一种真空泵的油雾处理装置的制作方法

本发明涉及油雾处理，更具体地说，涉及一种真空泵的油雾处理装置。

背景技术：

1、在精密机械加工和润滑系统中，需要使用真空泵来创建和维持高真空环境，以确保工艺过程的精确性和可靠性，旋转叶片真空泵是属于真空泵的一种，由于该类真空泵并不直接包含油雾处理系统的功能，且相反，它是产生油雾的源头之一，而油雾中会含有碳沉积物、金属颗粒等污染物，这些污染物如果不能得到有效处理，会严重影响产品的质量和工艺的稳定性。因此，还会在真空泵上附加一个油雾处理系统，以隔离掉油雾中的大颗粒杂质。

2、而现有技术中的油雾处理系统为了确保真空泵的高效运行和半导体制造环境的纯净度，一般都是采用多层次净化处理，包括初级过滤、高压静电场二级过滤以及高密度滤芯的回流处理，然而，随着使用时间的增加，高密度滤芯会逐渐积累污染物，导致其过滤效率下降，阻力增加，甚至可能完全失效。因此，定期清洗高密度滤芯是确保油雾处理系统长期稳定运行的必要措施。

3、但是由于高密度滤芯大多数都是由多层细密的纤维材料组成的，导致其表面的过滤孔径非常细小，容易被细小颗粒物堵塞，在清洗时难以彻底去除这些污染物，需要使用酶清洗剂可以分解有机污染物的特性进行浸泡清洗，而这样的清洗不仅耗时较长，还需要拆卸整个油雾处理系统进行清洗，导致旋转叶片真空泵需要停机，影响生产效率。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种真空泵的油雾处理装置，旨在解决上述技术问题。

2、为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。

3、一种真空泵的油雾处理装置，包括真空泵体，所述真空泵体的侧面油雾输出端上固定安装有油雾处理腔，所述油雾处理腔的内部配置有对准油雾输出端的一级挡油罩以及二级油雾过滤网，所述油雾处理腔的外表面配置有油雾回流机构；

4、所述油雾回流机构包括防护外壳体，所述防护外壳体的内底部配置有与二级油雾过滤网输出端连通的油雾进入套筒，所述油雾进入套筒的上表面固定安装有托盘底座，所述托盘底座的上表面放置有两组圆环过滤芯套，所述托盘底座的上表面外边缘位置处固定安装有两组电动伺服伸缩杆，所述电动伺服伸缩杆的输出端上固定安装有圆环套架，所述圆环套架的上侧配置有驱动机构，所述驱动机构的输出端设置有朝向圆环过滤芯套的分离模块；

5、其中，所述分离模块包括密封套罩，所述密封套罩的内壁固定连接有两组相隔180°的分隔板，所述密封套罩的上表面位于分隔板一侧的位置处配置有外接软管，另外一侧配置有清洗剂补充机构，所述密封套罩通过电动伺服伸缩杆整体罩于圆环过滤芯套的外侧，并利用分隔板的分隔作用将一组圆环过滤芯套对准清洗剂补充机构进行浸泡清洗，另外一组圆环过滤芯套对准外接软管进行继续过滤。

6、作为本发明进一步的方案：所述驱动机构包括固定安装于密封套罩上表面外侧边缘位置处的提升弯杆，所述提升弯杆的外侧端固定安装有第一伺服电机，所述圆环套架的圆环内壁固定安装有内嵌环套，所述第一伺服电机的输出端上固定安装有圆环板，所述圆环板活动卡于内嵌环套的内部，所述密封套罩固定安装于圆环板的底部，所述密封套罩的内部位于分隔板一侧位置处固定连接有第一圆环分隔仓，位于分隔板另外一侧位置处固定连接有第二圆环分隔仓，所述第一圆环分隔仓与第二圆环分隔仓的表面为均开口状态。

7、作为本发明进一步的方案：所述密封套罩的内部正圆心位置处固定连接有分隔柱，所述密封套罩内壁两侧的分隔板均固定连接于分隔柱的外表面位置处，所述分隔柱朝向第一圆环分隔仓的一侧为空腔密封状态，且空腔中配置有自动加热模块，所述分隔柱朝向第二圆环分隔仓的一侧为透口罩，所述分隔柱与第一圆环分隔仓之间围成的空腔、透口罩与第二圆环分隔仓之间围成的空腔分别用于供两组圆环过滤芯套插入。

8、作为本发明进一步的方案：所述分隔柱的正底部固定安装有顶筒，所述顶筒与第二圆环分隔仓一侧相通，所述顶筒的底部圆环边上依次开设有若干个漏孔，所述托盘底座的底部正圆心位置处配置有与顶筒对齐的密封堵块模块，所述密封堵块模块包括通口接管，所述通口接管整体为一个圆环形的空腔结构，且空腔中依次固定安装有若干个收紧弹簧杆，所述收紧弹簧杆的外侧固定安装有密封盖，所述密封盖在收紧弹簧杆的收紧作用力下始终保持贴紧通口接管下底面的状态，且密封盖与通口接管下底面的接触端上均固定安装有密封圈。

9、作为本发明进一步的方案：所述圆环套架的底部与电动伺服伸缩杆的输出端上均固定安装有减震环，所述圆环过滤芯套整体为两组相互独立的圆环过滤芯结构，所述圆环套架的圆环边上固定安装有两组相隔180°的弹簧扣头，所述圆环板的上表面侧边位置处固定安装有圆口套板，所述圆口套板表面的圆口与弹簧扣头套合对应，所述防护外壳体的底部圆心位置处固定安装有与油雾处理腔外表面螺栓套口转动套合的密封螺栓套头，所述防护外壳体的外侧面套合安装有两组可拆卸的维护壳板。

10、作为本发明进一步的方案：所述圆环板的上表面位于第二圆环分隔仓同侧的位置处固定安装有一根通入透口罩与第二圆环分隔仓之间围成的空腔中的外接软管，且外接软管的另外一端向外伸出且固定安装有第二磁吸密封套，所述防护外壳体的内底部固定安装有两组分别与第一圆环分隔仓、第二圆环分隔仓正底部对齐的回流接管，且每一组回流接管上均固定安装有与第二磁吸密封套吸附对应的第一磁吸密封套，所述油雾处理腔的外侧面固定安装有两组与回流接管连通的接口。

11、作为本发明进一步的方案：所述清洗剂补充机构包括固定安装圆环套壳，所述圆环套壳的内部轴心位置处固定安装有第一储存盒与第二储存盒，所述第一储存盒与第二储存盒的外表面上固定安装有圆环套合架，所述圆环套合架的表面活动套合有圆环齿轮套，所述第一储存盒与第二储存盒的上表面中间位置处固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端上固定安装有齿轮头，所述圆环齿轮套的内圆环边上开设有与齿轮头啮合对应的齿口。

12、作为本发明进一步的方案：所述圆环齿轮套的外圆环边上固定连接有圆锥齿轮套环，所述第一储存盒与第二储存盒外侧面位于第二伺服电机两侧的位置处均配置有往复挤料模块，所述往复挤料模块包括活动安装于第一储存盒与第二储存盒外侧面的圆台形齿轮头，且两侧的圆台形齿轮头均与圆锥齿轮套环啮合对应。

13、作为本发明进一步的方案：所述圆台形齿轮头伸入第一储存盒与第二储存盒内部的一侧上均固定安装有往复螺纹杆，所述往复螺纹杆的外表面均啮合安装有密封卡板，且第一储存盒与第二储存盒内部侧面上均开设有供密封卡板卡合的滑槽。

14、作为本发明进一步的方案：所述第一储存盒与第二储存盒的上表面均固定安装有注料套口，所述圆环套壳的上侧活动安装有外翻铰板，所述圆环套壳的底部两侧均固定安装有外伸导管仓，所述第一储存盒与第二储存盒的底部靠近圆环套壳圆心的一侧均固定安装有外伸导管，所述外伸导管通过外伸导管仓均伸于第一圆环分隔仓与密封套罩所围成的半圆环空腔中。

15、本发明提供的上述技术方案与现有技术相比，至少具有如下有益效果：

16、（1）通过分离模块的设计，实现了两组圆环过滤芯套的交替使用。在工作过程中，一组圆环过滤芯套进行油雾过滤，而另一组则进行清洗。这种交替使用的方式使得滤芯的清洗和过滤可以同时进行，无需停机拆卸整个油雾处理系统，从而避免了旋转叶片真空泵的停机，保证了生产的连续性和效率。此外，分离模块中的密封套罩和分隔板设计，确保了清洗和过滤过程的互不影响，提高了系统的稳定性和可靠性，实现了滤芯的在线清洗和连续过滤。

17、（2）通过清洗剂补充机构，实现了清洗剂和辅助试剂的交替供给，大大提高了清洗效果。清洗剂可以高效分解滤芯中的有机污染物，而辅助试剂如表面活性剂则可以降低清洗剂的表面张力，提高其润湿性和渗透性，使酶更容易接触和分解污染物。这种交替供给的方式不仅提高了清洗剂的利用率，还确保了滤芯的彻底清洗。清洗完成后，通过分隔柱内的自动加热模块进行高温烘干，避免了残留水分对滤芯性能的影响，延长了滤芯的使用寿命。总的来说，该装置通过智能化和多功能的设计，显著提升了高密度滤芯的清洗效果和系统的整体性能。