蚀刻装置的制作方法

本技术涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种显示面板制作过程中所使用的蚀刻装置。

背景技术：

1、随着科技的发展，液晶显示装置(liquid crystal display，lcd)被广泛应用在许多电子产品上，例如手机、平板电脑等，由于用户对电子产品的要求越来越高，如今电子产品朝着轻薄化方向不断发展。

2、以液晶显示面板来说，其包含上下两块玻璃基板以及夹设于两块玻璃基板之间的液晶分子层。在液晶显示面板对盒完成后，可对上下两块玻璃基板进行薄化。目前玻璃基板薄化的方法主要有两大类，第一类是物理薄化方法，利用玻璃基板与研磨粉之间的摩擦作用达到玻璃基板薄化的目的，但采用物理薄化方法研磨精度不好控制，并且耗时较长、良率较低；第二类是化学薄化方法，利用玻璃基板与酸液之间的化学反应达到玻璃基板薄化的目的，采用化学薄化方法所需的时间少，产品良率高，是目前主要使用的玻璃基板薄化方法。

3、请参阅图1，图1所示为现有技术中的蚀刻装置的结构示意图，如图1所示，采用化学薄化方法时，蚀刻装置1包含喷嘴2，通过喷嘴2在显示面板3的表面喷涂酸液以对显示面板3的玻璃基板进行薄化。由于显示面板3在制作/传送过程中其表面容易积攒正负电荷甚至出现玻璃基板表面各处的电荷分布不均的情况，导致显示面板3进入后续蚀刻工序时，受表面电荷的影响，显示面板3的表面溶解性不同，使得薄化后的显示面板3容易出现凹坑，影响显示面板3的薄化质量。且由于不同产品的规格不一致，工作人员在进行异常判断时会有误判的风险，影响最终形成的电子产品的质量。

4、因此，如何实现显示面板薄化的同时，确保薄化品质、提高良率、降低生产成本是亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种蚀刻装置，以解决上述技术问题。

2、为了达到上述目的，本实用新型提出一种蚀刻装置，其包含相邻接的第一腔室以及第二腔室，该第一腔室及该第二腔室包含连续延伸的传送轨道，该传送轨道用于传送该显示面板由该第一腔室至该第二腔室，该第二腔室通过该传送轨道连接于该第一腔室，其中，该第一腔室还包含第一喷嘴以及风刀，该第一喷嘴位于该第一腔室的顶部，该第一喷嘴用于在该显示面板经由该传送轨道自该第一腔室移动至该第二腔室的过程中喷涂第一溶液至该显示面板的第一表面；该风刀位于该第一喷嘴与该第二腔室之间，该风刀用于去除该显示面板的该第一表面上的部分该第一溶液，以使得该显示面板进入该第二腔室时该第一表面上具有预设厚度的该第一溶液；其中，该第二腔室包含多个第二喷嘴，该多个第二喷嘴位于该第二腔室的顶部和底部，该多个第二喷嘴用于喷涂第一酸液于该显示面板的该第一表面及与该第一表面相对的第二表面。

3、作为可选的技术方案，该第一喷嘴与该传送轨道所在平面之间具有第一夹角，该第一夹角介于30°至45°之间。

4、作为可选的技术方案，该风刀与该传送轨道所在平面之间具有第二夹角，该第二夹角介于30°至45°之间。

5、作为可选的技术方案，该第一喷嘴与该风刀之间的水平距离介于5cm至10cm之间。

6、作为可选的技术方案，该风刀的风压介于0.05mpa至0.15mpa之间。

7、作为可选的技术方案，该第一喷嘴与该传送轨道之间的垂直距离大于该风刀与该传送轨道之间的垂直距离。

8、作为可选的技术方案，该第一腔室还包含第三喷嘴，该第三喷嘴与该第一喷嘴相对设置并设置于该第一腔室的底部，该第三喷嘴用于在该显示面板经由该传送轨道自该第一腔室移动至该第二腔室的过程中喷涂该第一溶液于该显示面板的该第二表面，该第三喷嘴垂直于该传送轨道所在表面。

9、作为可选的技术方案，该第一溶液为去离子水。

10、作为可选的技术方案，该蚀刻装置还包含第三腔室，该第二腔室位于该第一腔室与该第三腔室之间且该第三腔室与该第二腔室邻接，该第三腔室通过该传送轨道连接于该第二腔室，该第三腔室包含多个第四喷嘴，该多个第四喷嘴位于该第三腔室的顶部及底部，该多个第四喷嘴用于喷涂第二酸液于该显示面板的该第一表面及该第二表面。

11、作为可选的技术方案，该第一腔室与该第二腔室之间具有侧板，该侧板具有开口以供该传送轨道穿过，该风刀倾斜设置于该侧板上。

12、本实用新型提供一种蚀刻装置，在第一腔室内设置喷嘴及风刀，通过喷嘴在显示面板的表面均匀喷涂去离子水以去除显示面板表面的电荷，进一步通过风刀去除显示面板表面多余的去离子水，仅在表面留下薄薄一层的水膜，使得显示面板进入后续腔室进行蚀刻工序时，不需要使用过多的酸液，且酸液与显示面板的接触更为均匀，避免出现蚀刻不均的现象，从而实现显示面板薄化的同时，确保薄化品质、提高良率、降低生产成本。

技术特征：

1.一种蚀刻装置，用于对显示面板进行薄化，其特征在于，该蚀刻装置包含相邻接的第一腔室以及第二腔室，该第一腔室及该第二腔室包含连续延伸的传送轨道，该传送轨道用于传送该显示面板由该第一腔室至该第二腔室，该第二腔室通过该传送轨道连接于该第一腔室，

2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一喷嘴与该传送轨道所在平面之间具有第一夹角，该第一夹角介于30°至45°之间。

3.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该风刀与该传送轨道所在平面之间具有第二夹角，该第二夹角介于30°至45°之间。

4.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一喷嘴与该风刀之间的水平距离介于5cm至10cm之间。

5.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该风刀的风压介于0.05mpa至0.15mpa之间。

6.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一喷嘴与该传送轨道之间的垂直距离大于该风刀与该传送轨道之间的垂直距离。

7.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一腔室还包含第三喷嘴，该第三喷嘴与该第一喷嘴相对设置并设置于该第一腔室的底部，该第三喷嘴用于在该显示面板经由该传送轨道自该第一腔室移动至该第二腔室的过程中喷涂该第一溶液于该显示面板的该第二表面，该第三喷嘴垂直于该传送轨道所在平面。

8.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一溶液为去离子水。

9.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该蚀刻装置还包含第三腔室，该第二腔室位于该第一腔室与该第三腔室之间且该第三腔室与该第二腔室邻接，该第三腔室通过该传送轨道连接于该第二腔室，该第三腔室包含多个第四喷嘴，该多个第四喷嘴位于该第三腔室的顶部及底部，该多个第四喷嘴用于喷涂第二酸液于该显示面板的该第一表面及该第二表面。

10.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一腔室与该第二腔室之间具有侧板，该侧板具有开口以供该传送轨道穿过，该风刀倾斜设置于该侧板上。

技术总结本技术提供一种蚀刻装置，其包含相邻接的第一腔室以及第二腔室，该第一腔室及该第二腔室包含连续延伸的传送轨道，其中，该第一腔室还包含第一喷嘴以及风刀，该第一喷嘴位于该第一腔室的顶部，该第一喷嘴用于在该显示面板经由该传送轨道自该第一腔室移动至该第二腔室的过程中喷涂第一溶液至该显示面板的第一表面；该风刀位于该第一喷嘴与该第二腔室之间，该风刀用于去除该显示面板的该第一表面上的部分该第一溶液，以使得该第一表面上具有预设厚度的该第一溶液；其中，该第二腔室包含多个第二喷嘴，该多个第二喷嘴位于该第二腔室的顶部和底部，该多个第二喷嘴用于喷涂第一酸液于该显示面板的该第一表面及与该第一表面相对的第二表面。技术研发人员：夏凡星,杨东,李翔宇,李鸿受保护的技术使用者：友达光电（昆山）有限公司技术研发日：20231025技术公布日：2024/6/11