接头适配装置、过滤器连接组合件及基板处理设备的制作方法

本技术属于过滤装置，具体涉及一种接头适配装置、过滤器连接组合件及基板处理设备。

背景技术：

1、过滤器可用于过滤流体中杂质，例如用于半导体系统中，去离子水、有机溶剂、光致抗蚀剂化学品、光化学溶剂等流体中杂质。过滤器连接组合件可用于连接过滤器，以使得过滤器和管路之间可以简单连接或拆卸，便于使用、安装、维修及更换过滤器。

2、过滤器包括过滤器本体及多个过滤接头，一个过滤接头用于待过滤流体流入，一个过滤接头用于过滤后流体流出，此外还可设置用于排气的过滤接头。对于不同厂家及种类的过滤器，其过滤接头的接头排列方式不同。例如，一些过滤器的过滤接头呈l字型排列，一些过滤器的过滤接头呈一字型排列。

3、现有的过滤器连接组合件，其与过滤器配套设置。在更换不同厂家及种类的过滤器时，需要同步更换过滤器连接组合件。更换过滤器连接组合件，需要暂停机台生产，不仅影响产线的生产效率，还增大了流体被污染的风险。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种接头适配装置、过滤器连接组合件及基板处理设备，以兼容两种及以上过滤器，减少过滤器连接组合件的更换频率，降低流体被污染的风险。

2、为了达到上述目的，本技术提供了一种接头适配装置，包括：

3、接头板，包括限位滑槽；

4、多个转接接头，至少两个活动的所述转接接头穿设在所述限位滑槽内，所述转接接头能够在所述限位滑槽内滑动，以使多个所述转接接头在所述接头板上形成多种位置配合关系；

5、接头驱动组件，包括多个运动连接件，至少两个所述运动连接件之间能够发生相对运动，每个所述运动连接件与一所述转接接头连接，所述运动连接件在自身运动的同时能够带动与其连接的所述转接接头在所述限位滑槽内滑动。

6、可选的，所述限位滑槽包括第一滑槽和第二滑槽，所述第一滑槽的第一端更靠近所述第二滑槽的第一端设置，多个所述转接接头包括第一转接接头和第二转接接头，多种位置配合关系包括第一状态和第二状态，在所述第一状态，所述第一转接接头位于所述第一滑槽的第二端，所述第二转接接头位于所述第二滑槽的第一端，在所述第二状态，所述第一转接接头位于所述第一滑槽的第一端，所述第二转接接头位于所述第二滑槽的第二端。

7、可选的，多个所述运动连接件包括第一运动连接件和第二运动连接件，所述第一运动连接件转动驱动与其连接的所述第一转接接头沿所述第一滑槽滑动，所述第二运动连接件转动驱动与其连接的所述第二转接接头沿所述第二滑槽滑动。

8、可选的，所述第一运动连接件包括第一接头孔和第一轴孔，所述第一接头孔和所述第一轴孔间隔设置，所述第二运动连接件包括第二接头孔和第二轴孔，所述第二接头孔和所述第二轴孔间隔设置，所述第一转接接头穿设在所述第一接头孔内，所述第二转接接头穿设在所述第二接头孔内，所述接头驱动组件还包括第一转轴，所述第一转轴设置在所述接头板上，所述第一转轴插入所述第一轴孔和所述第二轴孔；

9、第一运动连接件和所述第二运动连接件配置为：所述第一运动连接件转动驱动所述第一转接接头沿所述第一滑槽滑动，且所述第一运动连接件转动驱动所述第二运动连接件转动，使所述第二运动连接件驱动所述第二转接接头沿所述第二滑槽滑动。

10、可选的，所述第二接头孔和所述第二轴孔之间设置有复位槽，所述复位槽部分环绕所述第一转轴设置，所述第一接头孔和所述第一轴孔之间设置有复位销，所述复位销插入所述复位槽内，在所述第一运动连接件驱动所述第一转接接头从所述第一滑槽的第一端向所述第一滑槽的第二端滑动时，所述复位销通过所述复位槽的第一端带动所述第二运动连接件转动。

11、可选的，在所述第一运动连接件驱动所述第一转接接头从所述第一滑槽的第二端向所述第一滑槽的第一端滑动时，所述复位销通过所述复位槽的第二端带动所述第二运动连接件转动；和/或

12、至少所述第一运动连接件上设置驱动面，至少所述第二运动连接件上设置有阻挡面，在所述第一运动连接件驱动所述第一转接接头从所述第一滑槽的第二端向所述第一滑槽的第一端滑动时，所述驱动面推动所述阻挡面带动所述第二运动连接件转动。

13、可选的，在所述第一运动连接件驱动所述第一转接接头从所述第一滑槽的第二端向所述第一滑槽的第一端滑动时，所述复位销通过所述复位槽的第二端带动所述第二运动连接件转动，在所述第一运动连接件驱动所述第一转接接头从所述第一滑槽的第二端向所述第一滑槽的第一端滑动时，所述驱动面推动所述阻挡面带动所述第二运动连接件转动；

14、所述第二转接接头的行程小于所述第一转接接头的行程，在第一状态，所述驱动面和所述阻挡面之间夹角大于0°，在第二状态，所述复位销和所述复位槽的第二端形成间隔。

15、可选的，所述转接接头包括第一连接端、第二连接端和台阶轴，所述第一连接端和所述第二连接端设置在所述台阶轴两端，所述第一连接端和所述第二连接端连通，所述第一连接端穿设在所述接头板上；

16、所述第一运动连接件和所述第二运动连接件设置在所述接头板一侧，所述第一转接接头的第二连接端穿设在所述第一接头孔内，所述第一转接接头的台阶轴位于所述第一运动连接件和所述接头板之间，所述第二转接接头的第二连接端穿设在所述第二接头孔内，所述第二转接接头的台阶轴位于所述第二运动连接件和所述接头板之间。

17、可选的，所述接头驱动组件还包括操作杆，所述接头板上还设置有第三滑槽，所述操作杆穿过所述第三滑槽与所述第一运动连接件远离所述第一转轴一端连接。

18、可选的，所述第一滑槽和所述第二滑槽连通，所述第一滑槽和所述第二滑槽连通区向内凸起形成限位凸起，所述限位凸起用于所述第一转接接头和所述第二转接接头限位。

19、可选的，所述转接接头还包括第三转接接头，所述接头板上设置有接头插孔，所述第三转接接头穿设在所述接头插孔内；

20、在所述第一状态，所述第一转接接头、所述第二转接接头和所述第三转接接头沿第一方向排列，在所述第二状态，所述第一转接接头和所述第二转接接头沿第二方向排列，所述第二转接接头和所述第三转接接头沿第三方向排列，所述第二方向和所述第三方向的夹角为90±1°。

21、本技术还提供一种过滤器连接组合件，包括：

22、所述接头适配装置；

23、过滤器连接装置，设置在所述接头板一侧。

24、可选的，所述过滤器连接装置包括支撑板、活动板、剪刀撑和升降组件，所述支撑板和所述活动板通过所述剪刀撑连接，所述接头适配装置设置在所述支撑板远离所述活动板一侧，多个所述运动连接件包括第一运动连接件和第二运动连接件，所述第一运动连接件和所述第二运动连接件分别与一所述转接接头连接，所述第一运动连接件和所述第二运动连接件设置在所述支撑板和所述接头板之间，所述过滤器包括第一过滤器和第二过滤器，所述第一过滤器和所述第二过滤器均包括过滤器本体和过滤接头，所述过滤接头设置在所述过滤器本体一端，所述活动板用于安装所述过滤器本体，所述升降组件驱动所述活动板靠近或远离所述支撑板，使所述过滤接头和所述转接接头连接或分离。

25、可选的，所述支撑板上对应所述转接接头设置有镂空结构，所述转接接头穿过所述镂空结构与所述过滤接头连接。

26、可选的，所述支撑板包括第一主体部和设置在所述第一主体部相对的两侧的第一侧板部，所述活动板包括第二主体部和设置在所述第二主体部相对的两侧的第二侧板部，所述剪刀撑与所述第一侧板部及所述第二侧板部连接，所述第二主体部一侧设置有插入槽，所述第二主体部位于所述插入槽和所述第二侧板部之间区域形成导轨，所述第二过滤器的过滤器本体具有与所述导轨适配的第一导槽。

27、可选的，所述过滤器连接装置还包括拓展板，所述拓展板包括第三主体部和设置在所述第三主体部相对的两侧的第三侧板部，两个所述第三侧板部之间形成所述第一过滤器的过滤器本体的安装区，所述第三侧板部具有与所述导轨配合的第二导槽。

28、可选的，所述过滤器连接装置还包括转换块，所述转换块设置在所述支撑板远离所述接头板一侧，所述转换块包括多个转接孔，所述转接孔的第一孔口与所述转接接头连接，所述转接孔的第二孔口与所述第一过滤器的过滤接头连接。

29、可选的，所述升降组件包括转动板、连接板、第二转轴和限位销，两个所述转动板设置在所述支撑板相对的两侧，所述转动板和所述支撑板通过所述第二转轴转动连接，所述转动板上设置有部分环绕所述第二转轴的第四滑槽，所述限位销穿过所述第四滑槽与所述活动板连接，所述连接板连接两个所述转动板。

30、本技术还提供一种基板处理设备，包括：

31、所述过滤器连接组合件；

32、过滤器，与所述过滤器连接装置装配连接。

33、本技术公开的接头适配装置、过滤器连接组合件及基板处理设备具有以下有益效果：

34、本技术中，接头适配装置包括接头板、接头驱动组件和多个转接接头，至少两个活动的转接接头穿设在限位滑槽内，转接接头能够在限位滑槽内滑动，以使多个转接接头在接头板上形成多种位置配合关系，接头驱动组件包括多个运动连接件，至少两个运动连接件之间能够发生相对运动，每个运动连接件与一转接接头连接，运动连接件在自身运动的同时能够带动与其连接的转接接头在限位滑槽内滑动。多个转接接头在接头板上形成多种位置配合关系，可兼容具有多种过滤接头布局的过滤器，接头适配装置用于过滤器连接组合件，减少了过滤器连接组合件的更换频率，降低流体被污染的风险。

35、本技术的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本技术的实践而习得。

36、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。