贴膜装置及贴膜方法与流程

本申请属于半导体设备，更具体地说，是涉及一种贴膜装置及贴膜方法。

背景技术：

1、背面保护胶膜 (backside coating tape)主要用于wlcsp（wafer-level chip-scale package）制程，其用于作为保护及补强晶圆背面的无基材特殊胶膜，以抑制光线、减低对回路面的不良影响。背面保护胶膜由底膜（隔离保护膜）、背胶膜和盖膜（隔离保护膜）三层构成。在晶圆研磨后、切割前将背胶膜贴合于晶圆的背面，以提高晶圆强度，减低切割时破片的发生。

2、在相关的技术中，贴背胶膜工艺是先将背胶膜的盖膜剥离，再将底膜和背胶膜送到晶圆贴膜工位，然后通过切断机构把背胶膜切割出粘贴区域和残余区域，再通过剥离机构将背胶膜的残余区域剥离，最后再把背胶膜的粘贴区域贴在晶圆上。然而，前述的切割方式整体结构繁琐复杂、切割效率低；同时，先剥离盖膜再切割的工艺也容易留有残胶，影响压膜品质及后工序切割效果。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种贴膜装置及贴膜方法，以解决现有技术中存在的切割结构复杂、效率低且易留胶的技术问题。

2、为实现上述目的，本申请第一方面实施例采用的技术方案是，提供一种贴膜装置，其包括：

3、机架，以及设置于所述机架上的放膜模块、压膜模块、收膜模块和工作台，所述放膜模块用于卷放具备三层膜层的复合膜卷并在靠近所述工作台处对所述复合膜卷剥离，所述压膜模块用于将剥离后的其中一所述膜层压紧粘接于所述工作台上的晶圆表面，所述收膜模块用于回收剥离后的其他所述膜层；

4、所述压膜模块和所述工作台能够沿平行于所述晶圆表面的方向相对移动；

5、其中，在所述放膜模块中设置有预切割单元和膜连接单元；

6、所述预切割单元用于对所述复合膜卷上靠近粘接的一面进行预切割，以在其上形成贯穿两层所述膜层的切割痕，并使靠近所述预切割单元的所述膜层表面形成第一区域以及位于所述第一区域中且互相隔离的第二区域；

7、所述膜连接单元用于在所述复合膜卷上被切割的一面连续粘贴胶膜，以使所述第一区域与各所述第二区域恢复连接关系。

8、可选地，所述膜连接单元包括架体和设置于所述架体上的放卷机构、导膜机构及推膜机构；所述放卷机构用于放送所述胶膜，所述导膜机构用于传送所述胶膜至所述推膜机构，所述推膜机构可摆动设置于所述架体以推动所述胶膜靠近所述膜层并粘贴连接于所述第一区域和所述第二区域。

9、可选地，所述推膜机构包括推膜轮和被设置为始终抵紧所述推膜轮的夹紧轮，所述胶膜穿设于所述夹紧轮与所述推膜轮之间的间隙并由所述推膜机构推动以粘接于所述膜层的表面。

10、可选地，所述推膜机构包括摆动设置于所述架体的第一摆杆，在所述架体上设置有气缸，所述气缸的活塞端与所述第一摆杆之间连接有连杆机构；和/或，所述推膜机构还包括摆动设置于所述架体的第二摆杆，所述第二摆杆与所述架体之间连接有弹性件，所述夹紧轮设置于所述第二摆杆，所述弹性件用于使所述夹紧轮抵紧所述推膜轮。

11、可选地，在所述推膜机构上远离所述放卷机构的一端设置有切割片；和/或，所述架体包括固定架和活动架，所述活动架沿所述固定架的长度方向滑动设置于所述固定架，所述放膜模块、所述导膜轮和所述推膜机构均设置于所述活动架。

12、可选地，所述预切割单元包括联动设置的模切动力辊和由所述模切动力辊驱动的模切刀辊，在所述模切刀辊上沿周向成型有模切刀，所述复合膜卷穿设于所述模切动力辊和所述模切刀辊。

13、可选地，所述模切刀辊与所述模切动力辊之间的间隙可调节设置。

14、可选地，在所述模切刀辊与所述模切动力辊之间连接有弹力件，在所述模切刀辊与所述模切动力辊任意一者上远离另一者的一侧设置有驱动件，所述驱动件用于推动所述模切刀辊或所述模切动力辊挤压或释放所述弹力件以相互靠近或远离。

15、可选地，所述模切刀在所述模切刀辊上可拆卸设置。

16、在本申请第二方面实施例中，提供一种贴膜方法，其包括以下步骤：

17、由预切割单元对设置有第一膜层、第二膜层和第三膜层的复合膜卷进行预切割，以在其上形成贯穿第一膜层和第二膜层的切割痕，并在第一膜层表面形成第一区域以及位于所述第一区域中且互相隔离的第二区域；

18、由膜连接单元对第一膜层连续粘贴胶膜，以使所述第一区域与各所述第二区域恢复连接关系；

19、由放膜模块将第一膜层及第二膜层上和所述第一区域正相对的区域与第二膜层其他区域和第三膜层剥离；

20、由压膜模块压合第三膜层以使第二膜层上与所述第二区域正相对的部分区域粘接至工作台上的晶圆表面；

21、由收膜模块将第三膜层从第二膜层上撕离并回收、以及将第一膜层及部分第二膜层回收。

22、本申请实施例提供的贴膜装置及贴膜方法，至少具有以下有益效果：

23、设置预切割单元以及膜连接单元，由预切割单元直接对处于传送状态的复合膜卷进行模切，并由膜连接单元将被模切的复合膜卷表面粘接胶带以恢复连接关系，如此，在后续膜层剥离时，膜层上被胶膜连接的不同区域能够轻易被剥离且仅在复合膜卷上留下需要粘接至晶圆上的部分，在后续的贴膜作业过程中，由于膜层上仅留下需要粘接至晶圆上的部分，因此能够避免其他膜层与承载晶圆的工作台粘接而导致的留胶问题，且作业结构较为简单，作业效率较高。

技术特征：

1.一种贴膜装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：所述膜连接单元包括架体和设置于所述架体上的放卷机构、导膜机构及推膜机构；所述放卷机构用于放送所述胶膜，所述导膜机构用于传送所述胶膜至所述推膜机构，所述推膜机构可摆动设置于所述架体以推动所述胶膜靠近所述复合膜卷 并粘贴连接于所述第一区域和所述第二区域。

3.如权利要求2所述的贴膜装置，其特征在于：所述推膜机构包括推膜轮和被设置为始终抵紧所述推膜轮的夹紧轮，所述胶膜穿设于所述夹紧轮与所述推膜轮之间的间隙并由所述推膜机构推动以粘接于所述复合膜卷的表面。

4.如权利要求3所述的贴膜装置，其特征在于：所述推膜机构包括摆动设置于所述架体的第一摆杆，在所述架体上设置有气缸，所述气缸的活塞端与所述第一摆杆之间连接有连杆机构；和/或，所述推膜机构还包括摆动设置于所述架体的第二摆杆，所述第二摆杆与所述架体之间连接有弹性件，所述夹紧轮设置于所述第二摆杆，所述弹性件用于使所述夹紧轮抵紧所述推膜轮。

5.如权利要求2所述的贴膜装置，其特征在于：在所述推膜机构上远离所述放卷机构的一端设置有切割片；和/或，所述架体包括固定架和活动架，所述活动架沿所述固定架的长度方向滑动设置于所述固定架，所述放卷机构、所述导膜机构和所述推膜机构均设置于所述活动架。

6.如权利要求1至5任一所述的贴膜装置，其特征在于：所述预切割单元包括联动设置的模切动力辊和由所述模切动力辊驱动的模切刀辊，在所述模切刀辊上沿周向成型有模切刀，所述复合膜卷穿设于所述模切动力辊和所述模切刀辊。

7.如权利要求6所述的贴膜装置，其特征在于：所述模切刀辊与所述模切动力辊之间的间隙可调节设置。

8.如权利要求7所述的贴膜装置，其特征在于：在所述模切刀辊与所述模切动力辊之间连接有弹力件，在所述模切刀辊与所述模切动力辊任意一者上远离另一者的一侧设置有驱动件，所述驱动件用于推动所述模切刀辊或所述模切动力辊挤压或释放所述弹力件以相互靠近或远离。

9.如权利要求6所述的贴膜装置，其特征在于：所述模切刀在所述模切刀辊上可拆卸设置。

10.一种贴膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结本申请提供了一种贴膜装置及贴膜方法。贴膜装置包括：机架，以及设置于机架上的放膜模块、压膜模块、收膜模块和工作台；压膜模块和工作台能够沿平行于晶圆表面的方向相对移动；其中，在放膜模块中设置有预切割单元和膜连接单元；预切割单元用于对复合膜卷上靠近粘接的一面进行预切割，以在其上形成贯穿两层膜层的切割痕，并使靠近预切割单元的膜层表面形成第一区域以及位于第一区域中且互相隔离的第二区域；膜连接单元用于在复合膜卷上被切割的一面连续粘贴胶膜，以使第一区域与各第二区域恢复连接关系。本申请提供的贴膜装置及贴膜方法，能够避免贴膜过程中的留胶问题，且作业结构较为简单，作业效率较高。技术研发人员：杨善斌,范志平,王宇,苏玫瑰,袁梓恒受保护的技术使用者：广东思沃先进装备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/18