常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置及常压气相沉积机的制作方法

本技术涉及常压气相沉积，特别涉及一种用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置及常压气相沉积机。

背景技术：

1、现有技术中，在半导体晶圆的生产过程中，常压化学气相沉积过程中会有大量的粉尘产生，机台尾气在排入厂务前需要经过废气处理系统，从而对粉尘进行处理，目前使用的废气处理系统由于运输及厂商产能的影响无法正常出货，无法满足新机台装机需求。

2、因此急需根据现场环境自行设计一种尾气粉尘收集装置来满足生产的需求。

技术实现思路

1、为了解决现有的技术问题，本实用新型提出了一种用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置及常压气相沉积机，本申请利用尾气中粉尘通过孔板在惯性及重力作用下，不断吸附在集尘箱内部的原理，设计一套独立的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，从而达到过滤粉尘的效果，该尾气粉尘收集装置不使用水电气，也无耗材需要更换，日常使用维护操作简单，不产生额外花销。

2、根据本实用新型的一个方面，提供一种用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其包括：集尘箱，所述集尘箱包括集尘箱上盖和集尘箱本体，所述集尘箱本体的一组相对侧面上设置有尾气粉尘入口和尾气粉尘出口；

3、孔板，所述孔板竖直设置于所述集尘箱内。

4、根据本实用新型的一个实施例，所述集尘箱上盖可拆卸地设置于所述集尘箱本体上。

5、根据本实用新型的一个实施例，所述集尘箱上盖的上表面上设置有提手。

6、根据本实用新型的一个实施例，所述集尘箱本体的底部安装有承重万向轮。

7、根据本实用新型的一个实施例，所述孔板的孔径为10-20mm，相邻两个孔的中心间隔距离为20-40mm。

8、根据本实用新型的一个实施例，所述集尘箱和孔板的材质为不锈钢。

9、根据本实用新型的一个实施例，所述孔板为多块，多块所述孔板彼此平行设置。

10、根据本实用新型的一个实施例，所述集尘箱上盖和所述集尘箱本体的连接处设置有锁固件。

11、根据本实用新型的一个实施例，所述尾气粉尘入口与机台尾气出口可拆卸地连接，尾气粉尘出口与厂务端尾气入口可拆卸地连接。

12、根据本实用新型的另一个方面，提出一种常压气相沉积机，其包括以上任一项所述的尾气粉尘收集装置。

13、由于采用以上技术方案，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：该尾气粉尘收集装置利用尾气中粉尘通过孔板在惯性及重力作用下，不断吸附在集尘箱内部的原理，达到过滤粉尘的效果，该尾气粉尘收集装置不使用水电气，也无耗材需要更换，日常使用维护操作简单，不产生额外花销。

技术特征：

1.一种用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述集尘箱上盖可拆卸地设置于所述集尘箱本体上。

3.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述集尘箱上盖的上表面上设置有提手。

4.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述集尘箱本体的底部安装有承重万向轮。

5.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述孔板的孔径为10-20mm，相邻两个孔的中心间隔距离为20-40mm。

6.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述集尘箱和孔板的材质为不锈钢。

7.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述孔板为多块，多块所述孔板彼此平行设置。

8.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述集尘箱上盖和所述集尘箱本体的连接处设置有锁固件。

9.根据权利要求1所述的用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其特征在于，所述尾气粉尘入口与机台尾气出口可拆卸地连接，尾气粉尘出口与厂务端尾气入口可拆卸地连接。

10.一种常压气相沉积机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的尾气粉尘收集装置。

技术总结本技术公开了一种用于常压气相沉积机的尾气粉尘收集装置，其包括集尘箱，所述集尘箱包括集尘箱上盖和集尘箱本体，所述集尘箱本体的一组相对侧面上设置有尾气粉尘入口和尾气粉尘出口；孔板，所述孔板竖直设置于所述尾气粉尘收集箱内。本技术利用尾气中粉尘通过孔板在惯性及重力作用下，不断吸附在集尘箱内部的原理，达到过滤粉尘的效果，该尾气粉尘收集装置不使用水电气，也无耗材需要更换，日常使用维护操作简单，不产生额外花销，从而带来更高的经济效益。技术研发人员：万照云,吕东生受保护的技术使用者：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司技术研发日：20230822技术公布日：2024/7/23