防止泵返油装置及抽真空系统的制作方法

本发明涉及半导体镀膜，更具体地，涉及一种防止泵返油装置及抽真空系统。

背景技术：

1、蒸镀膜设备(如真空电镀机)抽真空时多采用油泵，主要是考虑到缓冲室体积较大，配备油泵是比较经济有效的抽真空方式。但因真空电镀机加油量高或油泵油氧化，会造成返油到缓冲室。薄膜蒸镀工艺用于半导体器件的制备，油对半导体薄膜的膜层质量影响巨大。在油泵口处安装冷阱，在满足抽真空要求的同时能够减少油污对工艺制程的影响，但是从理论角度分析，即使冷阱可以将返油控制到ppm级，也无法做到绝对零返油。长期使用过程中，无法避免油污会对膜层质量造成不良影响，从而最终影响电池器件效率。

2、因此，需要一种防止泵返油装置及抽真空系统，来解决上述问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明的目的在于提出一种防止泵返油装置及抽真空系统，来解决高温镀膜工艺中因泵返油影响成膜质量的问题。

2、基于上述目的本发明提供的一种防止泵返油装置，包括：

3、缓冲室，所述缓冲室内设置有缓冲腔，所述缓冲室的侧面设置有连接管；所述缓冲室的竖直方向以及水平方向上分别设置有至少一个第一开口和至少一个第二开口；所述第一开口和所述第二开口分别设置有第一阀板和第二阀板；

4、触锁组件，所述触锁组件包括互锁机构以及通过所述互锁机构控制的第一触发机构和第二触发机构，所述第一触发机构用于驱动所述第一阀板往复移动，以控制所述第一开口启闭，所述第二触发机构用于驱动所述第二阀板往复移动，以控制所述第二开口启闭；所述互锁机构启闭，以控制所述第一触发机构和所述第二触发机构至多择一开启第一开口或第二开口；

5、驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述触锁组件运作。

6、可选地，所述缓冲室包括顶板、底板以及侧壁，所述侧壁设置于所述顶板和所述底板之间，且三者围合形成所述缓冲腔，所述顶板为所述驱动机构提供支撑，所述第一开口设置在所述底板上，所述第二开口和所述连接管均设置在所述侧壁上，且分别位于所述第一开口的相对两侧；所述触锁组件设置于所述缓冲腔内，且与所述顶板可移动连接。

7、可选地，所述第一阀板罩设在所述第一开口上，所述第一触发机构能够推拉所述第一阀板往复移动；所述第二阀板与所述第二开口的周边可转动连接，所述第二阀板上设置有把手环，所述第二触发机构能够推拉所述把手环，以驱动所述第二阀板往复转动。

8、可选地，所述第一触发机构包括触发轴以及套设于所述触发轴外的第一滑套，所述第一阀板与所述第一滑套连接，所述触发轴与所述驱动机构连接，所述驱动机构驱动所述触发轴沿着所述缓冲室的竖直方向往复移动，来推拉所述第一滑套带动所述第一阀板往复移动。

9、可选地，所述第二触发机构包括触发部以及套设于所述触发部外的第二滑套，所述第二滑套穿设于所述把手环的相对两侧环壁，所述触发部位于两侧所述环壁之间，所述第二滑套至少局部置于所述第一滑套内，且能够沿着所述第一滑套往复移动，来带动所述触发部推拉所述把手环，所述互锁机构能够锁定或解锁所述第一滑套和所述第二滑套的相对位置。

10、可选地，所述互锁机构包括锁定结构和弹性密封罩，所述锁定结构设置在所述第一滑套和所述第二滑套的搭接处，所述锁定结构能够锁定或解锁所述第一滑套和所述第二滑套的相对位置；所述弹性连接罩罩设在所述第一滑套和所述第二滑套的搭接处，所述弹性连接罩的相对两端分别与所述第一滑套和所述第二滑套连接，所述弹性连接罩能够随着所述第二滑套沿着所述第一滑套往复移动而相对伸缩。

11、可选地，所述第一滑套和所述第二滑套在搭接处分别设置有限位孔和安装孔，所述锁定结构包括限位座和第一弹簧，所述限位座上设置有触点，所述触发轴的相应位置设置有与所述触点配合使用的滑槽，所述限位座置于所述安装孔内，所述第一弹簧套设在所述限位座上，且相对两端分别抵接在所述限位座以及所述第一滑套上；所述触点与所述触发轴接触，所述限位座压缩所述第一弹簧发生形变并进入所述限位孔，以锁定所述第一滑套和所述第二滑套的相对位置；所述触点与所述滑槽接触，所述第一弹簧为恢复形变推动所述限位座退出所述限位孔，以解锁所述第一滑套和所述第二滑套的相对位置。

12、可选地，所述第一滑套内设置有缓冲器，所述缓冲器置于所述第一阀板和所述触发轴之间。

13、另外，可选地，所述把手环上连接有第二弹簧，所述第二弹簧远离所述把手环的一端连接在所述缓冲室的所述顶板上。

14、本发明还提出一种抽真空系统，所述抽真空系统包括如上述的防止泵返油装置、至少一个油泵和至少一个非油泵，所述油泵的泵口与第一开口相对设置，第一阀板用于控制所述第一开口和/或所述油泵的泵口的启闭；所述非油泵的泵口与第二开口相对设置，第二阀板用于控制所述第二开口和/或所述非油泵的泵口的启闭。

15、从上面所述可以看出，本发明提供的防止泵返油装置及抽真空系统，与现有技术相比，具有以下优点：驱动机构驱动触锁组件启闭控制第一阀板和第二阀板动作，分别实现在第一开口处的油泵、第二开口处的非油泵与缓冲腔交替通断，实现镀膜过程中泵组无返油；具体地说，在从大气到真空状态时，采用第一开口与油泵配合处理，在此过程中，非油泵保持关闭状态，避免油蒸汽进入非油泵，在达到并维持真空状态时，采用第二开口与非油泵配合处理，在此过程中，油泵保持关闭状态，保证镀膜过程中无返油。进而消除了在真空镀膜工艺中返油的风险，确保整个镀膜工艺过程中无油污，从而提高了膜层质量。防止泵返油装置结构巧妙，空间利用率高，易安装。采用上述抽真空系统，利用防止泵返油装置将非油泵和油泵进行整合，降低了非油泵的使用数量，发挥了油泵抽速快、成本低的优势，又利用非油泵无返油的优势，兼顾成本与效益。

技术特征：

1.一种防止泵返油装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的防止泵返油装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的防止泵返油装置，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的防止泵返油装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的防止泵返油装置，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的防止泵返油装置，其特征在于：

7.根据权利要求6所述的防止泵返油装置，其特征在于：

8.根据权利要求4至7任一项所述的防止泵返油装置，其特征在于：

9.根据权利要求3至7任一项所述的防止泵返油装置，其特征在于：

10.一种抽真空系统，其特征在于：所述抽真空系统包括如权利要求1至9任一项所述的防止泵返油装置、至少一个油泵和至少一个非油泵，所述油泵的泵口与第一开口相对设置，第一阀板用于控制所述第一开口和/或所述油泵的泵口的启闭；所述非油泵的泵口与第二开口相对设置，第二阀板用于控制所述第二开口和/或所述非油泵的泵口的启闭。

技术总结本发明公开了一种防止泵返油装置及抽真空系统，包括：缓冲室，其内设有缓冲腔，缓冲室的侧面设置有连接管；缓冲室的竖直方向以及水平方向上分别设有至少一个第一开口和至少一个第二开口；第一开口和第二开口分别设有第一阀板和第二阀板；触锁组件，其包括互锁机构以及通过互锁机构控制的第一触发机构和第二触发机构，第一触发机构驱动第一阀板往复移动，以控制第一开口启闭，第二触发机构驱动第二阀板往复移动，以控制第二开口启闭；互锁机构启闭，以控制第一触发机构和第二触发机构至多择一开启第一开口或第二开口；驱动机构，其驱动触锁组件运作。本发明公开了一种防止泵返油装置及抽真空系统，解决高温镀膜工艺中因泵返油影响成膜质量的问题。技术研发人员：尚铁炜,刘晓宇,钟大龙,王锐受保护的技术使用者：国家能源投资集团有限责任公司技术研发日：技术公布日：2024/10/10