一种物镜吹气治具的制作方法

本技术属于超快激光加工，具体涉及一种物镜吹气治具。

背景技术：

1、超快激光加工是将特定量子能量高能激光束瞬间聚焦到材料表面，使其聚焦成激光熔沸点，产生一种特殊的激光原子能量，从而实现物体的加工，其具有灵活性高、表面质量好、加工精度高等优点，广泛应用于微电子、光学器件、生物医学、纳米材料等领域。

2、而在激光加工过程中会产生烟尘，若不及时处理，其产生的烟尘一方面会吸附在工件表面，影响加工效果；另一方面烟尘会吸附在物镜表面，大大缩短物镜的使用寿命。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种物镜吹气治具，至少可以解决现有技术中存在的部分缺陷。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种物镜吹气治具，包括安装基座，以及连接于安装基座上由内到外依次同轴间隔布置的物镜、物镜保护组件、内风道圈和外风道圈，所述安装基座上设有激光通孔、内风道通孔和外风道通孔，所述物镜对应所述激光通孔布置，所述物镜保护组件与内风道圈之间形成内风道腔，且该内风道腔与所述内风道通孔连通，所述物镜保护组件端部具有与所述激光通孔同轴布置的出光孔，所述物镜保护组件上具有使内风道腔与所述出光孔连通的通风孔，所述内风道圈和外风道圈之间形成外风道腔，且该外风道腔与所述外风道通孔连通。

4、进一步的，所述物镜保护组件包括物镜保护圈、保护镜和保护镜座，所述物镜保护圈一端固定在所述安装基座上，且物镜保护圈位于所述激光通孔的周围，所述保护镜座固定在所述物镜保护圈的另一端，所述保护镜通过压圈固定在所述保护镜座上，且所述保护镜与所述物镜同轴布置，所述安装基座、物镜、物镜保护圈、保护镜和保护镜座围合形成一个封闭空间。

5、进一步的，所述通风孔设有多个，沿所述保护镜座侧壁下部周向等间距布置，所述通风孔位于所述保护镜与所述出光孔之间。

6、进一步的，所述出光孔位于所述保护镜座端部，且所述出光孔处连接有喷头。

7、进一步的，所述内风道通孔设有多个，对称布置于所述激光通孔两侧。

8、进一步的，所述外风道通孔设有多个，对称布置于所述激光通孔两侧。

9、进一步的，所述内风道通孔和外风道通孔上均设有调速阀。

10、进一步的，所述激光通孔上设有调光十字。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

12、本实用新型提供的这种物镜吹气治具通过结构设计，具有同轴和旁轴两种吹气，同轴吹气保证了激光加工产生的烟尘不会吸附在物镜表面，旁轴吹气则保证了烟尘不会吸附在工件表面，从而提高了加工效率，保证良好的加工效果。

13、以下将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

技术特征：

1.一种物镜吹气治具，其特征在于：包括安装基座，以及连接于安装基座上由内到外依次同轴间隔布置的物镜、物镜保护组件、内风道圈和外风道圈，所述安装基座上设有激光通孔、内风道通孔和外风道通孔，所述物镜对应所述激光通孔布置，所述物镜保护组件与内风道圈之间形成内风道腔，且该内风道腔与所述内风道通孔连通，所述物镜保护组件端部具有与所述激光通孔同轴布置的出光孔，所述物镜保护组件上具有使内风道腔与所述出光孔连通的通风孔，所述内风道圈和外风道圈之间形成外风道腔，且该外风道腔与所述外风道通孔连通。

2.如权利要求1所述的物镜吹气治具，其特征在于：所述物镜保护组件包括物镜保护圈、保护镜和保护镜座，所述物镜保护圈一端固定在所述安装基座上，且物镜保护圈位于所述激光通孔的周围，所述保护镜座固定在所述物镜保护圈的另一端，所述保护镜通过压圈固定在所述保护镜座上，且所述保护镜与所述物镜同轴布置，所述安装基座、物镜、物镜保护圈、保护镜和保护镜座围合形成一个封闭空间。

3.如权利要求2所述的物镜吹气治具，其特征在于：所述通风孔设有多个，沿所述保护镜座侧壁下部周向等间距布置，所述通风孔位于所述保护镜与所述出光孔之间。

4.如权利要求2所述的物镜吹气治具，其特征在于：所述出光孔位于所述保护镜座端部，且所述出光孔处连接有喷头。

5.如权利要求1所述的物镜吹气治具，其特征在于：所述内风道通孔设有多个，对称布置于所述激光通孔两侧。

6.如权利要求1所述的物镜吹气治具，其特征在于：所述外风道通孔设有多个，对称布置于所述激光通孔两侧。

7.如权利要求1所述的物镜吹气治具，其特征在于：所述内风道通孔和外风道通孔上均设有调速阀。

8.如权利要求1所述的物镜吹气治具，其特征在于：所述激光通孔上设有调光十字。

技术总结本技术提供了一种物镜吹气治具，包括安装基座，以及连接于安装基座上由内到外依次同轴间隔布置的物镜、物镜保护组件、内风道圈和外风道圈，所述安装基座上设有激光通孔、内风道通孔和外风道通孔，所述物镜对应激光通孔布置，所述物镜保护组件与内风道圈之间形成内风道腔，且该内风道腔与内风道通孔连通，所述物镜保护组件端部具有与激光通孔同轴布置的出光孔，所述物镜保护组件上具有使内风道腔与出光孔连通的通风孔，所述内风道圈和外风道圈之间形成外风道腔，且该外风道腔与外风道通孔连通。该物镜吹气治具结构简单，通过同轴和旁轴两种吹气，可及时去除激光加工过程中产生的烟尘，使加工件表面整洁，提高加工效率，保证良好的加工效果。技术研发人员：邓俊,何放,莫衡阳,李赵青,陈磊受保护的技术使用者：武汉华日精密激光股份有限公司技术研发日：20231106技术公布日：2024/6/13