光检测装置以及测距装置的制作方法

本发明涉及一种光检测装置以及测距装置。

背景技术：

1、近年来，作为测距装置，使用tof(time of flight：飞行时间)传感器。根据这样的测距装置，从发光部发出的光被检测对象物反射，能够根据该反射光被受光部检测之前的时间来计算到检测对象物的距离。

2、作为在上述受光部中检测光的元件，近年来，采用了单光子雪崩二极管(spad：single photon avalanche diode)。在国际公开第2019/087783号中，公开了抑制因在spad的雪崩击穿中电子被捕获到高的能级且该电子滞后产生雪崩击穿的后脉冲而引起的死区时间(dead time)的长期化的方法。

技术实现思路

1、在使用了spad的受光部中，需要在雪崩击穿恢复后，对由于雪崩击穿例如而使被充电的节点放电，并对spad的两端施加高的反电压，来准备下一次光的入射，放电结束为止的期间成为死区时间。通过在放电时使用低电阻的开关，能够缩短放电完成期间，但在该放电中，例如在由于干扰光、噪声而再次产生雪崩击穿的情况下，在因雪崩击穿引起的电流与流过开关的电流之间取得了平衡的平衡状态产生，节点的电压被固定，死区时间有时变得更长。

2、而且，国际公开第2019/087783号记载的方法不解决该问题。

3、本公开的一方面是鉴于上述问题而完成的，本公开的一方面的目的在于，提供能够抑制由于雪崩击穿而造成的死区时间的长期化的光检测装置以及测距装置。

4、本公开的一方面所涉及的光检测装置具备：spad(single photon avalanchediode：单光子雪崩二极管)，其一端被连接于第一节点；电阻成分，其一端被连接于第一节点；开关元件，其一端被连接于第一节点；以及控制电路，其控制开关元件，以对第一节点放电或充电，在第一节点的电位从第一电位变化为第二电位时，当自变化为第二电位起经过第一期间后，在经过第二期间的期间、或者在第二期间的期间内第一节点的电位回到第一电位为止的期间，控制电路将开关元件设为导通状态，在第一节点的电位未回到第一电位而经过了第二期间的情况下，控制电路将开关元件设为截止状态，当自将开关元件设为截止状态起经过第三期间后，控制电路将开关元件再次设为导通状态。

5、本公开的一方面所涉及的测距装置具备：发光元件，其以规定的时间间隔向检测对象物照射脉冲光；光检测装置，其接受从发光元件照射的脉冲光在检测对象物中的反射光；距离运算电路，其基于在发光元件中照射脉冲光的时序；在光检测装置中接受到反射光的时序，来运算距检测对象物的距离，光检测装置具备：spad(single photon avalanchediode，单光子雪崩二极管)，其一端被连接于第一节点，且接受反射光；电阻成分，其一端被连接于第一节点；开关元件，其一端被连接于第一节点；以及控制电路，其控制开关元件，以对第一节点放电或充电，在第一节点的电位从第一电位变化为第二电位时，当自变化为第二电位起经过第一期间后，在经过第二期间的期间、或者在第二期间的期间内第一节点的电位回到第一电位为止的期间，控制电路将开关元件设为导通状态，在第一节点的电位未回到第一电位而经过了第二期间的情况下，控制电路将开关元件设为截止状态，当自将开关元件设为截止状态起经过第三期间后，控制电路将开关元件再次设为导通状态。

技术特征：

1.一种光检测装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光检测装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的光检测装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光检测装置，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的光检测装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，

10.一种测距装置，其特征在于，具备：

技术总结提供能够抑制由于雪崩击穿而造成的死区时间的长期化的光检测装置以及测距装置。光检测装置具备：SPAD，其一端被连接于第一节点；电阻成分，其一端被连接于第一节点；开关元件，其一端被连接于第一节点；以及控制电路，其控制开关元件，以对第一节点放电或充电。在第一节点的电位从第一电位变化为第二电位时，当自变化为第二电位起经过第一期间后，在经过第二期间的期间、或者在第二期间的期间内第一节点的电位回到第一电位为止的期间，控制电路将开关元件设为导通状态，在第一节点的电位未回到第一电位而经过了第二期间的情况下，控制电路将开关元件设为截止状态，自设为截止状态起经过第三期间后，再次设为导通状态。技术研发人员：佐藤秀树,井上高广,清水隆行,池田徹朗,阿飞牗·翔霸维受保护的技术使用者：夏普半导体创新株式会社技术研发日：技术公布日：2024/8/20