一种转轮式切筋系统的制作方法

本发明属于专门适用于处理或制造半导体器件的设备，尤其涉及一种转轮式切筋系统。

背景技术：

1、半导体芯片通常是以金属框架为载体，通过粘芯、键合或焊接及封装形成，芯片在框架上制造完成之后，需要采用切筋装置将芯片从金属框架上分离，从而形成单颗的半导体芯片。现有的切筋装置通常采用步进的方式将框架逐段送入切筋模具，从而进行步进式切筋，此类装置单次仅能切下框架上少量的芯片，一块完整的框架需要多次步进切筋才能将芯片全部切下，切筋效率较低；如果为了提高切筋效率，将切筋模具设计为适配框架整体长度的结构，那么推送框架的机构则需要相应地延长，虽然能通过一次推送便可将框架全部送入切筋模具，并利用切筋模具同时将框架上所有的芯片切下，但是此种设计却会增大装置的整体尺寸。

技术实现思路

1、为解决现有技术不足，本发明提供一种转轮式切筋系统，可对整片框架进行同步切筋，同时分离框架上所有的芯片，具有较高的切筋效率，并且系统整体结构紧凑。

2、为了实现本发明的目的，拟采用以下方案：

3、一种转轮式切筋系统，包括：沿同一水平方向依次设置的切筋模具、转移机构及送料机构。

4、切筋模具包括水平设置的下模板，其上方设有上模板，上模板与下模板远离转移机构的一侧通过一转轴转动连接；上模板垂直穿设有顶杆，其下端设有上刀体组件，上刀体组件位于上模板的下方，下模板设有下刀板，其长度方向与转轴的轴线方向一致，且上刀体组件的刀头与下刀板覆盖框架的整体长度，上刀体组件包括与下刀板匹配的刀头。

5、切筋模具的一侧设有驱动系统，驱动系统的执行元件与顶杆的上端铰接，执行元件通过顶杆带动上模板相对于下模板上下摆动，并用于驱动顶杆沿垂直于上模板的方向往复移动；当上模板向下摆动至与下模板平行时，上刀体组件的刀头与下刀板上预定的位置对齐，且刀头与下刀板顶面之间具有大于框架厚度的距离。

6、转移机构包括转移台，其两侧均设有拨杆，拨杆均垂直于转移台顶面，且拨杆沿切筋模具与送料机构的连线方向以及沿轴线方向移动设置。

7、送料机构包括推料件，其沿着送料机构与切筋模具的连线方向移动设置，推料件与转移台之间设有料匣，其内部用于堆放框架，料匣沿垂直于转移台顶面的方向移动设置，推料件用于将料匣顶部的框架推送至转移台的顶面。

8、本发明的有益效果在于：

9、1、本方案设置的下刀板及刀头整覆盖单片框架的整体，能同时对框架上的所有芯片进行切筋分离，具有更高的切筋效率。

10、2、本方案采用转轴转动连接上模板与下模板，并将转移机构及送料机构设置于上模板与下模板开合的一端，使框架沿着宽度方向进行送料，可有效缩短整片框架的送料距离，从而缩小系统的整体尺寸。

11、3、上模板与下模板通过转轴转动连接，上模板及下模板与转轴之间均形成转动副，这样使得上模板与下模板与转轴之间的配合面始终是位置相对固定的，便不会随时发生变化，因而在转动副之间填充的润滑脂更加容易存留，也更加容易形成润滑膜，对相互配合的零件起到更好的润滑保护作用，以降低磨损，使切筋模具的使用寿命更长。

12、4、采用转动方式连接上模板与下模板，还使得切筋模具的一侧呈现开合状态，不仅便于从侧面之间放置框架，而且使得切筋模具的内部结构更加容易展开，方便日常维护保养。

技术特征：

1.一种转轮式切筋系统，其特征在于，包括：沿同一水平方向依次设置的切筋模具、转移机构及送料机构；

2.根据权利要求1所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，转移台（21）与下模板（11）相邻部位的一侧设有推杆（4），其平行于转轴（121），推杆（4）沿长度方向移动设置，用于推出分离后的芯片。

3.根据权利要求1所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，驱动系统包括转轮（51），设于切筋模具一侧的上方，转轮（51）绕轴线往复摆动设置，转轮（51）的转动轴线与转轴（121）平行，转轮（51）与顶杆（13）之间通过拉杆（52）相连，拉杆（52）的上端转动连接于转轮（51）边沿，拉杆（52）的下端与顶杆（13）的上端转动相连，拉杆（52）两端转动连接结构的轴线均平行于转轴（121）；顶杆（13）的上端与上模板（12）的顶面之间设有支撑弹簧（15），当支撑弹簧（15）处于自然状态时，刀体组件（14）的顶部与上模板（12）的底面接触。

4.根据权利要求1或3所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，刀体组件（14）包括从上至下依次设置且相互平行的固定板（141）、安装板（142）及导向板（143），其中固定板（141）固设于顶杆（13）的下端，安装板（142）用于垂直穿设刀头，安装板（142）固设于固定板（141），刀体的上端与固定板（141）抵接，刀头的下端穿过导向板（143），导向板（143）与安装板（142）之间设有复位弹簧（144），当复位弹簧（144）处于自然状态时，刀体的下端位于导向板（143）内部。

5.根据权利要求4所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，导向板（143）两端的顶面垂直设有定位杆（145），定位杆（145）垂直穿过安装板（142）、固定板（141）以及上模板（12），定位杆（145）的顶端设有锁块（146），其位于上模板（12）的上方，复位弹簧（144）套设于定位杆（145）上。

6.根据权利要求1所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，转移台（21）朝向送料机构一端的顶面具有向上的凸起部（211），凸起部（211）的截面为圆弧形或锥形，凸起部（211）朝向送料机构一侧的下边沿低于料匣（32）顶部框架的金属板框底面；转移台（21）的顶面沿推料件（31）的移动轨迹开设有避让槽（212）。

7.根据权利要求1所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，转移台（21）开设有条形孔（213），其长度方向与框架的送料方向一致，条形孔（213）用于穿过拨杆（22），转移台（21）的底部设有滑动板（23），其长度方向与转轴（121）平行，滑动板（23）的两端均设有拨杆（22），滑动板（23）沿切筋模具与送料机构的连线方向以及沿拨杆（22）的轴线方向移动设置。

8.根据权利要求7所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，转移台（21）底部对应滑动板（23）长度方向的两侧均垂直地设有侧围板（214），两块侧围板（214）相对一侧的下部均设有与条形孔（213）平行的支撑板（215），侧围板（214）朝向切筋模具的一端对应支撑板（215）的上方均平行地设有支撑条（216），支撑条（216）朝向送料机构的一端均铰接有转动板（217），铰接轴线与转轴（121）平行，侧围板（214）对应转动板（217）的下方设有挡块（218），当转动板（217）支撑于挡块（218）时，转动板（217）的顶面与支撑条（216）的顶面齐平，且支撑条（216）及转动板（217）与转移台（21）底面之间的距离大于滑动板（23）的厚度，支撑条（216）及转动板（217）与支撑板（215）之间的距离大于滑动板（23）的厚度，支撑板（215）朝向送料结构的一端设有倾斜朝向转移台（21）上方的斜板（219），当转动板（217）支撑于挡块（218）时，转动板（217）延伸轨迹与斜板（219）相交的位置与转动板（217）端部之间的距离小于滑动板（23）的宽度；

9.根据权利要求8所述的一种转轮式切筋系统，其特征在于，导杆（242）上套设有缓冲弹簧（243），其位于推板（241）与滑动板（23）之间。

技术总结一种转轮式切筋系统，包括：沿同一水平方向依次设置的切筋模具、转移机构及送料机构。切筋模具包括水平设置的下模板，其上方设有上模板，上模板与下模板远离转移机构的一侧通过一转轴转动连接；上模板垂直穿设有顶杆，其下端设有上刀体组件，下模板设有下刀板。切筋模具的一侧设有驱动系统，驱动系统的执行元件与顶杆的上端铰接。转移机构包括转移台，其两侧均设有可移动的拨杆。送料机构包括推料件，其沿着送料机构与切筋模具的连线方向移动设置，推料件与转移台之间设有料匣。本方案可对整片框架进行同步切筋，同时分离框架上所有的芯片，具有较高的切筋效率，并且系统整体结构紧凑。技术研发人员：胡冬,李蛇宏,席强受保护的技术使用者：四川明泰微电子科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/20