气体注入装置的制作方法

本发明涉及精密仪器，尤其是涉及一种气体注入装置。

背景技术：

1、fib气体注入技术在扫描电镜设备中使用时，气体注入装置需要从外部穿过扫描电镜设备直至达到内部，其中，处于扫描电镜外部的气体注入装置是处于大气压下的，处于扫描电镜内部的气体注入装置是处于真空状态的。

2、相关技术中，传统的气体注入装置一般先将处于扫描电镜内部的气体输出端对准扫描电镜内的离子束、电子束会聚的共焦点位置，然后再固定到扫描电镜上，但气体输出端在气体注入装置安装过程中容易偏离，导致气体输出端未对准共焦点位置，从而在后期使用时，降低了操作人员所获取的数据的准确性，导致其无法在后续操作中使用，且操作不便，存在改进空间。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种气体注入装置，所述气体注入装置可以提高操作人员所获取数据的准确性，且便于操作。

2、根据本发明实施例的气体注入装置，所述气体注入装置安装在扫描电镜上，所述气体注入装置包括：固定组件，所述固定组件设在所述扫描电镜的外部且中部限定有安装孔，所述固定组件包括连接件和支撑件，所述连接件与所述扫描电镜连接，所述支撑件的至少一部分位于所述连接件的至少一部分在所述安装孔中轴线方向上的一侧且两者通过第一密封件密封连接；气体注入件，所述气体注入件穿设在所述安装孔内且安装在所述支撑件上；多个调节件，多个所述调节件沿所述安装孔的周向间隔布置，所述调节件可活动的设在所述连接件和所述支撑件中的一个，且所述调节件适于与所述连接件和所述支撑件中的另一个抵接，所述调节件可相对于所述连接件活动以驱使所述支撑件的一部分向靠近或远离所述第一密封件的方向活动以调节所述支撑件的倾斜角度，以改变所述气体注入件的延伸方向。

3、根据本发明实施例的气体注入装置，通过在连接件和支撑件中的一个上设置多个沿安装孔的周向间隔布置的调节件，且多个调节件可以与连接件和支撑件中的另一个抵接，可使调节件驱使支撑件带动气体注入件向不同的方向倾斜，可以保证气体注入件的端部在扫描电镜的内部对准扫描电镜内的离子束、电子束会聚的共焦点位置，可以提高操作人员所获取的数据的准确性，且便于操作。

4、此外，相较于操作人员重新拆装气体注入装置以使气体注入件的端部对准扫描电镜的共焦点位置的方案而言，可使气体注入件的端部在扫描电镜的内部重新对准扫描电镜的共焦点位置，有利于气体注入装置在后续操作中的继续使用，便于操作，且可以节省操作成本，同时可以保证扫描电镜的气密性，防止空气在气体注入件的端部对准共焦点位置的过程中进入扫描电镜内的真空环境中，提高操作人员所获取的数据的准确性。

5、根据本发明的一些实施例，所述连接件限定有限位槽，所述限位槽沿所述安装孔的周向延伸，所述支撑件的至少一部分位于所述限位槽内，所述第一密封件设于所述限位槽的槽壁和所述支撑件之间，每个所述调节件设在所述连接件上且与所述连接件螺纹配合，所述调节件适于与所述支撑件的背离所述第一密封件的一侧抵接。

6、在一些示例中，所述支撑件包括：支撑主体和卡脚，所述支撑主体的中部限定有所述安装孔的一部分，所述卡脚设在所述支撑主体的一端，且所述卡脚的至少一部分位于所述支撑主体的所述一端的远离所述安装孔的一侧，所述卡脚插接至所述限位槽内，所述第一密封件设于所述卡脚与所述限位槽的槽壁之间。

7、在一些示例中，所述支撑件还包括支撑环，所述支撑环设在所述支撑主体的中部且环绕所述气体注入件，所述气体注入件与所述支撑环滑动配合。

8、在一些示例中，所述卡脚的靠近所述密封圈的一侧设有限位环，所述限位环沿所述第一密封件的周向延伸，且所述限位环与所述限位槽的槽壁间隔布置。

9、在一些示例中，所述连接件包括连接法兰与压盖，所述连接法兰安装在所述扫描电镜上，所述压盖设在所述连接法兰的远离所述扫描电镜的一侧，且所述压盖与所述连接法兰连接且限定出所述限位槽。

10、根据本发明的一些实施例，所述气体注入装置还包括：伸缩件，所述伸缩件套设所述气体注入件的至少一部分，所述伸缩件的一端与所述固定组件密封连接，所述伸缩件的另一端与所述气体注入件密封连接，所述伸缩件被配置为在所述气体注入件活动时伸缩。

11、在一些示例中，所述气体注入装置还包括：第二密封件，所述气体注入件的外周具有限位凸台，所述伸缩件的第一端与所述限位凸台连接且通过所述第二密封件密封配合。

12、在一些示例中，所述气体注入装置还包括：第三密封件，所述伸缩件的第二端与所述支撑件连接且通过所述第三密封件密封配合。

13、在一些示例中，所述伸缩件包括：多个固定件和柔性件，多个所述固定件沿所述气体注入件的延伸方向排布，所述柔性件设在相邻的两个所述固定件之间且与所述固定件连接。

14、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种气体注入装置，所述气体注入装置安装在扫描电镜上，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气体注入装置，其特征在于，所述连接件限定有限位槽，所述限位槽沿所述安装孔的周向延伸，所述支撑件的至少一部分位于所述限位槽内，所述第一密封件设于所述限位槽的槽壁和所述支撑件之间，每个所述调节件设在所述连接件上且与所述连接件螺纹配合，所述调节件适于与所述支撑件的背离所述第一密封件的一侧抵接。

3.根据权利要求2所述的气体注入装置，其特征在于，所述支撑件包括：支撑主体和卡脚，所述支撑主体的中部限定有所述安装孔的一部分，所述卡脚设在所述支撑主体的一端，且所述卡脚的至少一部分位于所述支撑主体的所述一端的远离所述安装孔的一侧，所述卡脚插接至所述限位槽内，所述第一密封件设于所述卡脚与所述限位槽的槽壁之间。

4.根据权利要求3所述的气体注入装置，其特征在于，所述支撑件还包括支撑环，所述支撑环设在所述支撑主体的中部且环绕所述气体注入件，所述气体注入件与所述支撑环滑动配合。

5.根据权利要求4所述的气体注入装置，其特征在于，所述卡脚的靠近所述密封圈的一侧设有限位环，所述限位环沿所述第一密封件的周向延伸，且所述限位环与所述限位槽的槽壁间隔布置。

6.根据权利要求3所述的气体注入装置，其特征在于，所述连接件包括连接法兰与压盖，所述连接法兰安装在所述扫描电镜上，所述压盖设在所述连接法兰的远离所述扫描电镜的一侧，且所述压盖与所述连接法兰连接且限定出所述限位槽。

7.根据权利要求1所述的气体注入装置，其特征在于，还包括：伸缩件，所述伸缩件套设所述气体注入件的至少一部分，所述伸缩件的一端与所述固定组件密封连接，所述伸缩件的另一端与所述气体注入件密封连接，所述伸缩件被配置为在所述气体注入件活动时伸缩。

8.根据权利要求7所述的气体注入装置，其特征在于，还包括：第二密封件，所述气体注入件的外周具有限位凸台，所述伸缩件的第一端与所述限位凸台连接且通过所述第二密封件密封配合。

9.根据权利要求7所述的气体注入装置，其特征在于，还包括：第三密封件，所述伸缩件的第二端与所述支撑件连接且通过所述第三密封件密封配合。

10.根据权利要求7所述的气体注入装置，其特征在于，所述伸缩件包括：多个固定件和柔性件，多个所述固定件沿所述气体注入件的延伸方向排布，所述柔性件设在相邻的两个所述固定件之间且与所述固定件连接。

技术总结本发明公开了一种气体注入装置，气体注入装置安装在扫描电镜上，气体注入装置涉及精密仪器技术领域，气体注入装置包括：固定组件，固定组件设在扫描电镜的外部且中部限定有安装孔，固定组件包括连接件和支撑件，连接件与扫描电镜连接；气体注入件，气体注入件穿设在安装孔内且安装在支撑件上；多个调节件，多个调节件沿安装孔的周向间隔布置，调节件可活动的设在连接件和支撑件中的一个，且调节件适于与连接件和支撑件中的另一个抵接。根据本发明实施例的气体注入装置，通过在连接件和支撑件中的一个设置调节件，且调节件可以与连接件和支撑件中的另一个抵接，可以保证气体注入件的端部对准共焦点，提高操作人员所获取的数据的准确性，便于操作。技术研发人员：张茂辉,张伟,曹峰,贺羽受保护的技术使用者：国仪量子技术（合肥）股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29