匀流组件及扩散设备的制作方法

本申请涉及太阳能电池片制备，特别是涉及一种匀流组件及扩散设备。

背景技术：

1、随着人们环保意识的日益提升，以及众多国家对于化石能源燃烧气体排放的限制，使得以太阳能发电为代表的可再生能源发展迅速，尤其是随着近年来光伏行业在我国的迅猛发展，太阳能发电越来越为大众所熟知，在传统能源日趋枯竭的背景下，太阳能发电越来越受到人们的青睐。太阳能电池便是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池，其制备的主要步骤为制绒（表面织构化和表面化学清理处理）—扩散（形成pn结）—边缘刻蚀—镀膜（减反射膜）—丝网印刷—烧结。而这些步骤中扩散形成pn结是核心步骤，它是在p型衬底的情况下，使用磷进行扩散，在n型衬底的情况下，使用硼扩散，从而形成pn结。

2、然而，众所周知，在磷扩散时成膜的均匀性是太阳能电池片制作中追求的重要指标，这将直接影响着方块电阻的均匀性和太阳能电池片效率的高低。但由于在扩散反应过程中扩散炉的炉口和炉尾处气流传输的方向不一致，导致成膜的均匀性很难去调控。目前，现有的技术并不能很好地对气流进行导向，使得气流分布并不均匀，从而导致扩散炉的炉口处基片成膜不均匀，进而与炉内的基片成膜均匀性差异较大，通常表现为炉口基片的边缘更厚，而中间偏薄，严重影响了太阳能电池片光电转换效率的提高。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有的技术在太阳能电池的制备过程中不能很好地对气流进行导向，导致炉口处太阳能电池片成膜不均匀的问题，提供一种能够解决上述问题的匀流组件及包括该匀流组件的扩散设备。

2、根据本申请的一个方面，提供一种匀流组件，包括：

3、第一匀流板，开设有多条间隔排布的匀流槽，每条所述匀流槽贯穿所述第一匀流板在第一方向的相对两侧；

4、第二匀流板，在所述第一方向上与所述第一匀流板层叠设置，并与所述第二匀流板在所述第一方向上形成有间隙，所述第二匀流板上开设有多个间隔排布的匀流孔，每个所述匀流孔连通任一所述匀流槽，并贯穿所述第二匀流板在所述第一方向的相对两侧；

5、所述第二匀流板背离所述第一匀流板的一侧形成进气侧，所述第一匀流板背离所述第二匀流板的一侧形成出气侧。

6、在其中一个实施例中，多条所述匀流槽和/或多个所述匀流孔均匀地分布。

7、在其中一个实施例中，多条所述匀流槽沿第二方向间隔设置，每条所述匀流槽沿第三方向延伸；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

8、在其中一个实施例中，所有所述匀流孔被分为多组匀流孔组，多组所述匀流孔组沿所述第二方向间隔设置，并与多条所述匀流槽一一对应，每组所述匀流孔组包括多个沿所述第三方向间隔设置的所述匀流孔，并且每组所述匀流孔组的匀流孔在所述第一匀流板上的投影位于对应的一条所述匀流槽所覆盖的区域内。

9、在其中一个实施例中，每个所述匀流孔在所述第一方向上的孔径相同。

10、在其中一个实施例中，每个所述匀流孔的孔径为5μm~20μm。

11、在其中一个实施例中，自所述进气侧指向所述出气侧的方向上，每个所述匀流孔的孔径逐渐增大。

12、在其中一个实施例中，每个所述匀流孔在远离所述第一匀流板一端的孔径为5μm~20μm，在靠近所述第一匀流板一端的孔径为1μm~20μm。

13、在其中一个实施例中，每条所述匀流槽的长度尺寸为10μm~1000μm，宽度尺寸为1μm~500μm。

14、根据本申请的另一方面，提供一种扩散设备，包括扩散炉和如上所述的匀流组件，所述匀流组件设于所述扩散炉中。

15、上述匀流组件及扩散设备，在扩散设备的扩散炉内设置了匀流组件，匀流组件包括开设有多个匀流槽的第一匀流板和开设有多个匀流孔的第二匀流板，第一匀流板和第二匀流板在第一方向上层叠设置且形成有间隙，并且每个所述匀流孔连通任一所述匀流槽，使得能够在扩散炉的反应腔室内通过控制扩散炉炉口的进气方向，给予层状结构的气流导向，从而能够改良扩散中炉口成膜的均匀，进而使得掺杂有反应物的气体在从进气侧流动到出气侧的过程中，气体的流向能够被更均匀地导向至待扩散的基片上，因而可以使制备得到的太阳能电池片的成膜更为均匀，并使制备得到的太阳能电池片的光电转换效率得到大幅增强。

技术特征：

1.一种匀流组件，其特征在于，所述匀流组件包括：

2.根据权利要求1所述的匀流组件，其特征在于，多条所述匀流槽和/或多个所述匀流孔均匀地分布。

3.根据权利要求1或2所述的匀流组件，其特征在于，多条所述匀流槽沿第二方向间隔设置，每条所述匀流槽沿第三方向延伸；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

4.根据权利要求3所述的匀流组件，其特征在于，所有所述匀流孔被分为多组匀流孔组，多组所述匀流孔组沿所述第二方向间隔设置，并与多条所述匀流槽一一对应，每组所述匀流孔组包括多个沿所述第三方向间隔设置的所述匀流孔，并且每组所述匀流孔组的匀流孔在所述第一匀流板上的投影位于对应的一条所述匀流槽所覆盖的区域内。

5.根据权利要求1或2所述的匀流组件，其特征在于，每个所述匀流孔在所述第一方向上的孔径相同。

6.根据权利要求5所述的匀流组件，其特征在于，每个所述匀流孔的孔径为5μm~20μm。

7.根据权利要求1或2所述的匀流组件，其特征在于，自所述进气侧指向所述出气侧的方向上，每个所述匀流孔的孔径逐渐增大。

8.根据权利要求7所述的匀流组件，其特征在于，每个所述匀流孔在远离所述第一匀流板一端的孔径为5μm~20μm，在靠近所述第一匀流板一端的孔径为1μm~20μm。

9.根据权利要求1或2所述的匀流组件，其特征在于，每条所述匀流槽的长度尺寸为10μm~1000μm，宽度尺寸为1μm~500μm。

10.一种扩散设备，其特征在于，包括扩散炉和如权利要求1-9中任一项所述的匀流组件，所述匀流组件设于所述扩散炉中。

技术总结本申请涉及一种匀流组件及扩散设备，扩散设备包括扩散炉和匀流组件，匀流组件设于扩散炉中，匀流组件包括在第一方向上层叠设置的第一匀流板和第二匀流板，其中第一匀流板开设有多条间隔排布的匀流槽，第二匀流板与第一匀流板在第一方向上形成有间隙，并开设有多个均匀排布的匀流孔，每个匀流孔连通任一匀流槽。使得能够在反应腔室内通过控制炉口的进气方向，给予层状结构的气流导向，从而能够改良扩散中炉口成膜的均匀，进而使得掺杂有反应物的气体在从进气侧流动到出气侧的过程中，气体的流向能够被更均匀地导向至待扩散的基片上，因而可以使制备得到的太阳能电池片的成膜更为均匀，并使太阳能电池片的光电转换效率得到大幅增强。技术研发人员：颉启东,刘长明,赵朋松受保护的技术使用者：晶科能源（海宁）有限公司技术研发日：20231110技术公布日：2024/5/27