激光加工装置的制作方法

本申请涉及激光刻蚀，特别是涉及一种激光加工装置。

背景技术：

1、在薄膜太阳能激光刻蚀加工中，利用激光器出射的激光对待加工元件进行加工。

2、然而，相关技术中的激光加工装置加工效率较低。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对相关技术中的激光加工装置加工效率较低的问题，提供一种激光加工装置。

2、一种激光加工装置，所述激光加工装置包括：

3、光源系统，用于出射沿第一方向传播的出射光；

4、出射光系统，包括至少两组出光组件，所述出光组件包括加工轴和反射单元，所述反射单元设于所述第一加工轴上，所述反射单元包括至少两个反射面，所述反射单元能够接收所述光源系统的出射光，并用于将所述光源系统的出射光依次经至少两个所述反射面的反射后转换为沿第二方向的光线射出；

5、所述第一方向和所述第二方向彼此垂直。

6、在其中一个实施例中，所述反射单元包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜的反射镜面和所述第二反射镜的反射镜面呈夹角设置，所述第一反射镜用于接收所述光源系统的出射光，并将至少部分所述光源系统的出射光反射到所述第二反射镜，所述第二反射镜用于将接收到的至少部分所述光源系统的出射光的光线反射为沿所述第二方向出射的光线。

7、在其中一个实施例中，所述反射单元包括五棱镜，所述反射单元具有相互倾斜的第一反射面和第二反射面，所述反射单元用于接收所述光源系统的出射光，并将所述光源系统的出射光传导至所述第一反射面，所述第一反射面用于将至少部分所述光源系统的出射光反射到所述第二反射面，所述第二反射面用于将接收到的至少部分所述光源系统的出射光反射为沿第二方向出射的光线。

8、在其中一个实施例中，所述出射光系统包括多组所述出光组件，多组所述出光组件沿所述第一方向依次间隔设置，多组所述出光组件的出射光相互平行。

9、在其中一个实施例中，多组所述出光组件的反射单元在所述第二方向上间隔排布。

10、在其中一个实施例中，所述光源系统包括光源元件和多个分光元件，所述分光元件设于所述光源元件和所述出光组件之间，所述分光元件用于接收所述光源元件的出射光，并用于将所述光源元件的出射光反射为沿所述第一方向的所述光源系统的出射光，且所述分光元件使所述光源系统的出射光朝所述出光组件射出。

11、在其中一个实施例中，多个所述分光元件与多组所述出光组件的所述反射单元一一对应设置，每个所述反射单元用于接收对应的一个所述分光元件出射的所述光源系统的出射光。

12、在其中一个实施例中，多个分光元件在所述第二方向上依次间隔排布，且每个所述分光元件与对应的一个所述反射单元在第二方向上的位置相对。

13、在其中一个实施例中，所述激光加工装置包括两个所述出射光系统，两个所述出射光系统沿所述第一方向呈镜像设置，多个所述分光元件沿所述第一方向呈镜像地设于两个所述出射光系统的两侧，且与两个所述出射光系统的多个所述反射单元一一对应设置，每个所述出射光系统中的反射单元与另外一个所述出射光系统对应的反射单元在所述第二方向上相对。

14、在其中一个实施例中，所述光源系统还包括光源分光件，所述光源分光件设于所述光源元件的出光侧，用于将所述光源元件的出射光分别传播至沿第一方向设于所述出射光系统两侧的多个分光元件。

15、上述激光加工装置通过至少两组出光组件能够分别发出多个光线，且使其出射的多个光线均沿第二方向射出，从而能够通过多个光线同时对待加工工件进行激光加工，提高加工效率。且反射单元的至少两个反射面被设置为能够将沿第一方向传播的出射光反射至沿第二方向传播，可以理解的是，能够避免激光加工装置在使用时因为反射单元的相对位置发生变化而产生的出射光角度变化的误差，即反射单元被设置为即使反射单元角度发生一定偏转，但是从第一方向入射至反射单元的光线经过反射单元的反射后仍沿第二方向出射，避免使用时反射单元位置变化使得出射光方向发生偏转。从而节省了调整反射单元的时间，进而提高了刻蚀效率。

技术特征：

1.一种激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置包括：

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述反射单元包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜的反射镜面和所述第二反射镜的反射镜面呈夹角设置，所述第一反射镜用于接收所述光源系统的出射光，并将至少部分所述光源系统的出射光反射到所述第二反射镜，所述第二反射镜用于将接收到的至少部分所述光源系统的出射光的光线反射为沿所述第二方向出射的光线。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述反射单元包括五棱镜，所述反射单元具有相互倾斜的第一反射面和第二反射面，所述反射单元用于接收所述光源系统的出射光，并将所述光源系统的出射光传导至所述第一反射面，所述第一反射面用于将至少部分所述光源系统的出射光反射到所述第二反射面，所述第二反射面用于将接收到的至少部分所述光源系统的出射光反射为沿第二方向出射的光线。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述出射光系统包括多组所述出光组件，多组所述出光组件沿所述第一方向依次间隔设置，多组所述出光组件的出射光相互平行。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，多组所述出光组件的反射单元在所述第二方向上间隔排布。

6.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，所述光源系统包括光源元件和多个分光元件，所述分光元件设于所述光源元件和所述出光组件之间，所述分光元件用于接收所述光源元件的出射光，并用于将所述光源元件的出射光反射为沿所述第一方向的所述光源系统的出射光，且所述分光元件使所述光源系统的出射光朝所述出光组件射出。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，多个所述分光元件与多组所述出光组件的所述反射单元一一对应设置，每个所述反射单元用于接收对应的一个所述分光元件出射的所述光源系统的出射光。

8.根据权利要求7所述的激光加工装置，其特征在于，多个分光元件在所述第二方向上依次间隔排布，且每个所述分光元件与对应的一个所述反射单元在第二方向上的位置相对。

9.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置包括两个所述出射光系统，两个所述出射光系统沿所述第一方向呈镜像设置，多个所述分光元件沿所述第一方向呈镜像地设于两个所述出射光系统的两侧，且与两个所述出射光系统的多个所述反射单元一一对应设置，每个所述出射光系统中的反射单元与另外一个所述出射光系统对应的反射单元在所述第二方向上相对。

10.根据权利要求9所述的激光加工装置，其特征在于，所述光源系统还包括光源分光件，所述光源分光件设于所述光源元件的出光侧，用于将所述光源元件的出射光分别传播至沿第一方向设于所述出射光系统两侧的多个分光元件。

技术总结本申请涉及一种激光加工装置，激光加工装置包括光源系统和出射光系统，光源系统用于出射沿第一方向传播的出射光，出射光系统包括至少两组出光组件，出光组件包括加工轴和反射单元，反射单元设于加工轴上，反射单元包括至少两个反射面，反射单元能够接收光源系统的出射光，并用于将光源系统的出射光经至少两个反射面的反射后转换为沿第二方向的光线射出，第一方向和第二方向彼此垂直。本申请的激光加工装置能够通过多个光线同时对待加工工件进行激光加工，提高加工效率，且能够避免激光加工装置在使用时因为反射单元的位置发生变化而使得出射的光线的角度发生变化，从而无需时刻关注以及调整反射单元的位置，提高了激光加工装置的整体加工效率。技术研发人员：胡莹,汪玉树受保护的技术使用者：苏州迈为科技股份有限公司技术研发日：20231031技术公布日：2024/7/9