加工设备的物料转移装置及加工设备的制作方法

本技术涉及加工设备，具体涉及一种加工设备的物料转移装置及加工设备。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有的倒角机在将晶圆磨削完成后，会通过转移装置将晶圆转移至清洗装置对晶圆进行清洗，清洗后再通过转移装置将晶圆转移至下一个工序，然而，现有的转移装置在转移清洗后的晶圆时，易对晶圆造成污染。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的转移装置在转移清洗后的物料时，易对物料造成污染的技术问题。

2、在第一方面，本申请提供了一种加工设备的物料转移装置，所述加工设备包括磨削装置和清洗装置，所述磨削装置用于对物料进行磨削，所述清洗装置用于对物料进行清洗，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的平移驱动机构、第一转移构件和第二转移构件，所述平移驱动机构用于驱动所述第一转移构件和所述第二转移构件水平移动，所述第一转移构件用于将磨削后的物料转移至所述清洗装置，所述第二转移构件用于转移清洗完成的物料。

3、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一转移构件和所述第二转移构件沿竖直方向分布。

4、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一转移构件为第一转移吸盘，和/或，所述第二转移构件为第二转移吸盘。

5、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一转移吸盘位于所述第二转移吸盘的下方，且所述第一转移吸盘的吸附面朝下设置，所述第二转移吸盘的吸附面朝上设置。

6、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述物料转移装置还包括固定安装在所述平移驱动机构上的升降驱动机构，所述第一转移构件和所述第二转移构件均安装在所述升降驱动机构上，所述升降驱动机构用于驱动所述第一转移构件和所述第二转移构件竖直移动。

7、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述升降驱动机构包括升降驱动构件以及与所述升降驱动构件固定连接的升降臂，所述升降臂水平设置，所述第一转移构件和所述第二转移构件均安装在所述升降臂上。

8、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述升降驱动构件为升降气缸，所述升降臂与所述升降气缸的活塞杆固定连接。

9、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述平移驱动机构包括平移电机、水平丝杠以及安装在所述水平丝杠上的滑座，所述滑座与所述第一转移构件和所述第二转移构件连接，所述平移电机用于驱动所述水平丝杠转动，所述滑座随着所述水平丝杠的转动沿着所述水平丝杠的长度方向水平移动。

10、本申请第二方面，本申请还提供了一种加工设备，所述加工设备包括上述的物料转移装置。

11、在上述加工设备的优选技术方案中，所述加工设备为倒角机或减薄机。

12、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的物料转移装置通过设置第一转移构件和第二转移构件来分别转移清洗前的物料和清洗后的物料，能够避免清洗后的物料受到污染。

13、进一步地，本实用新型的物料转移装置通过使第一转移构件和第二转移构件沿竖直方向分布，能够提高工作效率。

14、又进一步地，本实用新型的物料转移装置通过将第一转移构件和第二转移构件设置为吸盘结构，便于取放物料且在转移物料的过程中不易出现物料掉落的情况。

15、又进一步地，本实用新型的物料转移装置通过将第一转移吸盘设于第二转移吸盘的下方，并使第一转移吸盘的吸附面和第二转移吸盘的吸附面分别朝下和朝上设置，便于物料的转移，从而能够提高工作效率。

16、又进一步地，本实用新型的物料转移装置通过设置升降驱动机构来驱动第一转移构件和第二转移构件竖直移动，使得第一转移构件和第二转移构件的移动更加灵活，便于进行物料转移。

技术特征：

1.一种加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述加工设备包括磨削装置和清洗装置，所述磨削装置用于对物料进行磨削，所述清洗装置用于对物料进行清洗，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的平移驱动机构、第一转移构件和第二转移构件，所述平移驱动机构用于驱动所述第一转移构件和所述第二转移构件水平移动，所述第一转移构件用于将磨削后的物料转移至所述清洗装置，所述第二转移构件用于转移清洗完成的物料。

2.根据权利要求1所述的加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述第一转移构件和所述第二转移构件沿竖直方向分布。

3.根据权利要求2所述的加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述第一转移构件为第一转移吸盘；和/或，

4.根据权利要求3所述的加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述第一转移吸盘位于所述第二转移吸盘的下方，所述第一转移吸盘的吸附面朝下设置且所述第二转移吸盘的吸附面朝上设置。

5.根据权利要求1所述的加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述物料转移装置还包括固定安装在所述平移驱动机构上的升降驱动机构，所述第一转移构件和所述第二转移构件均安装在所述升降驱动机构上，所述升降驱动机构用于驱动所述第一转移构件和所述第二转移构件竖直移动。

6.根据权利要求5所述的加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括升降驱动构件以及与所述升降驱动构件固定连接的升降臂，所述升降臂水平设置，所述第一转移构件和所述第二转移构件均安装在所述升降臂上。

7.根据权利要求6所述的加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述升降驱动构件为升降气缸，所述升降臂与所述升降气缸的活塞杆固定连接。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述平移驱动机构包括平移电机、水平丝杠以及安装在所述水平丝杠上的滑座，所述滑座与所述第一转移构件和所述第二转移构件连接，所述平移电机用于驱动所述水平丝杠转动，所述滑座随着所述水平丝杠的转动沿着所述水平丝杠的长度方向水平移动。

9.一种加工设备，其特征在于，所述加工设备包括权利要求1至8中任一项所述的物料转移装置。

10.根据权利要求9所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备为倒角机或减薄机。

技术总结本技术涉及加工设备技术领域，具体涉及一种加工设备的物料转移装置及加工设备。本技术旨在解决现有的转移装置在转移清洗后的物料时，易对物料造成污染的技术问题。为此目的，本技术的物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的平移驱动机构、第一转移构件和第二转移构件，所述平移驱动机构用于驱动所述第一转移构件和所述第二转移构件水平移动，所述第一转移构件用于将磨削后的物料转移至所述清洗装置，所述第二转移构件用于转移清洗完成的物料。本技术的物料转移装置通过设置第一转移构件和第二转移构件来分别转移清洗前的物料和清洗后的物料，能够避免清洗后的物料受到污染。技术研发人员：尹美玲,徐公志,王子跃受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5