一种含层双碳化硅包覆方法及辅助装置与流程

本发明涉及沉积炉，尤其涉及一种含层双碳化硅包覆方法及辅助装置。

背景技术：

1、气相沉积炉是一种常用于物质沉积和薄膜制备的设备。它通过将气态前驱物质输送到反应室中，并在特定温度和压力条件下执行化学反应，从而在基底表面沉积出薄膜。

2、目前的气相沉积炉在使用的过程中，当进气管内部的气体输出量恒定时，包覆气体在重力的作用下，缓慢垂直落下，就会出现物件的顶表面包覆效率大于物件的侧壁的情况，而物件上的夹角处与缝隙处包覆效果更差，使得物件的包覆不完整，如果需要提高包覆的效率，则需要工作人员每过一段时间将物件翻转，使得每一个面都进行包覆，且经过长时间的包覆作用，炉体的内壁上会附着一层包覆材料，如果不及时清理，会腐蚀炉体的内壁，同时与其他包覆材料接触时，会发生其他的反应，会影响后续物件的包覆效果。

技术实现思路

1、本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。

2、鉴于上述现有含层双碳化硅包覆方法及辅助装置存在炉体在对物件进行包覆时，炉体的内壁上会附着一层包覆材料，如果不及时清理，会影响后续物件的包覆效果的问题，提出了本发明。

3、为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种含层双碳化硅包覆方法，选择适合气相沉积的基底材料，并确保其表面干净无尘；选择适合包覆的材料；使用酸洗液或其他适当的清洗剂将基底材料进行清洗，去除表面的污染物和氧化层，使其表面干净；将包覆材料放置在包覆装置的内部；在沉积完成后，让包覆装置冷却到室温，并固化包覆材料；对包覆的基底材料进行检查和测试，确保包覆层的质量和性能满足要求。

4、作为本发明所述含层双碳化硅包覆方法的一种优选方案，其中：通过控制气体流量和温度，进行材料沉积。

5、作为本发明所述含层双碳化硅包覆方法的一种优选方案，其中：控制包覆材料的沉积时间，确保得到适当的包覆厚度。

6、作为本发明所述辅助装置的一种优选方案，其中：包覆装置，包括炉体，设置于所述炉体上的输液管，设置于所述输液管上的喷口，设置于所述炉体内部的第一滑槽，设置于所述第一滑槽内部的第一滑块，设置于所述第一滑块上的置物盘，设置于所述炉体内部的壳体，设置于所述壳体上的第一螺纹杆，还包括，锁定机构，包括设置于所述置物盘上的锁定槽和矩形槽，设置于所述矩形槽内部的滑动部，以及设置于所述置物盘上的锁定部；清洗机构，包括设置于所述炉体内部的刮板，设置于所述刮板上的固定板，设置于所述固定板上的移动部，以及设置于所述移动部上的插接部和对接部。

7、作为本发明所述辅助装置的一种优选方案，其中：所述滑动部，包括设置于所述矩形槽内部的第二弹簧，以及设置于所述第二弹簧上的矩形块。

8、作为本发明所述辅助装置的一种优选方案，其中：所述锁定部，包括设置于所述第一滑块上的第一固定环，设置于所述置物盘上的第二固定环，设置于所述第二固定环上的锁定杆，以及设置于所述锁定杆上的橡胶圈。

9、作为本发明所述辅助装置的一种优选方案，其中：所述移动部，包括设置于所述固定板上的第二滑槽，设置于所述第二滑槽内部的第二滑块，以及设置于所述第二滑块上的滑板。

10、作为本发明所述辅助装置的一种优选方案，其中：所述插接部，包括设置于所述第一螺纹杆上的第四插槽，设置于所述滑板上的第一固定块，设置于所述第一固定块上的第二固定块，以及设置于所述第二固定块上的第四插杆。

11、作为本发明所述辅助装置的一种优选方案，其中：所述对接部，包括设置于所述滑板上的第二螺纹杆，以及设置于所述第二螺纹杆上的螺纹管。

12、作为本发明所述辅助装置的一种优选方案，其中：还包括，驱动机构，设置于所述炉体上的进料口，设置于所述进料口上的防护部，设置于所述炉体内部的壳体，设置于所述壳体内部的驱动部，以及设置于所述驱动部上的传动部；置物机构，包括设置于所述传动部上的第一插杆，设置于所述第一插杆上的随动部，设置于所述随动部上的置物盘，设置于所述置物盘上的第一贯穿口、置物部，以及设置于所述置物部上的联动部；切换机构，包括设置于所述联动部上的齿块，设置于所述齿块上的齿轮，设置于所述联动部上的顶起部，设置于所述顶起部上的稳定部，以及设置于所述驱动部上的转动部。

13、本发明的有益效果：通过上述包覆方法，可以更好地对材料进行包覆，对材料进行一个更好的保护，通过锁定机构的设置，可以将第一滑块从第一滑槽的内部脱离，避免后续刮板在对炉体内壁进行刮洗的过程中，收到第一滑块的阻挡，通过清洗机构的设置，在对物件的包覆作业完成时，可以通过第一螺纹杆的转动用来驱动刮板对炉体的内壁进行清洗，通过驱动机构的设置，可以根据物件的高度尺寸调整第一螺纹套的高度，通过第一螺纹套带动置物盘上升至最佳高度，通过置物机构的设置，可以将物件放置在垫板上，可以让置物板通过固定套、第一圆环、第一插杆与第一螺纹套完成对接，方便第一螺纹杆在转动时控制置物板的上升和下降，通过切换机构的设置，可以切换第一螺纹套的转动模式，使得第一螺纹套可以在第一螺纹杆上进行升降和第一螺纹套带动第三圆环发生转动之间切换，当第三圆环发生转动时，可以带动垫板发生转动，更加充分地与炉体内部的包覆材料接触，同时，顶杆和第一环形槽的设置可以使得垫盘在转动的途中上下摆动，使得包覆材料更好地进入到物件的夹角缝隙处，包覆效率进一步提升。

技术特征：

1.一种含层双碳化硅包覆方法，其特征在于：

2.如权利要求1所述的含层双碳化硅包覆方法，其特征在于：通过控制气体流量和温度，进行材料沉积。

3.如权利要求2所述的含层双碳化硅包覆方法，其特征在于：控制包覆材料的沉积时间，确保得到适当的包覆厚度。

4.一种辅助装置，其特征在于：包括如权利要求1～3任一所述的包覆装置(g)，包括炉体(100)，设置于所述炉体(100)上的输液管(200)，设置于所述输液管(200)上的喷口(300)，设置于所述炉体(100)内部的第一滑槽(506a)，设置于所述第一滑槽(506a)内部的第一滑块(506b)，设置于所述第一滑块(506b)上的置物盘(503)，设置于所述炉体(100)内部的壳体(403)，设置于所述壳体(403)上的第一螺纹杆(404b)，还包括，

5.如权利要求4所述的辅助装置，其特征在于：所述滑动部(703)，包括设置于所述矩形槽(702)内部的第二弹簧(703a)，以及设置于所述第二弹簧(703a)上的矩形块(703b)。

6.如权利要求4所述的辅助装置，其特征在于：所述锁定部(704)，包括设置于所述第一滑块(506b)上的第一固定环(704a)，设置于所述置物盘(503)上的第二固定环(704b)，设置于所述第二固定环(704b)上的锁定杆(704c)，以及设置于所述锁定杆(704c)上的橡胶圈(704d)。

7.如权利要求4所述的辅助装置，其特征在于：所述移动部(803)，包括设置于所述固定板(802)上的第二滑槽(803a)，设置于所述第二滑槽(803a)内部的第二滑块(803b)，以及设置于所述第二滑块(803b)上的滑板(803c)。

8.如权利要求7所述的辅助装置，其特征在于：所述插接部(804)，包括设置于所述第一螺纹杆(404b)上的第四插槽(804a)，设置于所述滑板(803c)上的第一固定块(804b)，设置于所述第一固定块(804b)上的第二固定块(804c)，以及设置于所述第二固定块(804c)上的第四插杆(804d)。

9.如权利要求7所述的辅助装置，其特征在于：所述对接部(805)，包括设置于所述滑板(803c)上的第二螺纹杆(805a)，以及设置于所述第二螺纹杆(805a)上的螺纹管(805b)。

10.如权利要求4所述的辅助装置，其特征在于：还包括，

技术总结本发明公开了一种含层双碳化硅包覆方法及辅助装置，选择适合气相沉积的基底材料，并确保其表面干净无尘；选择适合包覆的材料；使用酸洗液或其他适当的清洗剂将基底材料进行清洗，去除表面的污染物和氧化层，使其表面干净；将包覆材料放置在包覆装置的内部；在沉积完成后，让包覆装置冷却到室温，并固化包覆材料；对包覆的基底材料进行检查和测试，确保包覆层的质量和性能满足要求。通过上述包覆方法，可以更好的对材料进行包覆，对材料进行一个更好的保护，通过锁定机构和清洗机构的设置，可以对炉体的内壁进行清洗。技术研发人员：周勤,王翥,汪景新,吕华权,罗勇,刘伟,刘嵩阳,李雪琳,王朗,刘平受保护的技术使用者：华能核能技术研究院有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/13