一种辅助打包设备的制作方法

本发明涉及半导体产品制作，尤其涉及一种用于打包硅片片盒的辅助打包设备。

背景技术：

1、目前，晶圆厂在fosb(front opening shipping box，前开式箱体)手动packing(打包)过程中，主要会存在以下三方面的问题：1.由于打包工序的fosb配件检测一直依赖于人员视觉确认，误操作率较高。此外，不同客户对于fosb配件和标签位置、方向都有着不同的要求，手动packing过程中需要人为确认的项目驳杂，导致打包效率较低，直接影响到packing工序的产能；2.fosb配件拆卸过程缺少震动率的监控，且缺失相应的控制线而无法确保在拆卸过程中wafer无划伤，最终导致客诉事件的发生。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提供一种辅助打包设备，解决人工打包效率低，以及人工打包无法监控片盒震动率导致硅片损伤的问题。

2、为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种辅助打包设备，用于硅片片盒的配件拆卸以及标签贴附，包括：

3、上料单元；

4、下料单元；

5、配件拆卸单元，包括配件拆卸结构和震动感应结构，所述配件拆卸结构用于拆卸硅片片盒上的配件，所述震动感应装置用于在所述配件拆卸结构拆卸所述硅片片盒的过程中，感应所述硅片片盒的震动状态，并在所述硅片片盒的震动状态超过预设要求时进行报警；

6、标签打印贴附单元，包括标签打印结构和标签贴附结构，所述标签打印结构用于打印标签，所述标签贴附结构用于在硅片片盒上贴附标签；

7、运输单元，包括连接于所述上料单元、所述下料单元、所述配件拆卸单元和所述标签打印贴附单元之间的无尘滑轨，以及用于搬运所述硅片片盒的机械手臂。

8、可选的，沿第一方向，所述上料单元、所述配件拆卸单元、所述标签打印贴附单元和所述下料单元依次设置，所述第一方向与所述无尘滑轨的延伸方向相平行，所述无尘滑轨为直线型滑轨；

9、或者，沿第一方向，所述上料单元、所述标签打印贴附单元、所述配件拆卸单元、和所述下料单元依次设置，所述第一方向与所述无尘滑轨的延伸方向相平行，所述无尘滑轨为直线型滑轨；

10、或者，所述上料单元和所述下料单元相对设置，所述配件拆卸单元和所述标签打印贴附单元中的至少一个位于所述上料单元和所述下料单元之间。

11、可选的，所述震动感应装置包括：

12、震动感应器，设置在所述配件拆卸结构上，并能够与所述硅片片盒接触，以用于感应所述硅片片盒在拆卸配件过程中的震动状态；

13、处理部，用于将所述震动感应器感应的所述硅片片盒的震动信息，与预设要求进行对比，在所述震动信息不满足所述预设要求时，发出执行命令；

14、报警组件，用于根据所述处理部的执行命令进行报警。

15、可选的，还包括检测单元，所述检测单元包括图像采集部，所述图像采集部用于采集所述硅片片盒的图像信息；

16、检测部，用于检测所述硅片的包装信息，所述包装信息包括标签的内容和配件。

17、可选的，所述检测单元还包括光源，所述图像采集部被配置为，在所述光源处于点亮状态下，获取硅片片盒的图像信息。

18、可选的，所述上料单元包括至少一个上料口。

19、可选的，所述下料单元包括至少两个下料口，至少两个下料口中包括第一下料口和第二下料口，所述第一下料口用于卸载拆卸配件的硅片片盒，所述第二下料口用于卸载未拆卸配件的硅片片盒。

20、可选的，所述第一下料口或者所述第二下料口与所述上料单元位于同侧，且所述第一下料口或者所述第二下料口与所述上料单元之间间隔设置。

21、可选的，所述标签打印结构包括至少一个打印机，以用于打印不同尺寸的标签。

22、可选的，所述标签贴附结构包括机械手，所述机械手包括连接臂和位于所述连接臂的自由端的吸附部，所述吸附部用于吸附标签；

23、移动控制部，用于控制所述机械手运动以将标签贴附于所述硅片片盒的预设位置。

24、可选的，所述配件拆卸单元包括第一容纳空间，所述配件拆卸结构位于所述第一容纳空间内，所述第一容纳空间的顶部设置有风机过滤单元，所述第一容纳空间内设置有用于监测所述第一容纳空间内的颗粒物浓度的颗粒计数器；

25、所述标签打印贴附单元包括第二容纳空间，所述标签打印结构和所述标签贴附结构位于所述第二容纳空间内，所述第二容纳空间的顶部设置有风机过滤单元，所述第二容纳空间内设置有用于监测所述第二容纳空间内的颗粒物浓度的颗粒计数器；

26、所述运输单元包括第三容纳空间，所述无尘滑轨和所述机械手臂设置于所述第三容纳空间内，所述第三容纳空间的顶部设置有风机过滤单元，所述第三容纳空间内设置有用于监测所述第三容纳空间内的颗粒物浓度的颗粒计数器。

27、本发明的有益效果是：本发明提供的辅助打包设备实现硅片片盒的自动化打包，提高打包效率。且本发明提供的辅助打包设备中，包括震动感应装置用于感应在拆卸硅片片盒的过程中，硅片片盒的震动状态，并在硅片片盒的震动状态不符合预设要求时进行报警，从而可以避免对硅片的损伤。

技术特征：

1.一种辅助打包设备，用于硅片片盒的配件拆卸以及标签贴附，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，沿第一方向，所述上料单元、所述配件拆卸单元、所述标签打印贴附单元和所述下料单元依次设置，所述第一方向与所述无尘滑轨的延伸方向相平行，所述无尘滑轨为直线型滑轨；

3.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，所述震动感应装置包括：

4.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，还包括检测单元，所述检测单元包括图像采集部，所述图像采集部用于采集所述硅片片盒的图像信息；

5.根据权利要求4所述的辅助打包设备，其特征在于，所述检测单元还包括光源，所述图像采集部被配置为，在所述光源处于点亮状态下，获取硅片片盒的图像信息。

6.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，所述上料单元包括至少一个上料口。

7.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，所述下料单元包括至少两个下料口，至少两个下料口中包括第一下料口和第二下料口，所述第一下料口用于卸载拆卸配件的硅片片盒，所述第二下料口用于卸载未拆卸配件的硅片片盒。

8.根据权利要求7所述的辅助打包设备，其特征在于，所述第一下料口或者所述第二下料口与所述上料单元位于同侧，且所述第一下料口或者所述第二下料口与所述上料单元之间间隔设置。

9.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，所述标签打印结构包括至少一个打印机，以用于打印不同尺寸的标签。

10.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，所述标签贴附结构包括机械手，所述机械手包括连接臂和位于所述连接臂的自由端的吸附部，所述吸附部用于吸附标签；

11.根据权利要求1所述的辅助打包设备，其特征在于，所述配件拆卸单元包括第一容纳空间，所述配件拆卸结构位于所述第一容纳空间内，所述第一容纳空间的顶部设置有风机过滤单元，所述第一容纳空间内设置有用于监测所述第一容纳空间内的颗粒物浓度的颗粒计数器；

技术总结本发明涉及一种辅助打包设备，用于硅片片盒的打包，包括：上料单元；下料单元；配件拆卸单元，包括配件拆卸结构和震动感应结构，配件拆卸结构用于拆卸硅片片盒上的配件，震动感应装置用于在配件拆卸结构拆卸硅片片盒的过程中，感应硅片片盒的震动状态，并在硅片片盒的震动状态超过预设要求时进行报警；标签打印贴附单元，包括标签打印结构和标签贴附结构，标签打印结构用于打印标签，标签贴附结构用于在硅片片盒上贴附标签；运输单元，包括连接于上料单元、下料单元、配件拆卸单元和标签打印贴附单元之间的无尘滑轨，以及用于搬运硅片片盒的机械手臂。实现硅片片盒的自动化打包，提高打包效率。技术研发人员：张进宝受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/2