全自动测厚下蜡一体机的制作方法

本技术主要涉及晶圆处理，具体涉及全自动测厚下蜡一体机。

背景技术：

1、研磨工序的下蜡方式是靠人员手动将带有晶圆片的陶瓷盘从货架搬运放置到加热平台上，加热后人员将晶圆片下蜡，之后再手动把陶瓷盘放置到一个平台上自然冷却，冷却后对陶瓷盘进行擦拭；

2、目前在晶圆下蜡、量测、卡塞收集一系列的作业都是由人工完成，人工作业费时费力、效率低并且容易出错，增加企业生产成本，并且清理、测量以及下蜡难以同时进行，有较大的时间差，对此我们提出了全自动测厚下蜡一体机。

技术实现思路

1、本实用新型主要提供了全自动测厚下蜡一体机用以解决上述背景技术中提出的技术问题。

2、本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：全自动测厚下蜡一体机，包括底座，所述底座顶部一侧连接清洗装置，所述底座顶部另一侧连接加热装置，所述底座顶端中部连接日内瓦传输装置，所述底座一侧安装有测量装置，所述底座另一侧安装有搬运装置，所述搬运装置两侧安装有多个卡塞机构；

3、所述日内瓦传输装置包括连接于所述底座内部的第一转动电机，连接于所述第一转动电机驱动端的第一齿轮，啮合连接于所述第一齿轮的第二齿轮和连接于所述第二齿轮顶部的传输板。

4、进一步的，所述传输板顶部固定有多个定位柱。

5、进一步的，所述搬运装置包括位于所述底座一侧的搬运底座，连接于所述搬运底座顶部的第二转动电机，转动连接于所述第二转动电机顶部的第一臂杆和连接于所述第一臂杆底部一侧的第三转动电机，所述第一臂杆顶部转动连接第二臂杆，所述第二臂杆底部连接第四转动电机，所述第二臂杆顶部转动连接第三臂杆，所述第三臂杆底部连接第五转动电机，所述第三臂杆一侧连接气泵，所述第三臂杆顶部连接吸盘。

6、进一步的，所述卡塞机构包括位于所述搬运底座两侧的多个机架，连接于所述机架底部的气压缸和连接于所述气压缸顶部的放置板，所述放置板两侧固定有多个固定板，所述固定板顶部连接陶瓷盘。

7、进一步的，所述清洗装置包括连接于所述底座顶部一侧的水箱，连接于所述底座顶部一侧的第一驱动电机，连接于所述第一驱动电机驱动端的第一丝杆和穿射连接于所述第一丝杆的第一丝母，所述第一丝母底部连接喷水板。

8、进一步的，所述测量装置包括位于所述底座一侧的测量底座，连接于所述测量底座顶部的第二驱动电机，连接于所述第二驱动电机驱动端的第二丝杆和穿射连接于所述第二丝杆的第二丝母，所述第二丝母一侧连接激光传感器。

9、进一步的，所述加热装置包括连接于所述底座顶部一侧的电动伸缩杆，连接于所述电动伸缩杆底部的加热桶和连接于所述加热桶内部上表面的导热柱。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

11、其一，本实用新型通过第一转动电机带动第一齿轮转动，从而带动第二齿轮以及传输板转动，由于传输板能够放置多个陶瓷盘，可以同时对晶圆进行清洗、测量、下蜡以及夹取放置，实现高效，无损一体化流水作业，避免了大量人力的消耗，提高了工作效率，并且出错率较低，减少了企业生产成本，并且每个步骤同时进行，避免了大量时间的浪费；

12、其二，本实用新型通过日内瓦传输装置使陶瓷盘依次经过清洗装置、测量装置和加热装置，实现了一体化流水作业，减少人力消耗。

13、以下将结合附图与具体的实施例对本实用新型进行详细的解释说明。

技术特征：

1.全自动测厚下蜡一体机，包括底座(10)，其特征在于：所述底座(10)顶部一侧连接清洗装置(40)，所述底座(10)顶部另一侧连接加热装置(60)，所述底座(10)顶端中部连接日内瓦传输装置(70)，所述底座(10)一侧安装有测量装置(50)，所述底座(10)另一侧安装有搬运装置(20)，所述搬运装置(20)两侧安装有多个卡塞机构(80)；

2.根据权利要求1所述的全自动测厚下蜡一体机，其特征在于：所述传输板(74)顶部固定有多个定位柱(741)。

3.根据权利要求1所述的全自动测厚下蜡一体机，其特征在于：所述搬运装置(20)包括位于所述底座(10)一侧的搬运底座(21)，连接于所述搬运底座(21)顶部的第二转动电机(22)，转动连接于所述第二转动电机(22)顶部的第一臂杆(24)和连接于所述第一臂杆(24)底部一侧的第三转动电机(23)，所述第一臂杆(24)顶部转动连接第二臂杆(26)，所述第二臂杆(26)底部连接第四转动电机(25)，所述第二臂杆(26)顶部转动连接第三臂杆(28)，所述第三臂杆(28)底部连接第五转动电机(27)，所述第三臂杆(28)一侧连接气泵(29)，所述第三臂杆(28)顶部连接吸盘(281)。

4.根据权利要求3所述的全自动测厚下蜡一体机，其特征在于：所述卡塞机构(80)包括位于所述搬运底座(21)两侧的多个机架(81)，连接于所述机架(81)底部的气压缸(82)和连接于所述气压缸(82)顶部的放置板(83)，所述放置板(83)两侧固定有多个固定板(831)，所述固定板(831)顶部连接陶瓷盘(30)。

5.根据权利要求1所述的全自动测厚下蜡一体机，其特征在于：所述清洗装置(40)包括连接于所述底座(10)顶部一侧的水箱(41)，连接于所述底座(10)顶部一侧的第一驱动电机(42)，连接于所述第一驱动电机(42)驱动端的第一丝杆(43)和穿射连接于所述第一丝杆(43)的第一丝母(44)，所述第一丝母(44)底部连接喷水板(45)。

6.根据权利要求1所述的全自动测厚下蜡一体机，其特征在于：所述测量装置(50)包括位于所述底座(10)一侧的测量底座(51)，连接于所述测量底座(51)顶部的第二驱动电机(52)，连接于所述第二驱动电机(52)驱动端的第二丝杆(53)和穿射连接于所述第二丝杆(53)的第二丝母(54)，所述第二丝母(54)一侧连接激光传感器(55)。

7.根据权利要求1所述的全自动测厚下蜡一体机，其特征在于：所述加热装置(60)包括连接于所述底座(10)顶部一侧的电动伸缩杆(61)，连接于所述电动伸缩杆(61)底部的加热桶(62)和连接于所述加热桶(62)内部上表面的导热柱(63)。

技术总结本技术提供了全自动测厚下蜡一体机，包括底座，所述底座连接清洗装置，所述底座连接加热装置，所述底座顶端中部连接日内瓦传输装置，所述底座一侧安装有测量装置，所述底座另一侧安装有搬运装置，所述搬运装置两侧安装有卡塞机构；所述日内瓦传输装置包括第一转动电机、第一齿轮、第二齿轮和传输板。本技术通过第一转动电机带动第一齿轮转动，从而使第二齿轮和传输板转动，由于传输板能够放置多个陶瓷盘，可以同时对晶圆进行清洗、测量、下蜡以及夹取放置，实现高效，无损一体化流水作业，避免了大量人力的消耗，提高了工作效率；还通过日内瓦传输装置使陶瓷盘依次经过清洗装置、测量装置和加热装置，实现了一体化流水作业。技术研发人员：王婷婷,赵庆云受保护的技术使用者：芜湖福锐合科技有限公司技术研发日：20231030技术公布日：2024/7/29