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单晶炉炉盖导向结构的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 12:52:37

本申请涉及单晶炉领域,具体而言,涉及一种单晶炉炉盖导向结构。

背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、产品的结构可参照中国专利文献号202122579675.3中所公开的且公开了离子渗氮炉盖安全定位导向装置,包括离子渗氮炉座和离子渗氮炉盖,所述离子渗氮炉座的两侧均固定设有固定套,所述固定套的内部固定设有导向杆,所述离子渗氮炉盖的两侧均固定设有导向套,所述导向杆呈穿过导向套的内部设置。本实用新型能够保证离子渗氮炉盖上的导向套沿导向杆平稳落吊,防止安全事故发。

3、炉盖在盖上炉体上后,为了防止后续发生意外,需要将炉盖锁紧,而通过设置导向装置加快了锁紧的速度,而该专利中导向杆在插接到导向套中,由于导向杆的大小与导向套的口径一致,可能会因为晃动而增加了炉体的安装时间,降低了工作效率。

4、现在尚没有一种具有加快安装速度的单晶炉炉盖导向结构。

技术实现思路

1、本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思,这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征,也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。

2、为了解决以上背景技术部分提到的技术问题,本申请的一些实施例提供了一种单晶炉炉盖导向结构,用于安装在炉体和炉盖上:所述单晶炉炉盖导向结构还包括:两个安装座,两个所述安装座安装在炉体的两侧,所述炉盖的两侧分别固接有连接杆,所述连接杆远离炉体的一端固接有导向件,所述导向件为圆锥形,所述安装座上开设有与导向件对应的导向槽,所述导向槽的开口大小向着炉体底部的方向逐渐减小,两个所述导向件相互远离的一端上均开设有固定槽,所述安装座上设置有与固定槽对应的锁紧组件。

3、当需要使用单晶炉之前,需要将炉盖盖合在炉体上,通过炉盖两端的把手吊起炉盖,接着进行盖合,同时将导向件插接到导向槽上,由于导向件为圆锥型,同时导向槽与导向件契合,且导向槽的开口大小向着炉体底部的方向逐渐减小,先将导向件的底部插接到导向槽上,而导向槽的顶部开口较大,导向件的底部尖锐,从而防止在插接的过程中,由于晃动而增加插接的时间,提高了工作效率,插接好之后,通过设置锁紧组件,对导向件进行固定,对炉盖进行固定,提高了后续单晶炉工作时的稳定性。

4、进一步地,所述锁紧组件包括固定杆,所述固定杆滑动安装在导向槽的内壁上,且固定杆与固定槽对应,所述安装座上固接有安装架,且固定杆滑动安装在安装架上,所述固定杆上套设有固定弹簧,且固定弹簧固接在固定杆和安装架。

5、进一步地,所述导向件包括导向主块和导向副块,所述导向主块为圆台型,所述导向副块为圆锥形,所述导向主块上开设有滑槽,所述导向副块滑动安装在滑槽上,所述导向副块上开设有螺纹孔,且滑槽的内壁上转动安装有固定螺栓。

6、进一步地,所述滑槽的内壁上开设有两个限位槽,所述导向副块上固接有与限位槽对应的限位块。

7、进一步地,所述固定螺栓转动安装在滑槽的顶壁上。

8、进一步地,所述连接杆为l型。

9、进一步地,所述安装架为u型。

10、进一步地,所述导向副块的高度小于滑槽的高度。

11、进一步地,所述固定杆上设置有防滑纹。

12、进一步地,两个所述固定杆滑动安装在两个安装架相互远离的一端上。

13、本申请的有益效果在于:提供了一种具体加快安装速度的单晶炉炉盖导向结构。

技术特征:

1.一种单晶炉炉盖导向结构,用于安装在炉体和炉盖上:

2.根据权利要求1所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

4.根据权利要求3所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

5.根据权利要求3所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

6.根据权利要求1所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

7.根据权利要求2所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

8.根据权利要求3所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

9.根据权利要求2所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:

10.根据权利要求2所述的单晶炉炉盖导向结构,其特征在于:两个所述固定杆滑动安装在两个安装架相互远离的一端上。

技术总结本申请公开了一种单晶炉炉盖导向结构,其属于单晶炉领域。用于安装在炉体和炉盖上:所述单晶炉炉盖导向结构还包括:两个安装座,两个所述安装座安装在炉体的两侧,所述炉盖的两侧分别固接有连接杆,所述连接杆远离炉体的一端固接有导向件,所述导向件为圆锥形,所述安装座上开设有与导向件对应的导向槽,所述导向槽的开口大小向着炉体底部的方向逐渐减小,两个所述导向件相互远离的一端上均开设有固定槽,所述安装座上设置有与固定槽对应的锁紧组件。本申请的有益效果在于提供了一种加快安装速度的单晶炉炉盖导向结构。技术研发人员:王耀辉,毛宋艳,刘浩杰,陈瑜,徐银军,阮华良受保护的技术使用者:绍兴市佳达机械制造有限公司技术研发日:20230911技术公布日:2024/5/29

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