晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置的制作方法

本技术涉及检测，更具体地说，本实用涉及晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置。

背景技术：

1、随着半导体技术不断发展，对晶圆载具的要求也更高，如更高的洁净度、满足自动化需求，需要经过严格的认证等等。晶圆载具是用来在加工制程中以及工厂之间晶圆的存储、传送、运输以及防护。晶圆载具种类很多，且各有应用，如前开式晶圆传送盒可用于制造工厂内半导体制程中，前开式晶圆运输盒可用于制造工厂之间的运输，晶片花篮可用于晶片的清洗等。晶圆载具需要具有高洁净度、良好的耐磨性、抗静电、低释气、尺寸稳定性、可回收再利用等特点，因此晶圆载具的使用需至少进行光洁度及耐磨性的检测，光洁度的检测会使用到粗糙度仪，硬度值是检验耐磨性的主要指标，耐磨性的检测书会使用到硬度检测仪。

2、目前，晶圆载具在进行光洁度及耐磨性的检测时，光洁度与耐磨性的检测人工参与性高，半自动化程度抵，因光洁度和耐磨性的检测作业未实现有效的协同配合，这样会降低晶圆载具质量标准的检测效率。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，本实用新型所要解决的技术问题是：光洁度与耐磨性的检测人工参与性高，半自动化程度抵，因光洁度和耐磨性的检测作业未实现有效的协同配合，这样会降低晶圆载具质量标准的检测效率的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，包括加工机台，所述加工机台上设置有由电机驱动旋转的检测料台，且检测料台上设置有若干个用于置放晶圆载具的检测槽，置放于检测槽内的晶圆载具高度超出设置，所述加工机台上还设置有悬臂，所述悬臂的一端延伸至所述加工机台的正上方位置，所述悬臂和所述检测料台上设置有往复升降模块，所述往复升降模块上设置有t形吊架，所述t形吊架三端的底部分别固定吊设有表面粗糙度仪、硬度检测仪和电磁铁吸附板，若干个检测槽呈环形阵列设置，所述表面粗糙度仪、硬度检测仪和电磁铁吸附板分别对应在若干个检测槽的环形路径上。

3、在一个优选的实施方式中，还包括一对标记结构，一对标记结构分别对应在所述表面粗糙度仪和硬度检测仪的一侧，所述标记结构包括固定连接在所述加工机台上的固定座、固定连接在所述固定座上的漆面喷头和固定连接在所述漆面喷头一端的料管，所述漆面喷头用于向置放于检测槽内的晶圆载具喷漆标志。

4、在一个优选的实施方式中，所述往复升降模块包括固定连接在所述检测料台中端的往复丝杆和螺纹连接在所述往复丝杆上的升降矩形柱，所述升降矩形柱活动贯穿在所述悬臂的端部位置。

5、在一个优选的实施方式中，所述升降矩形柱的侧面开设有导向槽，所述悬臂上开设有用于所述升降矩形柱和导向槽竖向滑动的滑槽。

6、在一个优选的实施方式中，相邻两个检测槽的间距为一个工位，当检测槽向下一个检测槽移动一个工位时，所述表面粗糙度仪、硬度检测仪和电磁铁吸附板均升降动作一次，且与竖向对应的晶圆载具相接触。

7、在一个优选的实施方式中，所述t形吊架上设置有与所述电磁铁吸附板输入端电性连接的位置传感器。

8、本实用新型的技术效果和优点：

9、1、本实用新型通过设置可转动的检测料台，往复升降模块配合在检测料台上可随同旋转动作实现升降动作，这样基于在往复升降模块上的表面粗糙度仪和硬度检测仪可适应性升降来接触配合晶圆载具实现接触式的光洁度和硬度检测，故以带动若干晶圆载具旋转进行光洁度和耐磨性的检测为目的，这样可满足半自动化的检测效率，同时还提升了检测效率。

10、2、本实用新型通过在往复升降模块上设置电磁铁吸附板和位置传感器，通电的电磁铁吸附板可随同往复升降模块的升降动作可吸附取出检测槽内的晶圆载具，这样可为晶圆载具的下料提供取出的便捷；此外，位置传感器可用于识别电磁铁吸附板的位置状态，从而可适应性控制电磁铁吸附板的通断电状态，以为取下晶圆载具提供便捷。

11、3、本实用新型通过设置一对标记结构，其分别对应在表面粗糙度仪和硬度检测仪的一侧进行设置，标记结构以喷出漆材料作用于晶圆载具上，这样可为表面粗糙度仪和硬度检测仪的检测结构提供标记，从而方便分别分辨晶圆载具产品的合格线。

技术特征：

1.晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，包括加工机台(1)，其特征在于：所述加工机台(1)上设置有由电机驱动旋转的检测料台(2)，且检测料台(2)上设置有若干个用于置放晶圆载具的检测槽(21)，置放于检测槽(21)内的晶圆载具高度超出设置，所述加工机台(1)上还设置有悬臂(3)，所述悬臂(3)的一端延伸至所述加工机台(1)的正上方位置，所述悬臂(3)和所述检测料台(2)上设置有往复升降模块(4)，所述往复升降模块(4)上设置有t形吊架(5)，所述t形吊架(5)三端的底部分别固定吊设有表面粗糙度仪(6)、硬度检测仪(7)和电磁铁吸附板(8)，若干个检测槽(21)呈环形阵列设置，所述表面粗糙度仪(6)、硬度检测仪(7)和电磁铁吸附板(8)分别对应在若干个检测槽(21)的环形路径上。

2.根据权利要求1所述的晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，其特征在于：还包括一对标记结构(9)，一对标记结构(9)分别对应在所述表面粗糙度仪(6)和硬度检测仪(7)的一侧，所述标记结构(9)包括固定连接在所述加工机台(1)上的固定座(91)、固定连接在所述固定座(91)上的漆面喷头(92)和固定连接在所述漆面喷头(92)一端的料管(93)，所述漆面喷头(92)用于向置放于检测槽(21)内的晶圆载具喷漆标志。

3.根据权利要求1所述的晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，其特征在于：所述往复升降模块(4)包括固定连接在所述检测料台(2)中端的往复丝杆(41)和螺纹连接在所述往复丝杆(41)上的升降矩形柱(42)，所述升降矩形柱(42)活动贯穿在所述悬臂(3)的端部位置。

4.根据权利要求3所述的晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，其特征在于：所述升降矩形柱(42)的侧面开设有导向槽(10)，所述悬臂(3)上开设有用于所述升降矩形柱(42)和导向槽(10)竖向滑动的滑槽。

5.根据权利要求1所述的晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，其特征在于：相邻两个检测槽(21)的间距为一个工位，当检测槽(21)向下一个检测槽(21)移动一个工位时，所述表面粗糙度仪(6)、硬度检测仪(7)和电磁铁吸附板(8)均升降动作一次，且与竖向对应的晶圆载具相接触。

6.根据权利要求1所述的晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，其特征在于：所述t形吊架(5)上设置有与所述电磁铁吸附板(8)输入端电性连接的位置传感器(11)。

技术总结本技术公开了晶圆载具表面光洁度及耐磨性检测装置，涉及检测技术领域，包括加工机台，加工机台上设置有由电机驱动旋转的检测料台，且检测料台上设置有若干个用于置放晶圆载具的检测槽，置放于检测槽内的晶圆载具高度超出设置，加工机台上还设置有悬臂，悬臂的一端延伸至加工机台的正上方位置，悬臂和检测料台上设置有往复升降模块，往复升降模块上设置有T形吊架，T形吊架三端的底部分别固定吊设有表面粗糙度仪、硬度检测仪和电磁铁吸附板。本技术以带动若干晶圆载具旋转进行光洁度和耐磨性的检测为目的，这样可满足半自动化的检测效率，同时为检测后的晶圆载具提供了取料的便捷以及产品质量标记的加工，较为实用。技术研发人员：刘丽芸,徐正林受保护的技术使用者：昆山市广源行金属工业有限公司技术研发日：20231114技术公布日：2024/7/25