一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置的制作方法

本发明涉及真空镀膜装置，具体是一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置。

背景技术：

1、真空镀膜主要基于物理气相沉积和化学气相沉积原理。在物理气相沉积中，通过物理过程如蒸发、溅射等使镀膜材料从固态转变为气态原子或分子，然后这些气态粒子在真空环境下移动并沉积在基材的表面。

2、根据检索，中国专利文献，公告号：cn114875376a，公开了一种连续性真空镀膜生产线及镀膜工艺。通过金属掩膜板结构中的掩膜板上下端分别卡合在上卡槽和下卡槽中，方便单独拆除重新回收利用，利用h ip i ms、dcpu l se、mf、rf不同电源产生的电弧进行对靶材轰击，产生金属原子或离子，与反应腔室内游离化反应气体进行反应再沉积于金属掩膜板表面形成厚膜，同时由于上连接轴、下连接轴和翻转电机的设置方便进行翻转掩膜板翻面，完成金属掩模板自动换面，达到双面镀膜的目的。

3、但是上述镀膜技术中，其设备在设计上缺乏对圆柱靶材与待镀膜工件间距的有效调节功能。在实际生产过程中，不同的镀膜材料和工件厚度以及所需的薄膜性能都对这个间距有着不同的要求。若圆柱靶材距离待镀膜工件较远则溅射出来的原子在飞向工件的过程中，需要穿越更长的距离。在这个过程中，它们更容易与真空室内残余的气体分子发生碰撞，导致其运动方向发生改变或者能量损失。若距离太近则容易导致单位时间内大量的溅射粒子堆积在工件表面。这些粒子在快速沉积的过程中，没有足够的时间进行有序排列，容易产生内部应力。

技术实现思路

1、本发明的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，包括真空室，所述真空室的内部设置有镀膜组件和镀膜翻转组件，所述真空室的内壁上连接有若干个烘干灯，所述真空室的内部设置有输送带，且所述真空室的两端安装有密封门；

3、所述镀膜组件包括有安装在真空室外壁上的第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接带轮一，所述带轮一的外表面传动连接有同步带，所述同步带传动连接有带轮二，所述带轮二的端面中心固定连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有圆柱靶材，且所述转轴的外表面通过轴承转动连接有一号侧板，所述一号侧板的顶端固定连接有连接板，所述连接板的一端固定连接有二号侧板，所述二号侧板的外表面固定连接有旋转杆，所述旋转杆的一端固定连接有齿轮，所述齿轮的啮合连接有齿条，所述齿条的底部滑动连接有导向轨，且所述齿条的一端连接有气缸，所述气缸的推杆外表面滑动连接固定板。

4、作为本发明优先的方案，所述圆柱靶材的两端均固定连接有转轴，其中一个所述转轴与一号侧板转动连接，另外一个所述转轴与二号侧板转动连接，所述一号侧板和所述二号侧板之间固定连接有连接板。

5、作为本发明优先的方案，所述气缸的缸体端安装在固定板的外表面，所述带轮一另外一个端面的中心通过轴配合轴承与一号侧板转动连接。

6、作为本发明优先的方案，所述导向轨的外表面通过螺栓连接于真空室的外壁上，且所述导向轨的一端固定连接固定板。

7、作为本发明优先的方案，所述镀膜组件设置有两组，所述烘干灯也设置有两组，且所述烘干灯的两端连接于真空室的内部两侧。

8、作为本发明优先的方案，所述镀膜翻转组件包括有转动连接于真空室内壁的传动杆、轴杆一和轴杆二，所述传动杆的外表面固定连接有转动板，所述转动板的两端转动连接有连杆一和连杆二，所述轴杆一的外表面固定连接有一号夹持板，所述轴杆二的外表面固定连接有二号夹持板。

9、作为本发明优先的方案，所述连杆一远离转动板的一端转动连接于一号夹持板的尾端，所述连杆二远离转动板的一端转动连接于二号夹持板的尾端，所述传动杆的一端连接有第二电机的输出轴，所述第二电机安装于真空室的外壁。

10、作为本发明优先的方案，所述一号夹持板和二号夹持板的上表面均开设放置槽，所述放置槽内粘贴有防滑陶瓷条。

11、作为本发明优先的方案，所述密封门包括有设置于真空室两端的门体，所述门体的内表面固定连接有铰接板，所述铰接板的外表面连接有铰杆一和铰杆二，所述铰杆一的外表面转动连接有曲杆一，所述曲杆一的一端转动连接有曲杆二，所述曲杆二的一端固定连接有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有第三电机的输出轴，所述铰杆一和铰杆二远离铰接板的一端滑动接触有限位板。

12、作为本发明优先的方案，所述第三电机安装于真空室的外壁上，所述限位板的外表面贯穿开设有直槽和弧槽，且所述限位板固定连接于真空室的内壁上。

13、与现有技术相比，该一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置具备如下有益效果：

14、一、本发明可通过启动气缸，经气缸的推杆伸缩带动齿条移动，齿条与齿轮啮合，依次带动旋转杆、二号侧板、连接板、一号侧板、转轴，使圆柱靶材围绕旋转杆轴心转动，从而调节其与输送带上待镀膜板材的距离；这一设计可精确控制圆柱靶材的升降距离，根据薄膜厚度需求或板材厚度灵活调整；比如生产厚膜可缩小间距加快沉积速度，生产薄膜可增大间距降低速度，既能提高薄膜沉积速率，又能精确控制薄膜厚度，还能适用于不同厚度板材的镀膜，提高了生产的灵活性和产品质量。

15、二、本发明在输送带输送板材过程中，当板材经过镀膜翻转组件上方且一面镀膜完成后，启动第二电机，带动传动杆、转动板、连杆一、连杆二、一号夹持板和二号夹持板，实现板材的翻转；这样另一组镀膜组件可对另一面镀膜，在一个工序内完成双面镀膜，大大提高了镀膜效率；并且，一号夹持板和二号夹持板上的防滑陶瓷条能承受较高温度，保证了在高温环境下对板材的稳定夹持和翻转。

16、本发明的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本发明的实践中得到教导。

技术特征：

1.一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，包括真空室(1)，所述真空室(1)的内部设置有镀膜组件(2)和镀膜翻转组件(3)，其特征在于：所述真空室(1)的内壁上连接有若干个烘干灯(4)，所述真空室(1)的内部设置有输送带(5)，且所述真空室(1)的两端安装有密封门(6)；

2.根据权利要求1所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述圆柱靶材(206)的两端均固定连接有转轴(205)，其中一个所述转轴(205)与一号侧板(207)转动连接，另外一个所述转轴(205)与二号侧板(209)转动连接，所述一号侧板(207)和所述二号侧板(209)之间固定连接有连接板(208)。

3.根据权利要求1所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述气缸(214)的缸体端安装在固定板(215)的外表面，所述带轮一(202)另外一个端面的中心通过轴配合轴承与一号侧板(207)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述导向轨(213)的外表面通过螺栓连接于真空室(1)的外壁上，且所述导向轨(213)的一端固定连接固定板(215)。

5.根据权利要求1所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述镀膜组件(2)设置有两组，所述烘干灯(4)也设置有两组，且所述烘干灯(4)的两端连接于真空室(1)的内部两侧。

6.根据权利要求1所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述镀膜翻转组件(3)包括有转动连接于真空室(1)内壁的传动杆(301)、轴杆一(302)和轴杆二(303)，所述传动杆(301)的外表面固定连接有转动板(304)，所述转动板(304)的两端转动连接有连杆一(305)和连杆二(306)，所述轴杆一(302)的外表面固定连接有一号夹持板(307)，所述轴杆二(303)的外表面固定连接有二号夹持板(308)。

7.根据权利要求6所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述连杆一(305)远离转动板(304)的一端转动连接于一号夹持板(307)的尾端，所述连杆二(306)远离转动板(304)的一端转动连接于二号夹持板(308)的尾端，所述传动杆(301)的一端连接有第二电机(309)的输出轴，所述第二电机(309)安装于真空室(1)的外壁。

8.根据权利要求7所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述一号夹持板(307)和二号夹持板(308)的上表面均开设放置槽，所述放置槽内粘贴有防滑陶瓷条(310)。

9.根据权利要求1所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述密封门(6)包括有设置于真空室(1)两端的门体(601)，所述门体(601)的内表面固定连接有铰接板(602)，所述铰接板(602)的外表面连接有铰杆一(603)和铰杆二(604)，所述铰杆一(603)的外表面转动连接有曲杆一(605)，所述曲杆一(605)的一端转动连接有曲杆二(606)，所述曲杆二(606)的一端固定连接有连接杆(607)，所述连接杆(607)的一端固定连接有第三电机(608)的输出轴，所述铰杆一(603)和铰杆二(604)远离铰接板(602)的一端滑动接触有限位板(609)。

10.根据权利要求9所述的一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，其特征在于：所述第三电机(608)安装于真空室(1)的外壁上，所述限位板(609)的外表面贯穿开设有直槽和弧槽，且所述限位板(609)固定连接于真空室(1)的内壁上。

技术总结本发明公开了一种真空溅射连续镀膜生产线用的真空干燥镀膜装置，涉及真空镀膜装置技术领域，包括真空室，所述真空室的内部设置有镀膜组件和镀膜翻转组件，所述真空室的内壁上连接有若干个烘干灯，所述真空室的内部设置有输送带，且所述真空室的两端安装有密封门，本发明可通过启动气缸，经气缸的推杆伸缩带动齿条移动，齿条与齿轮啮合，依次带动旋转杆、二号侧板、连接板、一号侧板、转轴，使圆柱靶材围绕旋转杆轴心转动，从而调节其与输送带上待镀膜板材的距离；这一设计可精确控制圆柱靶材的升降距离，根据薄膜厚度需求或板材厚度灵活调整；比如生产厚膜可缩小间距加快沉积速度，生产薄膜可增大间距降低速度。技术研发人员：夏白杨,李华,明松受保护的技术使用者：深圳市智创谷技术有限公司技术研发日：技术公布日：2025/1/13