可连续采样气体及液滴的装置的制作方法

本申请是关于一种采样装置，尤其是指一种可连续采样气体及液滴的装置。

背景技术：

1、在超大型积体电路(ulsi)制程中，晶圆洗净的技术及其洁净度(cleanliness)往往是影响晶圆制程的良率(yield)、组件质量(quality)以及其可靠度(reliability)的重要因素之一。因此，在相关制程中需要对晶圆进行清洗来达到洁净度的要求。

2、目前业界较常使用湿式清洗法，而最为被接受的是湿式清洗法中的rca清洁法(rca clean)，此rca清洁法为1960年代由rca公司所发展。其清洁原理在于使用于不同的化学配方来进行清洁，像是标准清洁液1(sc-1)及标准清洁液2(sc-2)等。

3、而在使用化学配方sc-1(apm)、sc-2(hpm)、spm、dhf及bhf等进行清洁的同时，常会带有大量酸气、碱气及挥发性有机化合物等制程混合废气排放。

4、而挥发性有机化合物(又称挥发性有机气体污染物，volatileorganiccompounds,vocs)，是指在一大气压下，沸点在250℃以下的有机化合物的空气污染物总称，其所造成的环境污染问题，目前广泛地存在于各类型工业中，尤其是半导体产业等高科技产业。

5、因此，需要通过气体采样可评估空气质量、了解空气污染程度并监测环境变化，以便进行改善措施。而现有技术是利用impinger(冲击瓶)和denuder两种装置来捕捉空气中的特定污染物。

6、(1).impinger是一种玻璃瓶或容器，通常带有液体填充物，用来捕捉气胶或气体中的污染物。在采样过程中，气体通过impinger时，污染物会被液体吸附，从而从气体中移除。

7、(2).denuder则是以特定孔径滤纸与特殊设计的表面组合，能够将气体中的颗粒及液滴捕捉后，再吸附气相污染物。denuder的目的是去除气体中的特定成分，通过化学反应或物理吸附将这些成分捕捉在其表面上。这样的设计使得denuder能够高效地去除特定气体污染物。

8、impinger气体采样方式，依照相关文献搜寻，确认其采样效率约在80-90％，且impinger在捕捉污染物时可能造成样本损失，这可能影响后续分析的精确性。

9、然而，denuder的吸附选择性有限制，只能针对特定种类的污染物来进行。对于多种不同污染物的同时采样，则可能需要使用多个不同类型的denuder。而且denuder通常需要使用颗粒过滤、吸附剂或是特殊表面处理，这些成本较高。更进一步的denuder的吸附效能会随着时间的增加而降低，因此需要定期更换或维护，这导致其难以长时间连续使用。

10、为此，如何提高气体采集装置的采集效率并减少其采集时的损失，且更进一步的使气体采集装置能适用于不同环境下的污染监测，为此技术领域的研究者所欲解决的问题。

技术实现思路

1、本申请所要解决的技术问题在于提供可连续采样气体及液滴的装置，通过湿膜板和喷头的设置，来有效地捕捉空气中的污染物，进而提高了可连续采样气体及液滴的装置对于气体及气体中液滴的采集能力，更进一步还能减少溶液的逸散，提高了样本的保持率。

2、为达到上述目的与功效，本申请提供一种可连续采样气体及液滴的装置，其结构包括：一采样腔室，该采样腔室的下方设置一进气口及一循环出口，该采样腔室的上方设置一出气口，该采样腔室的一侧设置一开口，并进一步设置一板件密封该开口；一湿膜板，其设置于该采样腔室的内侧，并位于该进气口及该循环出口的上方；一洒水装置，其设置于该采样腔室的内侧，并位于该湿膜板的上方，该洒水装置包括一循环管路以及至少一喷头，该循环管路穿设于该采样腔室的该板件，并通过一泵浦连通该循环出口，且该循环管路的下方连接该至少一喷头；以及一除雾件，其设置于该采样腔室的内侧，并位于该出气口及该洒水装置之间；其中，一采样气体经由该进气口进入该采样腔室，并且通过该湿膜板，再者，一液体经由该循环管路进入该采样腔室，并通过该至少一喷头喷洒于经过该湿膜板的该采样气体后，经由该循环出口排出，而该采样气体则通过该除雾件，并经由该出气口排出该采样腔室。

3、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该进气口进一步连接一采样管线。

4、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，更包括一液体供应装置及一排液系统，其该液体供应装置连通该循环管路的一端，并输送该液体进入该循环管路，而该排液系统位于该循环管路的一侧，该排液系统排出废弃的该液体。

5、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该湿膜板是多个湿膜板材以波浪状交错堆栈填充而成，该些个湿膜板材是一塑料湿膜板材、一陶瓷湿膜板材或一纤维湿膜板材。

6、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该至少一喷头的材料是金属、陶瓷或塑料。

7、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该至少一喷头的喷洒角度介于70度至170度之间。

8、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该液体以雾滴的形式进行喷洒，其雾滴大小为10-200μm。

9、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该除雾件是多个除雾板材以波浪状交错堆栈填充而成，该些个除雾板材是一塑料除雾板材、一陶瓷除雾板材或一纤维除雾板材。

10、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该采样腔室进一步包括多个限位件，其分别设置于该至少一湿膜板及该至少一除雾件的下方。

11、本申请的实施例中，其内容在于可连续采样气体及液滴的装置，其中该采样腔室是一塑料腔室。

12、有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。

技术特征：

1.一种可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，所述装置包括：

2.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该进气口进一步连接一采样管线。

3.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，更包括一液体供应装置及一排液系统，其该液体供应装置连通该循环管路的一端，并输送该液体进入该循环管路，而该排液系统位于该循环管路的一侧，该排液系统排出废弃的该液体。

4.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该湿膜板是多个湿膜板材以波浪状交错堆栈填充而成，该些个湿膜板材是一塑料湿膜板材、一陶瓷湿膜板材或一纤维湿膜板材。

5.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该至少一喷头的材料是金属、陶瓷或塑料。

6.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该至少一喷头的喷洒角度介于70度至170度之间。

7.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该液体以雾滴的形式进行喷洒，其雾滴大小为10-200μm。

8.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该除雾件是多个除雾板材以波浪状交错堆栈填充而成，该些个除雾板材是一塑料除雾板材、一陶瓷除雾板材或一纤维除雾板材。

9.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该采样腔室进一步包括多个限位件，其分别设置于该湿膜板及该除雾件的下方。

10.根据权利要求1所述的可连续采样气体及液滴的装置，其特征在于，该采样腔室是一塑料腔室。

技术总结本申请提供一种可连续采样气体及液滴的装置，通过湿膜板和喷头的设置，使采样气体与液体间产生多次冲击采样，进而提高了对于气体及气体中液滴的采集能力。更进一步设置循环管路使液体可以重复再利用，进而减少其采样成本。技术研发人员：陈韦龙受保护的技术使用者：奇鼎科技股份有限公司技术研发日：20231225技术公布日：2024/9/17