全自动特气混合供给装置的制作方法

本技术涉及混合供给装置，具体涉及一种全自动特气混合供给装置。

背景技术：

1、特气即特种气体，包括单一气体或混合气体。特种气体种类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等。

2、在半导体生产工艺生长过程中，通过h2作为承载气体从鼓泡器中将sihcl3传输到外部设备中，为工艺生长提供工艺气体。

3、现有的混气供给装置需要由两个及以上的置放柜才可以形成一套完整供给装置，供给系统较为复杂且占地面积大，且由于补液管道过长而存在延时性问题；从经济性、便捷性、安全性方面来说，也具有一定影响，并且随着国家安全法律法规的不断健全，人们的安全意思不断提高，对于混气柜的安全性和稳定性也有了更高需求。

技术实现思路

1、针对上述不足，本实用新型的目的在于，提供一种结构设计合理，占用空间小，安全性高的全自动特气混合供给装置。

2、为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：

3、一种全自动特气混合供给装置，其包括柜体、原液瓶、供给瓶、原瓶称重装置、供瓶称重装置、气体压力检测装置、氢气检测装置、电控系统、控制阀、供气管道、供液管道和输出管道，所述原瓶称重装置和供瓶称重装置设置在所述柜体的底部，所述原液瓶和供给瓶对应设置在所述原瓶称重装置、供瓶称重装置上，所述供气管道与所述原液瓶相连接，所述原液瓶通过供液管道与所述供给瓶相连接，所述输出管道与所述供给瓶相连接，所述控制阀和气体压力检测装置设置在所述供气管道和输出管道上，所述氢气检测装置设置在所述柜体内，所述电控系统分别与所述原瓶称重装置、供瓶称重装置、气体压力检测装置和氢气检测装置相连接。

4、作为本实用新型的一种优选方案，所述供气管道包括氢气供给管路、氩气供给管路、氮气吹扫管道和外延设备供气管路。可以实现多种气体的供给，满足设备的使用及维护需求，提高了装置的灵活性和适用性。

5、作为本实用新型的一种优选方案，所述控制阀包括单向阀、隔膜阀和减压阀。通过设置单向阀、隔膜阀和减压阀，可以更精细地控制气体的流量和压力，确保气体供给的稳定性和安全性。

6、作为本实用新型的一种优选方案，所述氢气供给管路和氩气供给管路上均设有过滤器。过滤器可以有效去除气体中的杂质和颗粒物，保护设备和工艺不受污染，延长设备使用寿命。

7、作为本实用新型的一种优选方案，其还包括与所述供气管道和输出管道相连通的清扫管道。清扫管道的设置可以方便地对供气管道和输出管道进行清洁和维护。

8、作为本实用新型的一种优选方案，所述柜体内设有用于将所述原液瓶和供给瓶进行限位固定的定位卡槽。所述定位卡槽的槽壁上设有eva防震泡沫棉。可以有效固定原液瓶和供给瓶，减少运输或使用过程中的震动和碰撞，保护液体充填物料和设备安全。

9、作为本实用新型的一种优选方案，所述柜体的顶部倾斜设有控制箱，所述控制箱的正面朝向前下方，所述电控系统的控制面板安装在所述控制箱的正面。将控制箱倾斜设置，使得控制面板方便操作人员观察和操作，提高了操作的便利性和舒适性。

10、本实用新型的有益效果为：本实用新型结构设计合理，充分利用了柜体内部空间，将原液瓶和供给瓶集成在同一个柜体内，节约了管道的铺设成本，有效解决传统因补液管道长存在延时性的问题，通过增加原瓶称重装置、供瓶称重装置与氢气检测装置，结合电控系统的控制，可实现供给混合气体、补充目标重量液体和检测是否存在氢气泄漏的功能，操作简单、方便，而且整体结构紧凑，占用空间少，工作安全性高，稳定性好。

11、下面结合附图与实施例，对本实用新型进一步说明。

技术特征：

1.一种全自动特气混合供给装置，其包括柜体，其特征在于：其还包括原液瓶、供给瓶、原瓶称重装置、供瓶称重装置、气体压力检测装置、氢气检测装置、电控系统、控制阀、供气管道、供液管道和输出管道，所述原瓶称重装置和供瓶称重装置设置在所述柜体的底部，所述原液瓶和供给瓶对应设置在所述原瓶称重装置、供瓶称重装置上，所述供气管道与所述原液瓶相连接，所述原液瓶通过供液管道与所述供给瓶相连接，所述输出管道与所述供给瓶相连接，所述控制阀和气体压力检测装置设置在所述供气管道和输出管道上，所述氢气检测装置设置在所述柜体内，所述电控系统分别与所述原瓶称重装置、供瓶称重装置、气体压力检测装置和氢气检测装置相连接。

2.根据权利要求1所述的全自动特气混合供给装置，其特征在于：所述供气管道包括氢气供给管路、氩气供给管路、氮气吹扫管道和外延设备供气管路。

3.根据权利要求2所述的全自动特气混合供给装置，其特征在于：所述控制阀包括单向阀、隔膜阀和减压阀。

4.根据权利要求2所述的全自动特气混合供给装置，其特征在于：所述氢气供给管路和氩气供给管路上均设有过滤器。

5.根据权利要求2所述的全自动特气混合供给装置，其特征在于：其还包括与所述供气管道和输出管道相连通的清扫管道。

6.根据权利要求1所述的全自动特气混合供给装置，其特征在于：所述柜体内设有用于将所述原液瓶和供给瓶进行限位固定的定位卡槽。

7.根据权利要求6所述的全自动特气混合供给装置，其特征在于：所述定位卡槽的槽壁上设有eva防震泡沫棉。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的全自动特气混合供给装置，其特征在于：所述柜体的顶部倾斜设有控制箱，所述控制箱的正面朝向前下方，所述电控系统的控制面板安装在所述控制箱的正面。

技术总结本技术公开了一种全自动特气混合供给装置，其包括柜体、原液瓶、供给瓶、原瓶称重装置、供瓶称重装置、气体压力检测装置、氢气检测装置、电控系统、控制阀、供气管道、供液管道和输出管道；本技术结构设计巧妙，合理将原液瓶和供给瓶集成在同一个柜体内，节约了管道的铺设成本，有效解决传统补液存在延时性的问题，通过增加原瓶称重装置、供瓶称重装置与氢气检测装置，结合电控系统的控制，自动化程度高，可实现自动供给混合气体、补充目标重量液体和检测是否存在氢气泄漏的目的，并且根据不同的报警信息做出相对应的机台动作处理，减少了人工成本，并提高设备运行的稳定性和安全性，而且整体结构紧凑，占用空间少，利于广泛推广。技术研发人员：刘志伟,谢林杰,林逸,陈蛟受保护的技术使用者：广州粤升半导体设备有限公司技术研发日：20231128技术公布日：2024/7/11