导电膜加工方法、加工装置及导电膜与流程

本技术涉及薄膜生产，具体而言，涉及一种导电膜加工方法、加工装置及导电膜。

背景技术：

1、高分子基材的金属化处理，是在高分子基材的表面采用真空等方式沉积金属膜层获得导电膜的处理过程。常见的金属化处理是采用热蒸发的方式在基材表面沉积金属膜层。

2、然而在实际生产中，当收卷已完成金属膜层沉积的导电膜时，发现基材两面的金属膜层容易产生相互粘黏或者黏连的情况，这导致在导电膜的后续制程中，不仅难以将导电膜卷材剥离开，降低导电膜后续制程(如分切复卷制程)的生产效率，并且，在剥离开相互粘黏的膜层后，导电膜的表面在牵拉剥离力的作用下容易产生破损，降低了导电膜的品质，甚至可能会直接导致导电膜无法正常使用。

技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种导电膜加工方法、加工装置及导电膜，以至少解决背景技术中提到的目前的基材两面的金属膜层容易相互粘黏或者黏连的问题。

2、根据本技术的一个方面，提供了一种导电膜加工方法，包括：

3、步骤s11：在真空环境下，将镀设有金属层的导电膜传送至电磁感应加热机构，并使所述导电膜沿自身厚度方向的至少一侧与所述电磁感应加热机构的感应器相对设置；

4、步骤s12：通过向所述感应器提供电流来对所述金属层进行感应加热，以减少或减小所述金属层中的孔隙。

5、进一步地，所述步骤s11之前，所述方法还包括：

6、在所述感应器内设置供所述导电膜穿设的电磁感应通道，所述电磁感应通道沿第一方向的相对两侧用于产生交变磁场，且所述电磁感应通道沿第一方向的相对两侧相互平行并呈平面结构。

7、进一步地，所述感应器包括磁感应线材、第一支撑横梁和第二支撑横梁，在所述感应器内设置供所述导电膜穿设的电磁感应通道的步骤包括：

8、将磁感应线材缠绕于沿第二方向间隔设置的第一支撑横梁和第二支撑横梁上，以使所述磁感应线材与所述第一支撑横梁和所述第二支撑横梁围设形成所述电磁感应通道。

9、进一步地，所述感应器包括至少两块片形感应线圈，在所述感应器内设置供所述导电膜穿设的电磁感应通道的步骤还包括：

10、将至少两块所述片形感应线圈沿第一方向间隔设置以围设形成供所述导电膜穿设的电磁感应通道。

11、进一步地，所述方法还包括：

12、使所述电磁感应通道沿第一方向的相对两侧与所述导电膜的表面相互平行；

13、和/或，使所述电磁感应通道沿第二方向的尺寸不小于所述导电膜沿第二方向的宽度。

14、进一步地，所述步骤s12之前，所述方法还包括：

15、确定所述金属层在感应加热下需达到的目标温度；

16、基于所述目标温度调整所述感应器的输出功率，和/或，基于所述目标温度调整所述感应器与所述导电膜之间沿第一方向的间距。

17、进一步地，基于所述目标温度调整所述感应器的输出功率，和/或，基于所述目标温度调整所述感应器与所述导电膜之间沿第一方向的间距的步骤包括：

18、通过增大所述输出功率和/或减小所述间距，或者，通过减小所述输出功率和/或增大所述间距，来使所述金属层在所述感应器的感应加热下达到所述目标温度。

19、进一步地，所述方法还包括：

20、通过提高或减小传送所述导电膜时的预定传送速度，来使所述金属层在所述感应器的感应加热下达到所述目标温度，所述预定传送速度位于50m/min至150m/min之间。

21、进一步地，所述步骤s12之后，所述方法还包括：

22、对所述导电膜进行降温处理后，通过收卷机构对所述导电膜进行收卷。

23、进一步地，对所述导电膜进行降温处理的步骤包括：

24、通过设置于所述感应器和所述收卷机构之间的冷却组件对所述导电膜进行降温处理，其中，所述冷却组件的温度低于所述导电膜的温度。

25、进一步地，通过设置于所述感应器和所述收卷机构之间的冷却组件对所述导电膜进行降温处理的步骤包括：

26、将所述导电膜绕经并贴合于所述冷却组件的至少一个冷却辊的表面进行降温处理。

27、进一步地，通过设置于所述感应器和所述收卷机构之间的冷却组件对所述导电膜进行降温处理的步骤还包括：

28、将所述冷却组件的至少两个冷却辊沿第三方向排列于所述感应器和所述收卷机构之间，并使远离所述感应器的所述冷却辊的温度低于靠近所述感应器的所述冷却辊的温度，以将所述导电膜沿第三方向依次穿设并贴合于至少两个所述冷却辊的表面进行降温。

29、进一步地，将所述导电膜沿第三方向依次穿设并贴合于至少两个所述冷却辊的表面进行降温的步骤包括：

30、将靠近所述感应器的第一冷却辊的温度设定于-20℃至30℃之间，将位于所述第一冷却辊和所述收卷机构之间的第二冷却辊的温度设定于-140℃到-20℃之间；

31、将所述导电膜绕经并贴合于所述第一冷却辊的表面进行降温后，再绕经并贴合于所述第二冷却辊的表面进行降温。

32、进一步地，所述步骤s11之前，所述方法还包括：

33、将所述电磁感应加热机构设置于蒸发镀膜设备的真空腔室内，并使所述电磁感应加热机构位于所述蒸发镀膜设备的镀膜辊系的出膜侧和收卷机构之间。

34、另一方面，本技术还提供了一种导电膜加工装置，所述导电膜加工装置用于执行所述的导电膜加工方法，所述导电膜加工装置包括：

35、电磁感应加热机构，所述电磁感应加热机构包括感应器，所述感应器内设置有电磁感应通道，所述电磁感应通道沿第一方向的相对两侧相互平行并呈平面结构。

36、进一步地，所述感应器包括：

37、第一支撑横梁；

38、第二支撑横梁，所述第二支撑横梁位于所述第一支撑横梁沿第二方向的一侧并与所述第一支撑横梁间隔设置；

39、磁感应线材，所述磁感应线材缠绕于所述第一支撑横梁和所述第二支撑横梁上，并与所述第一支撑横梁和所述第二支撑横梁围设形成所述电磁感应通道。

40、进一步地，所述感应器还包括至少两块片形感应线圈，至少两块所述片形感应线圈沿第一方向间隔设置以围设形成所述电磁感应通道。

41、进一步地，所述片形感应线圈包括第一感应线圈和第二感应线圈，且所述第一感应线圈和所述第二感应线圈相互平行；和/或，所述感应器还包括：

42、驱动组件，所述驱动组件分别与所述第一感应线圈和所述第二感应线圈连接，所述驱动组件驱动所述第一感应线圈和所述第二感应线圈沿第一方向彼此靠近或远离。

43、进一步地，所述驱动组件包括：

44、丝杠，沿第一方向，所述丝杠包括第一螺纹段和第二螺纹段，所述第一螺纹段和所述第二螺纹段的螺纹旋向相反，所述第一感应线圈通过旋接件与所述第一螺纹段连接，所述第二感应线圈通过旋接件与所述第二螺纹段旋接；

45、电机，所述电机的输出轴与所述丝杠沿第一方向的一端连接。

46、进一步地，还包括：

47、冷却组件，所述冷却组件设置于所述感应器沿第三方向的一侧，所述冷却组件包括至少两个冷却辊，至少两个所述冷却辊沿第三方向依序排列。

48、另一方面，本技术还提供了一种导电膜，所述导电膜由所述的导电膜加工方法加工获得，或者，所述导电膜由所述的导电膜加工装置制备而成。

49、关于背景技术中提到的问题，申请人经过论证分析认为，采用热蒸发的方式沉积的薄膜致密度相对较低，金属颗粒或原子之间的堆积相对较为稀疏，金属膜层内部可能存在较多的孔隙孔洞。孔隙较多时，导电膜的a面、b面(即导电膜沿自身厚度方向的两面)在收卷时容易形成铆钉嵌合结构而粘黏在一起。而且，对于真空环境下的收卷制程张力作用下紧密压合收卷的导电膜，导电膜的a面、b面会因紧密接触以及膜自身的孔隙等原因而很容易相互粘黏在一起，而本技术通过将导电膜传送至电磁感应加热机构，在向电磁感应加热机构的感应器提供电流后，由于金属层具有导电性，金属层将会在感应器产生的交变磁场下产生感应电流，并在感应电流的作用下产生热量达到加热的目的。金属层在感应加热产生的高温下，其内的金属结晶颗粒能够再结晶生长，由于再结晶生长后各结晶颗粒更大，能够对金属层中的孔隙进行填充，从而减少了金属层内的孔隙缺陷，使金属层的致密度更高。致密度越高金属层的表面粗糙度越低，金属层的表面变得更加平整，因此，相互接触的金属层之间将难以形成铆钉嵌合而相互粘黏。