单晶炉的制作方法

本技术涉及单晶炉设备，特别是涉及一种单晶炉。

背景技术：

1、排气系统是直拉单晶硅单晶炉中重要的系统之一，其主要作用是带走炉内挥发物，减少炉内氧化物蓄积，提高单晶硅成晶率，目前单晶炉排气方式以下排气为主，排气管道过长，排气效果不佳，容易造成管道堵塞，影响单晶硅成晶率。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对相关技术中排气系统排气管道过长导致排气效果不佳的技术问题，提供一种单晶炉。

2、一种单晶炉，所述单晶炉包括：

3、炉筒，构造有一端开口的容纳腔体，所述炉筒的侧壁上还开设有贯通所述炉筒侧壁的第一通孔；

4、坩埚，设于所述容纳腔体内；

5、第一保温筒，设于所述容纳腔体内，并位于所述坩埚上方，所述第一保温筒的筒壁上开设有贯通所述第一保温筒筒壁的第二通孔；

6、排气套筒，两端设于所述第一通孔和所述第二通孔内，所述排气套筒设置有沿着其轴向方向贯通的排气通道，所述排气通道与所述坩埚的腔体相连通，以使炉内气体排出；

7、其中，所述第一通孔和所述第二通孔位于所述坩埚的腔体的上方。

8、在其中一个实施例中，所述第一通孔和所述第二通孔同轴设置。

9、在其中一个实施例中，所述排气套筒为直筒状结构。

10、在其中一个实施例中，所述单晶炉还包括密封件，所述密封件设于所述排气套筒上，所述密封件被压设于所述第一通孔的孔壁与所述排气套筒的外壁之间。

11、在其中一个实施例中，所述排气套筒位于靠近所述第一通孔的端部设置有沿着所述排气套筒的外周面向外凸出的凸缘，所述单晶炉还包括密封件，所述密封件被压设于所述凸缘的端面与所述炉筒的外壁之间。

12、在其中一个实施例中，所述凸缘朝向所述炉筒的侧面上构造有环形的限位槽，所述密封件部分设于所述限位槽内。

13、在其中一个实施例中，所述单晶炉还包括：

14、连接套管，所述连接套管的一端连接于所述炉筒的外壁上所述第一通孔对应的位置，所述连接套管的内孔与所述第一通孔相连通，所述连接套管的另一端的外周缘设置台阶，所述台阶的端面与所述凸缘的朝向所述炉筒的侧面相贴合。

15、在其中一个实施例中，所述排气套筒的材质为石墨。

16、在其中一个实施例中，所述单晶炉还包括保温结构层，所述保温结构层围设于所述排气套筒的外周面上。

17、在其中一个实施例中，所述保温结构层与所述排气套管粘接。

18、本实用新型的有益效果：

19、本实用新型提供了一种单晶炉，其中，炉筒中的容纳去腔体用于容纳坩埚、水冷屏、加热器等部件。坩埚用于熔炼硅材料；第一保温筒用于对水冷屏、坩埚等中的热场进行保温。通过在炉筒上开设第一通孔，在第一保温筒上开设第二通孔，以连接排气套筒，以使得排气套筒中的排气通道与坩埚的腔体相连通以为坩埚内的挥发物的排出提供流通路径。而在本实用新型中将第一通孔和第二通孔均设置在坩埚的腔体的上方，一方面，能够缩短挥发物的流通路径，从而改善排气效果；另一方面，使得大部分的气流从水冷屏向下流至坩埚内单晶硅液面上后，挥发物随着气流从排气套管的爬起通道排出，而不会流至坩埚与加热器之间的夹层空间内，从而使得加热器发热区的气流为直流，进而减少挥发物对加热器发热区的腐蚀，从而提高了加热器使用寿命。采用如上的结构形式，一方面能够缩短气体流经路径，从而提高排气效率，另一方面，有利于降低挥发物对加热器发热区的腐蚀，从而提高加热器的使用寿命。

技术特征：

1.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔同轴设置。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述排气套筒为直筒状结构。

4.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括密封件，所述密封件设于所述排气套筒上，所述密封件被压设于所述第一通孔的孔壁与所述排气套筒的外壁之间。

5.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述排气套筒位于靠近所述第一通孔的端部设置有沿着所述排气套筒的外周面向外凸出的凸缘，所述单晶炉还包括密封件，所述密封件被压设于所述凸缘的端面与所述炉筒的外壁之间。

6.根据权利要求5所述的单晶炉，其特征在于，所述凸缘朝向所述炉筒的侧面上构造有环形的限位槽，所述密封件部分设于所述限位槽内。

7.根据权利要求5所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括：

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的单晶炉，其特征在于，所述排气套筒的材质为石墨。

9.根据权利要求1-7中任意一项所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括保温结构层，所述保温结构层围设于所述排气套筒的外周面上。

10.根据权利要求9所述的单晶炉，其特征在于，所述保温结构层与所述排气套筒粘接。

技术总结本技术涉及一种单晶炉，单晶炉包括炉筒、坩埚、第一保温筒及排气套筒，炉筒构造有一端开口的容纳腔体，炉筒的侧壁上还开设有贯通炉筒侧壁的第一通孔；坩埚设于容纳腔体内；第一保温筒设于容纳腔体内，并位于坩埚上方，第一保温筒的筒壁上开设有贯通第一保温筒筒壁的第二通孔；排气套筒的两端设于第一通孔和第二通孔内，排气套筒设置有沿着其轴向方向贯通的排气通道，排气通道与坩埚的腔体相连通，以排出挥发物；其中，第一通孔和第二通孔位于坩埚的腔体的上方。采用如上的结构形式，一方面能够缩短气体流经路径，从而提高排气效率，另一方面，有利于降低挥发物对加热器发热区的腐蚀，从而提高加热器的使用寿命。技术研发人员：黄晓林,马玉花,王剑桥,曹利军,李增博,魏耀辉受保护的技术使用者：天合光能股份有限公司技术研发日：20231109技术公布日：2024/5/29