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薄膜电镀装置的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-27 11:45:37

本技术涉及薄膜电镀,特别是一种薄膜电镀装置。

背景技术:

1、在新能源复合集流体(薄膜集流体)生产制备过程中,电镀设备是将铜层镀于薄膜表面不可或缺的设备。其现有的制备工序如下:第一步,在厚度为4μm-12μm的薄膜表面用pvd的方法溅射50nm-100nm厚度的铜层,在此过程中,薄膜的两边必须留边以防止水冷辊被镀铜;第二步,溅射后的薄膜通过分切机切除留边;第三步,分切后的薄膜的两侧在电镀夹的加持下通过电镀设备并进行镀铜增厚,增厚厚度为900nm-8000nm;第四步,再通过分切机切除被电镀夹夹持的部分,形成薄膜集流体。

2、可见,现有的薄膜集流体在整个生产加工过程中,先后需要通过两道切边工序,存在费时费力,且每次切边时会造成物料的浪费并影响薄膜的平整度及成品的表面质量;另外,薄膜集流体的分切机需要再要求极高的净化车间运行,分切成本高昂。

3、有鉴于此,有必要开发一种薄膜电镀装置,以克服上述缺陷。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本实用新型的目的在于揭示一种薄膜电镀装置,通过在电镀组件的入口及出口分别设置第一切边刀和第二切边刀,实现电镀和两次切边在同一条流水线完成。

2、为实现上述发明目的,本实用新型提供了一种薄膜电镀装置,薄膜电镀装置,包括放卷组件、第一切边组件、电镀组件、第二切边组件及收卷组件;

3、所述第一切边组件设置于所述放卷组件和所述电镀组件之间,所述第一切边组件包括第一切边刀及第一切边收卷辊;

4、所述第二切边组件设置于所述电镀组件和所述收卷组件之间,所述第二切边组件包括第二切边刀及第二切边收卷辊。

5、优选地,所述第一切边刀具有切割部。

6、优选地,所述放卷组件安装于第一支架,所述第一支架设置第一刀架,所述第一刀架设置第一横轴及第一刀柄,所述第一刀柄通过螺丝固定于所述第一横轴,所述第一刀柄的端部设置第一切边刀。

7、优选地,所述第一横轴设置第一水平槽体,所述第一刀柄固定于所述第一水平槽体的不同位置。

8、优选地,所述第二切边刀为圆刀。

9、优选地,所述收卷组件安装于第二支架,所述第二支架设置第二刀架,所述第二刀架设置第二横轴及第二刀柄,所述第二刀柄通过螺丝固定于所述第二横轴,所述第二刀柄的端部设置第二切边刀。

10、优选地,所述第二横轴设置第二水平槽体,所述第二刀柄固定于所述第二水平槽体的不同位置。

11、优选地,所述第一切边刀下方设置第一刀槽辊,所述第一切边收卷辊设置于所述第一刀槽辊的斜下方。

12、优选地,所述第二切边刀下方设置第二刀槽辊,所述第二切边收卷辊设置于所述第二刀槽辊的斜下方。

13、优选地,在所述电镀组件的两侧分别设置若干导辊;

14、在所述电镀组件的入口两侧分别设置红外线定位对准仪。

15、与现有技术相比,本实用新型技术效果如下:

16、溅射形成的薄膜经本实用新型的薄膜电镀装置后,先后经过放卷组件、第一切边组件、电镀组件、第二切边组件及收卷组件,实现两道切边和电镀在同一条流水线完成,设备集成度高,生产效率提升。

技术特征:

1.薄膜电镀装置,其特征在于,包括放卷组件、第一切边组件、电镀组件、第二切边组件及收卷组件;

2.如权利要求1所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述第一切边刀具有切割部。

3.如权利要求2所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述放卷组件安装于第一支架,所述第一支架设置第一刀架,所述第一刀架设置第一横轴及第一刀柄,所述第一刀柄通过螺丝固定于所述第一横轴,所述第一刀柄的端部设置第一切边刀。

4.如权利要求3所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述第一横轴设置第一水平槽体,所述第一刀柄固定于所述第一水平槽体的不同位置。

5.如权利要求1-4任一所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述第二切边刀为圆刀。

6.如权利要求5所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述收卷组件安装于第二支架,所述第二支架设置第二刀架,所述第二刀架设置第二横轴及第二刀柄,所述第二刀柄通过螺丝固定于所述第二横轴,所述第二刀柄的端部设置第二切边刀。

7.如权利要求6所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述第二横轴设置第二水平槽体,所述第二刀柄固定于所述第二水平槽体的不同位置。

8.如权利要求1所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述第一切边刀下方设置第一刀槽辊,所述第一切边收卷辊设置于所述第一刀槽辊的斜下方。

9.如权利要求1所述的薄膜电镀装置,其特征在于,所述第二切边刀下方设置第二刀槽辊,所述第二切边收卷辊设置于所述第二刀槽辊的斜下方。

10.如权利要求1所述的薄膜电镀装置,其特征在于,在所述电镀组件的两侧分别设置若干导辊;

技术总结本技术的目的在于揭示一种薄膜电镀装置,涉及薄膜电镀技术领域,包括放卷组件、第一切边组件、电镀组件、第二切边组件及收卷组件;所述第一切边组件设置于所述放卷组件和所述电镀组件之间,所述第一切边组件包括第一切边刀及第一切边收卷辊;所述第二切边组件设置于所述电镀组件和所述收卷组件之间,所述第二切边组件包括第二切边刀及第二切边收卷辊,与现有技术相比,本技术技术效果如下:溅射形成的薄膜经本技术的薄膜电镀装置后,先后经过放卷组件、第一切边组件、电镀组件、第二切边组件及收卷组件,实现两道切边和电镀在同一条流水线完成,设备集成度高,生产效率提升。技术研发人员:李华清,冯岩受保护的技术使用者:江苏瀚叶铜铝箔新材料研究院有限公司技术研发日:20230918技术公布日:2024/6/13

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