处理的晶圆图像；统计所述晶圆图像中的像素值分布；根据所述像素值分布，确定所述晶圆图像对应的背景像素区域；基于所述背景像素区域对所述晶圆图像进行灰度抑制，得到灰度抑制后的晶圆图像；基于所述灰度抑制后的晶圆图像，进行缺陷对比度增强。本申请能够提升晶圆弱缺陷的增强效果。技术研发人员：杨训根,张武杰受保护的技术使用者：中科慧远半导体技术（广东）有限公司技术研发日：技术公布日：2025/1/6