弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话的滤波器等。近年来，提出了像在下述的专利文献1记载的那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电层。在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，并且与相互不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励厚度剪切模式的体波。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利第10491192号说明书

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1记载的弹性波装置中，例如，可考虑在压电层上设置保护膜，使得覆盖用于激励弹性波的上述电极。本发明的发明人们发现，在像上述那样设置有保护膜的情况下，产生起因于该保护膜的无用波。产生该无用波的频率靠近谐振频率。因此，在将该弹性波装置用于滤波器装置的情况下，滤波器特性有可能变差。

3、本发明的目的在于，提供一种能够在谐振频率附近抑制无用波的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明涉及的弹性波装置具备：压电性基板，具有支承构件和压电层，所述支承构件包含支承基板，所述压电层设置在所述支承构件上，包含钽酸锂或铌酸锂；功能电极，设置在所述压电层上，具有至少一对电极指；以及电介质膜，设置在所述压电层上，使得覆盖所述至少一对电极指，在俯视下与所述功能电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，所述电极指具有：第1面和第2面，在厚度方向上相互对置；以及侧面，与所述第1面以及所述第2面连接，在所述第1面以及所述第2面之中，所述第1面位于所述压电层侧，所述电极指的所述侧面具有在与所述电极指延伸的方向正交的方向上彼此相互对置的第1侧面部和第2侧面部，所述电介质膜具有覆盖所述电极指的所述第1侧面部的第1侧面覆盖部以及覆盖所述第2侧面部的第2侧面覆盖部，所述第1侧面覆盖部包含第1外表面，所述第2侧面覆盖部包含第2外表面，将所述电极指的所述第1面和所述第1侧面部所成的角的角度设为θ1，将所述第1面和所述第2侧面部所成的角的角度设为θ2，将从所述电介质膜的所述第1外表面的所述压电层侧的端缘部与所述第1面平行地向所述第2侧面覆盖部侧延伸的第1假想平面和所述第1外表面所成的角的角度设为θ3，将从所述第2外表面的所述压电层侧的端缘部与所述第1面平行地向所述第1侧面覆盖部侧延伸的第2假想平面和所述第2外表面所成的角的角度设为θ4，此时，满足θ1≠θ3以及θ2≠θ4中的至少一者。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供一种能够在谐振频率附近抑制无用波的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结本发明提供一种能够在谐振频率附近抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板，具有支承构件和压电层(14)，支承构件包含支承基板，压电层(14)设置在支承构件上，包含钽酸锂或铌酸锂；功能电极(IDT电极(11))，设置在压电层(14)上，具有至少一对电极指；以及电介质膜(25)，设置在压电层(14)上，使得覆盖至少一对电极指。在俯视下与功能电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。电极指具有：第1面(11a)和第2面(11b)，在厚度方向上相互对置；和侧面，与第1面(11a)以及第2面(11b)连接。在第1面(11a)以及第2面(11b)之中，第1面(11a)位于压电层(14)侧。电极指的侧面具有在与电极指延伸的方向正交的方向上彼此相互对置的第1侧面部(11c)和第2侧面部(11d)。电介质膜(25)具有覆盖电极指的第1侧面部(11c)的第1侧面覆盖部(25c)以及覆盖第2侧面部(11d)的第2侧面覆盖部(25d)。第1侧面覆盖部(25c)包含第1外表面(25e)。第2侧面覆盖部(25d)包含第2外表面(25f)。将电极指的第1面(11a)和第1侧面部(11c)所成的角的角度设为θ1，将第1面(11a)和第2侧面部(11d)所成的角的角度设为θ2。将从电介质膜(25)的第1外表面(25e)的压电层(14)侧的端缘部与第1面(11a)平行地向第2侧面覆盖部(25d)侧延伸的第1假想平面(N1)和第1外表面(25e)所成的角的角度设为θ3，将从第2外表面(25f)的压电层(14)侧的端缘部与第1面(11a)平行地向第1侧面覆盖部(25c)侧延伸的第2假想平面和第2外表面(25f)所成的角的角度设为θ4。弹性波装置(10)满足θ1≠θ3以及θ2≠θ4中的至少一者。技术研发人员：大门克也,井山明洋受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/8/20