一种旋涂自动定量上液装置的制作方法

本申请涉及半导体加工设备，特别涉及一种旋涂自动定量上液装置。

背景技术：

1、旋涂是旋转涂抹法的简称，是有机发光二极管中常用的制备方法，主要有设备为匀胶机。旋涂法包括：配料，高速旋转，挥发成膜三个步骤，通过控制匀胶的时间，转速，滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。

2、相关技术中，在试验加工给旋涂设备添加功能液时，采用注射器原理的移液头，试验人员采用通过手动形式，给旋涂设备的加工面抓添加功能液。

3、但是，试验时，通常需要加工一定数量的器件，增大样本量，以根据大样本器件的加工情况，判断加工质量。人工加液时，受到人工操纵一致性的影响，不仅每次加液量无法控制一致，而且每次加液的位置也难以保证，由于操作一致性的影响，导致试验后得知的加工效果情况的说服力较差。另外，每次加液后，均需要替换针头，以避免使用过的针头中残留的功能液对后续加液产生影响，而人工更换针头后，再进行取液和加液操作，加工效率极低。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种旋涂自动定量上液装置，以解决相关技术中手动每次加液的位置也难以保证，由于操作一致性的影响，导致试验后得知的加工效果情况的说服力较差，人工更换针头再加工，效率极低的技术问题。

2、一种旋涂自动定量上液装置，用于给旋涂设备定量定点加液，所述旋涂设备的盖体中心开设有贯穿的加液孔，所述旋涂自动定量上液装置包括：

3、移液组件，所述移液组件包括移液头和移液针管，移液针管可拆卸连接于所述移液头；

4、移动模组，所述移动模组驱动所述移液组件升降运动以及在水平面上转动，所述移液组件在水平面上转动以在上液工位、加液工位和收集工位切换，所述旋涂设备位于所述加液工位；

5、备料组件，所述备料组件包括备料架、备料驱动模组和多个备用针管，所述备料驱动模组带动所述备料架在送料方向上运动，多个所述备用针管均竖直穿设于所述备料架，且多个所述备用针管随所述备料架运动依次经过所述上液工位；

6、供液组件，所述供液组件包括液瓶，所述液瓶用于装载功能液，所述液瓶位于所述上液工位，且所述液瓶位于处于所述上液工位的所述备用针管的正下方。

7、一些实施例中，所述移液头包括：

8、主体部，所述主体部安装于所述移动模组的驱动端；

9、管体，所述管体与所述主体部连接，所述移液针管套设于所述管体；

10、活塞杆，所述活塞杆穿设于所述管体；

11、移液驱动件，所述移液驱动件安装于所述主体部内，所述移液驱动件与所述活塞杆驱动连接，以带动所述活塞杆相对于所述管体升降；其中，

12、随所述活塞杆上升，将所述液瓶内的功能液抽至所述移液针管和所述管体内。

13、一些实施例中，所述移液针管和所述备用针管均包括：

14、第一沉孔段，所述管体插设至所述移液针管或所述备用针管的所述第一沉孔段内，且所述管体的外侧面贴合于所述第一沉孔段的孔壁；

15、第二通孔段，所述第二通孔段与所述第一沉孔段连通；其中，

16、所述活塞杆下降至抵紧所述第一沉孔段的孔底，并下推所述移液针管，以使所述移液针管脱离所述管体。

17、一些实施例中，多个所述备用针管均弹性升降设于所述备料架；

18、所述移液组件下降，所述管体插设至处于上液工位处的的备用针管内，并下压所述备用针管，使所述备用针管伸至所述液瓶内。

19、一些实施例中，所述备料组件还包括：

20、多个支撑套，多个所述支撑套沿所述送料方向排列，所述备用针管穿设于所述支撑套，所述备用针管的外侧面设有台阶面，所述台阶面贴合于所述支撑套的顶面；

21、多个弹性件，多个所述弹性件分别对应连接多个所述支撑套，所述弹性件的两端分别与所述支撑套和所述备用架连接；其中，

22、随所述管体下降，所述备用针管套设至所述管体，且所述管体带动所述备用针管下压而使所述支撑套弹性下降。

23、一些实施例中，所述供液组件还包括：

24、供液板，所述液瓶可拆卸安装于所述供液板；

25、供液驱动件，所述供液驱动件驱动所述供液板在供液方向运动，以带动所述供液板上的液瓶移动至上液工位处。

26、一些实施例中，所述供液组件还包括锁紧结构，所述液瓶通过所述锁紧结构与所述供液板连接；所述锁紧结构包括：

27、定位板，所述定位板固定在所述供液板表面，且所述定位板的侧面与所述液瓶的周向侧面契合；

28、锁紧直线模组，所述锁紧直线模组安装于所述供液板，且所述锁紧直线模组的驱动端抵紧所述液瓶，所述液瓶被夹持在所述定位板和所述锁紧直线模组的驱动端之间。

29、一些实施例中，所述移动模组包括安装座，所述安装座为所述移动模组的驱动端，所述移液头可拆卸安装于所述安装座；所述安装座包括安装槽，所述移液头位于所述安装槽内，所述移液头的侧面通过多个螺栓抵紧以固定所述移液头。

30、一些实施例中，该旋涂自动定量上液装置还包括收集容器，所述收集容器位于所述收集工位处，所述收集容器收集从所述移液头上拆下的所述移液针管。

31、一些实施例中，该旋涂自动定量上液装置还包括加工腔室，所述移液组件、所述移动模组、所述备料组件和所述供液组件均位于所述加工腔室内。

32、本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：

33、本申请实施例提供了一种旋涂自动定量上液装置，通过移动模组带动移液组件运动，以使移液组件可依次移动至上液工位、加液工位和收集工位。其中，在上液工位处，备料组件将备用针管送至上液工位，移液头也运动至上液工位，移液头下降以安装备用针管，此时备用针管安装后为移液针管。移液针管安装后，移液头和移液针管继续下降，移液针管伸至液瓶内而抽取功能液。因此移液头下降以安装针管并直接抽取功能液，功能液的抽取效率更高，无需多次移动移液头，减少了移液头的定位步骤以及移动次数。因此简化了工作步骤，提高了加液效率。

34、移液头抽取功能液后，携带有功能液的移液头移动至加液工位，由于在加液工位处的移液头的位置固定，每次加液时，移液头的位置一致性更好。移液头在加液工位处下降而从加液孔伸至旋涂设备内，并进行加液。由于通过移动模组自动带动移液头运动，因而移液头每次移动至加液工位处的位置一致，高度也一致，即保证了每次加液的位置和加液高度一致性，确保每次加液的操作一致性，提高旋涂加工试验结果的信服力。

35、最后，移液头移动至收集工位处，将使用过的移料针管拆下，以方便后续安装下一备用针管至移液头，便于下一器件的加工。

36、另外，由于移液头被带动转动而切换工位，移液头连续依次经过上液工位、加液工位和收集工位，并从收集工位再次移动至上液工位，工位切换更流畅，加工节拍更优，提高了加工效率。

技术特征：

1.一种旋涂自动定量上液装置，用于给旋涂设备定量定点加液，所述旋涂设备的盖体中心开设有贯穿的加液孔，其特征在于，所述旋涂自动定量上液装置包括：

2.根据权利要求1所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，所述移液头包括：

3.根据权利要求2所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，所述移液针管和所述备用针管均包括：

4.根据权利要求2所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，多个所述备用针管均弹性升降设于所述备料架；

5.根据权利要求4所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，所述备料组件还包括：

6.根据权利要求1所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，所述供液组件还包括：

7.根据权利要求6所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，所述供液组件还包括锁紧结构，所述液瓶通过所述锁紧结构与所述供液板连接；所述锁紧结构包括：

8.根据权利要求1所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，所述移动模组包括安装座，所述安装座为所述移动模组的驱动端，所述移液头可拆卸安装于所述安装座；所述安装座包括安装槽，所述移液头位于所述安装槽内，所述移液头的侧面通过多个螺栓抵紧以固定所述移液头。

9.根据权利要求1所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，还包括收集容器，所述收集容器位于所述收集工位处，所述收集容器收集从所述移液头上拆下的所述移液针管。

10.根据权利要求1所述的旋涂自动定量上液装置，其特征在于，还包括加工腔室，所述移液组件、所述移动模组、所述备料组件和所述供液组件均位于所述加工腔室内。

技术总结本申请涉及一种旋涂自动定量上液装置，包括：移液组件，其包括移液头和移液针管，移液针管可拆卸连接于移液头；移动模组，其驱动移液组件升降运动以及在水平面上转动，移液组件在水平面上转动以在上液工位、加液工位和收集工位切换，旋涂设备位于加液工位；备料组件，其包括备料架、备料驱动模组和多个备用针管，多个备用针管随备料架运动依次经过上液工位；供液组件，其包括液瓶，液瓶位于处于上液工位的备用针管的正下方。本申请将移液组件依次移动至上液工位、加液工位和收集工位，实现自动上液、加液以及更换针管，提高了加工效率，并保证操作一致性，增强了试验效果的说服力。技术研发人员：余鹏程,雷春耀,孙成祥,唐伟受保护的技术使用者：广东国创科光电装备有限公司技术研发日：技术公布日：2025/1/6