一种用于MPCVD设备的反应腔的制作方法

本技术涉及一种用于mpcvd设备的反应腔，属于钻石培育设备。

背景技术：

1、mpcvd中文名称叫微波等离子体化学气相沉积，mpcvd设备作为优异的钻石培育设备，其工作原理为通过微波源产生微波，在微波场的作用下，反应气体被激发为等离子体状态。等离子体是部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体呈球状形成于金刚石衬底上，利用等离子体的高温让衬底可以加热到一定的温度。用6kw微波功率的mpcvd设备，可以以微米级每小时的速率沉积工具级金刚石膜、

2、热沉级金刚石膜、光学级金刚石膜等。

3、现有的mpcvd设备的反应腔腔体主要由一个上反应腔体、物料进料门组件、下反应腔

4、体、紫铜垫片、螺钉、平垫、弹垫构成。其中，上反应腔体和下反应腔体的密封通过紫铜垫片来实现密封，利用螺钉、平垫、弹垫固定在一起，形成一个完整的反应腔体，同时把物料进料门组件安装在上反应腔体上，从而达到一个完整的反应腔系统模块。

5、现有的反应腔体存在以下问题：上反应腔体和下反应腔体总体对外连接口太多，接口约多泄露点就越大，导致维修和维护难度增加。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于mpcvd设备的反应腔，用于解决现有技术中现有的反应腔腔体由上下两个腔体组成，密封效果差的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于mpcvd设备的反应腔，包括一体成型的反应腔主体，所述反应腔主体一侧设置连通至反应腔主体内部的观察窗组件，所述观察窗组件包括一端与反应腔主体内部相连通的观察口，所述观察口另一端设置中间透光并可启闭的观察窗，所述观察窗中间设置透明观察口，所述观察口与反应腔主体连接处内部活动设置表面均匀开设有若干个通孔的挡板，所述挡板边缘通过连接部连接于所述观察窗。

3、于本实用新型的一实施例中，所述反应腔主体两端开口并设置连接法兰。

4、通过采用这种技术方案：反应腔主体通过连接法兰和螺栓连接于其他设备。

5、于本实用新型的一实施例中，所述观察窗一侧通过合页连接观察口。

6、于本实用新型的一实施例中，所述观察窗和观察口侧面设置至少两组用于将观察窗和观察口锁合的扣合组件。

7、通过采用这种技术方案：扣合组件用于将观察窗和观察口锁合，防止在反应过程中泄漏。

8、于本实用新型的一实施例中，所述反应腔主体外侧中间设置安装法兰。

9、通过采用这种技术方案：安装法兰用于对反应腔主体进行固定安装。

10、于本实用新型的一实施例中，所述反应腔主体侧面上方沿周向均匀间隔设置有若干个供给管道。

11、通过采用这种技术方案：供给管道分别连接供水管道和稀有气体供气管道，用于在反应过程中向反应腔主体内部输送水和稀有气体。

12、于本实用新型的一实施例中，所述反应腔主体侧面沿周向均匀间隔设置有若干个连通至反应腔主体内部的观察检测口，所述观察检测口末端设置透明玻璃层。

13、通过采用这种技术方案：观察检测口末端分别设置监测摄像机以及红外测温仪，监测摄像机和红外测温仪透过观察检测口末端的透明玻璃层对反应腔主体内部进行监测以及红外测温。

14、于本实用新型的一实施例中，所述反应腔主体侧面底面沿周向设置连通至反应腔主体内部的第一真空管和至少两个外接管道。

15、通过采用这种技术方案：两个外接管道用于连接抽真空设备以及压力表，第一真空管和其中一种外接管道均用于抽真空，两根管道尺寸不同，适用于不同的工况。

16、于本实用新型的一实施例中，所述反应腔主体侧壁为双层中空结构。

17、如上所述，本实用新型的一种用于mpcvd设备的反应腔，具有以下有益效果：

18、本实用新型中将反应腔主体设置为一体成型结构，腔体缩短加工方便，焊接减少接口减少泄漏率降低，整体装卸维护方便，观察窗与进料口相结合，减小设备体积同时方便观察真空反应腔体内的火球颜色及产品生长情况，反应腔主体侧面设置多个接口和观察检测口便于实时对反应腔主体内部进行监测，实现自动化监测，有效提高作业效率和产品质量。

技术特征：

1.一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于，包括一体成型的反应腔主体(1)，所述反应腔主体(1)一侧设置连通至反应腔主体(1)内部的观察窗组件(2)，所述观察窗组件(2)包括一端与反应腔主体(1)内部相连通的观察口(9)，所述观察口(9)另一端设置中间透光并可启闭的观察窗(10)，所述观察窗(10)中间设置透明观察口(11)，所述观察口(9)与反应腔主体(1)连接处内部活动设置表面均匀开设有若干个通孔的挡板(12)，所述挡板(12)边缘通过连接部(13)连接于所述观察窗(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述反应腔主体(1)两端开口并设置连接法兰。

3.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述观察窗(10)一侧通过合页(14)连接观察口(9)。

4.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述观察窗(10)和观察口(9)侧面设置至少两组用于将观察窗(10)和观察口(9)锁合的扣合组件(8)。

5.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述反应腔主体(1)外侧中间设置安装法兰(6)。

6.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述反应腔主体(1)侧面上方沿周向均匀间隔设置有若干个供给管道(3)。

7.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述反应腔主体(1)侧面沿周向均匀间隔设置有若干个连通至反应腔主体(1)内部的观察检测口(5)，所述观察检测口(5)末端设置透明玻璃层。

8.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述反应腔主体(1)侧面底面沿周向设置连通至反应腔主体(1)内部的第一真空管(4)和至少两个外接管道(7)。

9.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的反应腔，其特征在于：所述反应腔主体(1)侧壁为双层中空结构。

技术总结本技术提供一种用于MPCVD设备的反应腔，属于钻石培育设备技术领域。本技术包括一体成型的反应腔主体，反应腔主体一侧设置连通至反应腔主体内部的观察窗组件，观察窗组件包括一端与反应腔主体内部相连通的观察口，观察口另一端设置中间透光并可启闭的观察窗，观察窗中间设置透明观察口，观察口与反应腔主体连接处内部活动设置表面均匀开设有若干个通孔的挡板，挡板边缘通过连接部连接于观察窗，本技术整体装卸维护方便，减小设备体积同时方便观察真空反应腔体内的火球颜色及产品生长情况，有效提高作业效率和产品质量。技术研发人员：桂华云,沈晓军受保护的技术使用者：上海固玺科技有限责任公司技术研发日：20231008技术公布日：2024/6/5