一种弧板尾管对接装置的制作方法

本发明涉及半导体石英加工，具体涉及一种弧板尾管对接装置。

背景技术：

1、现有技术中，对于弧板和尾管的焊接，主要是通过手动焊接，手动焊接主要是依靠操作者的经验技术，对于尾管和弧板的同心度和垂直度要求无法稳定保证，焊接完成后表面需研磨，且研磨完成后不够光滑。

2、公告号为cn107335905a的中国专利公开了一种端头使用开槽固定式焊接引弧板的焊接方法，其公开的是关于焊接的工艺方法，并没有涉及具体的结构，并无法保证尾管和弧板的同心度和垂直度要求。

技术实现思路

1、本发明解决了手动焊接无法保证尾管和弧板的同心度和垂直度要求的问题，提出一种弧板尾管对接装置，采用弧板固定夹具和尾管固定夹具对接弧板和尾管，成形处圆角光滑，且利用旋盘机夹持更方便的保证对接的同心度和垂直度，精度更高，接触外表更光滑。

2、为了实现上述目的，本发明采用以下的技术方案：一种弧板尾管对接装置，包括旋盘机以及设置在旋盘机上的弧板固定夹具，所述弧板固定夹具包括与旋盘机连接的第一固定部和对石英弧板进行夹持的第一夹持部，所述第一夹持部的另一侧设置有尾管固定夹具，所述尾管固定夹具包括对石英尾管进行夹持的第二夹持部和第二固定部，所述第二固定部上设有推进部以使第二夹持部进行夹紧或者松开。

3、本技术方案中，本发明的弧板尾管对接装置主要包括弧板固定夹具以及尾管固定夹具，两者均设置在旋盘机上，弧板固定夹具主要包括第一固定部和第一夹持部，通过第一固定部与旋盘机进行固定配合，通过第一夹持部能够对石英弧板进行夹取并固定；尾管固定夹具主要包括第二夹持部、第二固定部以及推进部，在推进部沿着第二固定板的推动下，能够使夹持部对石英尾管进行缓慢的夹紧或者缓慢松开，同时，弧板固定夹具以及尾管固定夹具均设置在同一水平线上，在弧板和尾管固定完毕后，能够保证对接的同心度和垂直度。

4、本发明还进一步设置为：所述第一固定部与第一夹持部固定连接，所述第一夹持部包括若干个石墨夹爪以及设置在石墨夹爪顶部的石墨压板，所述石墨夹爪与石墨压板固定连接。

5、本技术方案中，第一固定部固定连接于第一夹持部，第一夹持部由多个石墨夹爪和石墨压板组成，通过石墨夹爪对石英弧板进行夹紧后，将石墨压板与石墨夹爪进行固定连接，确保整个弧板固定夹具对石英弧板的夹紧和固定。

6、本发明还进一步设置为：所述第二固定部包括底座，所述底座包括底座本体和底座圆管，所述底座本体中间设置有开孔，所述底座四周设置有固定间隙部，所述固定间隙部为若干个卡槽，所述底座圆管外缘设有螺纹。

7、本技术方案中，在第二固定部中，底座设有开孔，能够保证通气，在四周设置有固定间隙部，第二夹持部能够放置在固定间隙部内并且沿着铰接点进行转动。

8、本发明还进一步设置为：所述第二夹持部包括若干个沿圆周分布的夹块，所述夹块的中间位置或者临近中间位置设置有铰接孔，所述铰接孔内贯穿有夹块旋转插销。

9、本技术方案中，第二夹持部主要是通过多个夹块的铰接转动来与石英尾管进行抵接，在每个夹块的中间或者靠近中间的位置设置有铰接孔，通过插入相应的夹块旋转插销来保证夹块能够进行铰接运动。

10、本发明还进一步设置为：所述卡槽的侧边设置有孔位，所述夹块旋转插销贯穿卡槽，并且将夹块与卡槽进行连接。

11、本技术方案中，夹块旋转插销分别插入卡槽侧边的孔位以及上述的铰接孔。进而保证夹块与卡槽的相对固定以及铰接转动。

12、本发明还进一步设置为：所述夹块的顶部设置有夹持固定端，所述夹持固定端包括朝向石英尾管的折弯部分，在夹块夹紧石英尾管时，折弯部分与石英尾管抵接。

13、本技术方案中，夹块的顶部设置有专门的夹持固定端，夹持固定端通过其转弯部分刚好与石英尾管进行无缝的抵接，确保对石英尾管的稳定连接。

14、本发明还进一步设置为：所述推进部为套设在底座圆管上的推板，所述推板中间位置的内壁设置有螺纹，所述推板与底座圆管螺纹连接。

15、本技术方案中，通过推板来驱动相应的夹块进行转动，且具体是通过螺纹连接的方式，调节能够更加的精确。

16、本发明还进一步设置为：所述第一固定部为附着在石墨夹爪底部的固定连接端。

17、本技术方案中，在每个石墨夹爪的底部均设置有相应的固定连接端，固定连接端能够与旋盘机的三爪卡盘进行固定连接，确保整个的弧板固定夹具与旋盘机进行相对固定。

18、本发明还进一步设置为：所述弧板固定夹具靠近第一固定部的一侧设置有弧板密封石墨板。

19、本技术方案中，弧板密封石墨板能够密封弧板尾端保证内部气压。

20、本发明还进一步设置为：所述尾管固定夹具还包括旋转气接头，所述旋转气接头引入氮气并吹向石英尾管。

21、本技术方案中，通过旋转气接头能够充入相应的氮气以使尾管和弧板内部充气。

22、本发明能够带来如下的有益效果：

23、本发明涉及的一种弧板尾管对接装置，采用弧板固定夹具和尾管固定夹具对接弧板和尾管，成形处圆角光滑，利用旋盘机夹持更方便的保证对接的同心度和垂直度，精度更高，接触外表更光滑；且提高生产效率，降低劳动强度，并保证一次生产的合格率，

技术特征：

1.一种弧板尾管对接装置，其特征在于，包括旋盘机（6）以及设置在旋盘机（6）上的弧板固定夹具（1），所述弧板固定夹具（1）包括与旋盘机（6）连接的第一固定部和对石英弧板（4）进行夹持的第一夹持部，所述第一夹持部的另一侧设置有尾管固定夹具（2），所述尾管固定夹具（2）包括对石英尾管（5）进行夹持的第二夹持部和第二固定部，所述第二固定部上设有推进部以使第二夹持部进行夹紧或者松开。

2.根据权利要求1所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述第一固定部与第一夹持部固定连接，所述第一夹持部包括若干个石墨夹爪（1-1）以及设置在石墨夹爪（1-1）顶部的石墨压板（1-2），所述石墨夹爪（1-1）与石墨压板（1-2）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述第二固定部包括底座（2-1），所述底座（2-1）包括底座本体和底座圆管，所述底座本体中间设置有开孔，所述底座（2-1）四周设置有固定间隙部（2-1-1），所述固定间隙部（2-1-1）为若干个卡槽，所述底座圆管外缘设有螺纹。

4.根据权利要求3所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述第二夹持部包括若干个沿圆周分布的夹块（2-4），所述夹块（2-4）的中间位置或者临近中间位置设置有铰接孔，所述铰接孔内贯穿有夹块旋转插销（2-5）。

5.根据权利要求4所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述卡槽的侧边设置有孔位，所述夹块旋转插销（2-5）贯穿卡槽，并且将夹块（2-4）与卡槽进行连接。

6.根据权利要求4或5所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述夹块（2-4）的顶部设置有夹持固定端，所述夹持固定端包括朝向石英尾管（5）的折弯部分，在夹块（2-4）夹紧石英尾管（5）时，折弯部分与石英尾管（5）抵接。

7.根据权利要求3或4或5所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述推进部为套设在底座圆管上的推板（2-2），所述推板（2-1）中间位置的内壁设置有螺纹，所述推板（2-1）与底座圆管螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述第一固定部为附着在石墨夹爪（1-1）底部的固定连接端（1-1-1）。

9.根据权利要求1或2所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述弧板固定夹具（1）靠近第一固定部的一侧设置有弧板密封石墨板（3）。

10.根据权利要求1或2所述的一种弧板尾管对接装置，其特征在于，所述尾管固定夹具（2）还包括旋转气接头（2-3），所述旋转气接头（2-3）引入氮气并吹向石英尾管（5）。

技术总结本发明公开一种弧板尾管对接装置，涉及半导体石英加工技术领域，旨在解决手动焊接无法保证尾管和弧板的同心度和垂直度要求的问题，其包括旋盘机以及设置在旋盘机上的弧板固定夹具，弧板固定夹具包括与旋盘机连接的第一固定部和对石英弧板进行夹持的第一夹持部，第一夹持部的另一侧设置有尾管固定夹具，尾管固定夹具包括对石英尾管进行夹持的第二夹持部和第二固定部，第二固定部上设有推进部以使第二夹持部进行夹紧或者松开。本发明采用弧板固定夹具和尾管固定夹具对接弧板和尾管，成形处圆角光滑，且利用旋盘机夹持更方便的保证对接的同心度和垂直度，精度更高，接触外表更光滑。技术研发人员：王振历,周乐生,吴然红,杨军受保护的技术使用者：杭州大和热磁电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/10