测试方法、测试机台及存储介质与流程

本公开涉及半导体，尤其涉及一种测试方法、测试机台及存储介质。

背景技术：

1、目前，灵敏放大电路通过偏移消除晶体管和隔离晶体管，能够在偏移补偿阶段进行失调电压的补偿，以提高存储器工作的可靠性。但是，当通过读写数据的方式测试偏移消除晶体管和隔离晶体管是否正常时，测试结果受读写过程引入的噪声干扰而发生变化，导致灵敏放大电路测试的可靠性差。

技术实现思路

1、以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。

2、本公开提供一种测试方法、测试机台及存储介质。

3、根据本公开实施例的第一方面，提供一种测试方法，所述测试方法包括：

4、将灵敏放大电路中的位线、互补位线、放大位线和互补放大位线设置为第一连接状态；

5、检测由所述灵敏放大电路的供电端流向公共端的第一电流；

6、根据所述第一电流，确定所述灵敏放大电路中的偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常；

7、其中，所述偏移消除晶体管用于使所述位线与所述互补放大位线导通和断开以及使所述互补位线与所述放大位线导通和断开，所述隔离晶体管用于使所述位线与所述放大位线导通和断开以及使所述互补位线与所述互补放大位线导通和断开。

8、根据本公开的一些实施例，所述将灵敏放大电路中的位线、互补位线、放大位线和互补放大位线设置为第一连接状态，包括：

9、将所述位线与所述放大位线导通；

10、将所述互补位线与所述互补放大位线导通；

11、对所述灵敏放大电路进行供电；

12、将所述位线与所述互补放大位线导通；

13、将所述互补位线与所述放大位线导通。

14、根据本公开的一些实施例，所述根据所述第一电流，确定所述灵敏放大电路中的偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常，包括：

15、当所述第一电流大于第一预设电流时，确定所述偏移消除晶体管和所述隔离晶体管均正常；

16、当所述第一电流小于或等于所述第一预设电流时，确定所述偏移消除晶体管或所述隔离晶体管异常。

17、根据本公开的一些实施例，在所述确定所述偏移消除晶体管或所述隔离晶体管异常之后，所述测试方法还包括：

18、将所述位线、所述互补位线、所述放大位线和所述互补放大位线设置为第二连接状态；

19、检测由所述灵敏放大电路的预充电端流向所述公共端的第二电流；

20、根据所述第二电流，确定所述偏移消除晶体管是否正常。

21、根据本公开的一些实施例，所述灵敏放大电路还包括：

22、第一预充电晶体管，所述第一预充电晶体管连接于所述放大位线和预充电电源之间；

23、第二预充电晶体管，所述第二预充电晶体管的第一端与所述预充电电源连接；

24、选通晶体管，所述选通晶体管连接于所述第二预充电晶体管的第二端与所述互补放大位线之间；

25、其中，所述第一预充电晶体管和所述第二预充电晶体管的控制端均接收预充电控制信号。

26、根据本公开的一些实施例，在所述第一连接状态下，所述灵敏放大电路的供电端与第一电源连接，所述灵敏放大电路的公共端与第二电源连接；所述将所述位线、所述互补位线、所述放大位线和所述互补放大位线设置为第二连接状态，包括：

27、将所述预充电电源与所述互补放大位线导通；

28、将所述预充电电源与所述放大位线导通；

29、将所述第一电源与所述灵敏放大电路断开；

30、将所述位线与所述放大位线断开；

31、将所述互补位线与所述互补放大位线断开。

32、根据本公开的一些实施例，所述根据所述第二电流，确定所述偏移消除晶体管是否正常，包括：

33、当所述第二电流大于第二预设电流时，确定所述偏移消除晶体管正常；

34、当所述第二电流小于或等于所述第二预设电流时，确定所述偏移消除晶体管异常。

35、根据本公开的一些实施例，在所述检测由所述灵敏放大电路的预充电端流向所述公共端的第二电流之后，所述测试方法还包括：

36、根据所述第二电流，确定所述隔离晶体管是否正常。

37、本公开的第二方面提供一种测试机台，所述测试机台包括：

38、处理器；

39、用于存储处理器可执行指令的存储器；

40、其中，所述处理器被配置为执行：

41、将灵敏放大电路中的位线、互补位线、放大位线和互补放大位线设置为第一连接状态；

42、检测由所述灵敏放大电路的供电端流向公共端的第一电流；

43、根据所述第一电流，确定所述灵敏放大电路中的偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常；

44、其中，所述偏移消除晶体管用于使所述位线与所述互补放大位线导通和断开以及使所述互补位线与所述放大位线导通和断开，所述隔离晶体管用于使所述位线与所述放大位线导通和断开以及使所述互补位线与所述互补放大位线导通和断开。

45、根据本公开实施例的第三方面，提供一种非临时性计算机可读存储介质，当所述存储介质中的指令由测试机台的处理器执行时，使得测试机台能够执行：

46、将灵敏放大电路中的位线、互补位线、放大位线和互补放大位线设置为第一连接状态；

47、检测由所述灵敏放大电路的供电端流向公共端的第一电流；

48、根据所述第一电流，确定所述灵敏放大电路中的偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常；

49、其中，所述偏移消除晶体管用于使所述位线与所述互补放大位线导通和断开以及使所述互补位线与所述放大位线导通和断开，所述隔离晶体管用于使所述位线与所述放大位线导通和断开以及使所述互补位线与所述互补放大位线导通和断开。

50、本公开实施例所提供的测试方法、测试机台及存储介质中，偏移消除晶体管用于使位线与互补放大位线导通和断开以及使互补位线与放大位线导通和断开，隔离晶体管用于使位线与放大位线导通和断开以及使互补位线与互补放大位线导通和断开，将灵敏放大电路中的位线、互补位线、放大位线和互补放大位线设置为第一连接状态以对偏移消除晶体管和隔离晶体管进行测试。在第一连接状态下，检测由灵敏放大电路的供电端流向公共端的第一电流。根据第一电流，能够判断出灵敏放大电路中供电端和公共端之间是否存在断路，确定灵敏放大电路中的偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常。通过以检测第一电流的方式确定偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常，测试结果不受噪声的干扰而发生变化，从而提高了灵敏放大电路测试的可靠性。

51、在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。

技术特征：

1.一种测试方法，其特征在于，所述测试方法包括：

2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述将灵敏放大电路中的位线、互补位线、放大位线和互补放大位线设置为第一连接状态，包括：

3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述根据所述第一电流，确定所述灵敏放大电路中的偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常，包括：

4.根据权利要求3所述的测试方法，其特征在于，在所述确定所述偏移消除晶体管或所述隔离晶体管异常之后，所述测试方法还包括：

5.根据权利要求4所述的测试方法，其特征在于，所述灵敏放大电路还包括：

6.根据权利要求5所述的测试方法，其特征在于，在所述第一连接状态下，所述灵敏放大电路的供电端与第一电源连接，所述灵敏放大电路的公共端与第二电源连接；所述将所述位线、所述互补位线、所述放大位线和所述互补放大位线设置为第二连接状态，包括：

7.根据权利要求4至6任一项所述的测试方法，其特征在于，所述根据所述第二电流，确定所述偏移消除晶体管是否正常，包括：

8.根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于，在所述检测由所述灵敏放大电路的预充电端流向所述公共端的第二电流之后，所述测试方法还包括：

9.一种测试机台，其特征在于，所述测试机台包括：

10.一种非临时性计算机可读存储介质，其特征在于，当所述存储介质中的指令由测试机台的处理器执行时，使得测试机台能够执行：

技术总结本公开提供一种测试方法、测试机台及存储介质。测试方法包括：将灵敏放大电路中的位线、互补位线、放大位线和互补放大位线设置为第一连接状态；检测由灵敏放大电路的供电端流向公共端的第一电流；根据第一电流，确定灵敏放大电路中的偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常；其中，偏移消除晶体管用于使位线与互补放大位线导通和断开以及使互补位线与放大位线导通和断开，隔离晶体管用于使位线与放大位线导通和断开以及使互补位线与互补放大位线导通和断开。在本公开中，通过以检测第一电流的方式确定偏移消除晶体管和隔离晶体管是否均正常，测试结果不受噪声的干扰而发生变化，从而提高了灵敏放大电路测试的可靠性。技术研发人员：杨杰受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/15