镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置的制作方法

本技术涉及镀膜，尤其涉及一种镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置。

背景技术：

1、派瑞林(parylene)是六十年代中期美国union carbide co.开发应用的一种新型敷形涂层材料，它采用真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面生成敷形的聚合物薄膜涂层。派瑞林是一种保护性高分子材料，中文名聚对二甲苯，根据分子结构的不同，派瑞林可分为n型、c型、d型、f型、ht型等多种类型。因其在真空条件下制备涂层，派瑞林活性分子的良好穿透力能在电子元件内部、底部，周围形成无针孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的优质防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害。

2、现有粉末状态的镀膜材料(如派瑞林)，需要在升华装置内加热升华，得到的升华气体后续再经过裂解、沉积等工艺以形成涂层。目前，升华装置通常采用管式炉作为升华用的管道。管式炉的炉门基本采用侧方打开，并配合螺纹压紧结构实现密封，此种方式使得升华装置的结构较为复杂。

技术实现思路

1、本实用新型解决的技术问题是现有的升华装置的结构较为复杂。

2、为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供一种用于镀膜设备的升华装置包括：升华管，具有进口以及出口，所述进口用于输送镀膜粉料，所述出口用于输出所述镀膜粉料在所述升华管内升华得到的升华气体；仓门，铰接于所述升华管的顶部，所述仓门用于打开或者关闭所述进口，所述仓门的坡角小于90度。

3、可选的，所述进口设置有法兰，其中所述仓门铰接于所述法兰，并密封所述法兰朝向所述仓门的端面。

4、可选的，所述升华装置还包括环形的密封圈，所述密封圈位于所述仓门与所述法兰之间；所述法兰朝向所述仓门的端面设置有环形的容置槽，所述容置槽用于容置所述密封圈。

5、可选的，所述密封圈凸出所述容置槽。

6、可选的，所述升华装置还包括设置于所述仓门的加热件。

7、可选的，所述仓门包括内门和外门，所述内门朝向所述升华管的进口，所述外门背离所述升华管的进口，其中，所述加热件位于所述内门和所述外门之间。

8、可选的，所述仓门朝向所述进口的内表面设置有弹性密封层。

9、可选的，所述仓门的底部设置有把手。

10、本实用新型还提供一种镀膜设备，包括上述任一种升华装置。

11、与现有技术相比，本实用新型实施例的技术方案具有以下有益效果：

12、仓门铰接于升华管的顶部，通过仓门打开或者关闭进口，仓门的坡角小于90度。如此，有助于借助仓门本身的重力以及结合升华管内的负压来实现仓门对进口的密封，而无需专门设置用于实现仓门关闭的部件，从而可以简化升华装置的结构。此外，当升华管内的压力大于升华管外的压力时，在升华管内的压力作用下可以将仓门顶开，有助于自动释放正压。

技术特征：

1.一种用于镀膜设备的升华装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述进口设置有法兰，其中所述仓门铰接于所述法兰，并密封所述法兰朝向所述仓门的端面。

3.如权利要求2所述的升华装置，其特征在于，还包括环形的密封圈，所述密封圈位于所述仓门与所述法兰之间；

4.如权利要求3所述的升华装置，其特征在于，所述密封圈凸出所述容置槽。

5.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，还包括设置于所述仓门的加热件。

6.如权利要求5所述的升华装置，其特征在于，所述仓门包括内门和外门，所述内门朝向所述升华管的进口，所述外门背离所述升华管的进口，其中，所述加热件位于所述内门和所述外门之间。

7.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述仓门朝向所述进口的内表面设置有弹性密封层。

8.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述仓门的底部设置有把手。

9.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的升华装置。

技术总结本技术提供一种镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置，所述升华装置包括：升华管，具有进口以及出口，所述进口用于输送镀膜粉料，所述出口用于输出所述镀膜粉料在所述升华管内升华得到的升华气体；仓门，铰接于所述升华管的顶部，所述仓门用于打开或者关闭所述进口，所述仓门的坡角小于90度。上述方案能够借助仓门本身的重力以及结合升华管内的负压来实现仓门对进口的密封，而无需专门设置用于实现仓门关闭的部件，可以简化升华装置的结构。技术研发人员：宗坚,韩辉受保护的技术使用者：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司技术研发日：20231011技术公布日：2024/6/13