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一种新型组合式观察窗的制作方法

  • 国知局
  • 2024-10-21 14:21:47

本技术涉及观察窗技术的领域,尤其是涉及一种新型组合式观察窗。

背景技术:

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜常用的方法包括真空蒸镀、阴极溅射、化学气相沉积等。

2、目前柔性材料镀膜设备腔室大多两侧设置有卷绕小车和溅射小车,溅射小车上安装溅射靶机构,通常情况下,溅射小车与镀膜设备腔室固定在一起。卷绕小车与辊系连接在一起,膜需要在辊系上运动一圈,以完成镀膜。卷绕小车需要经常进行移动,即卷绕小车和镀膜设备腔室分离开,将辊系从镀膜设备腔室中拉出来,以方便更换膜卷。由于腔室是密闭容器,为了能从外侧更好地观察阴极起辉和卷绕情况,便需要安装观察窗才能保证看到镀膜设备腔室内的情况。

3、相关技术中记载的观察窗,通常包括内观察窗和外观察窗,内观察窗固定安装在镀膜设备腔室的墙板上,外观察窗安装在卷绕小车的墙板上,这样,通过内观察窗和外观察窗的设置,既可以便于观察,又不会影响卷绕小车与在镀膜设备腔室的结合和分开。

4、但是,由于内部观察窗的玻璃无任何遮挡直接接触溅射区域,导致内部观察窗的玻璃在使用几次后就会镀上涂层,对观察腔室内部情况造成困难,如果每次在镀膜后拆下玻璃进行清洗又会造成很大的工作量。

技术实现思路

1、为了在便于卷绕小车移动的前提下避免靶材溅射到观察窗上,以便于更好地进行观察,本技术提供一种新型组合式观察窗。

2、本技术提供的一种新型组合式观察窗采用如下的技术方案:

3、一种新型组合式观察窗,包括第一观察窗、第二观察窗、遮挡板和传动组件;

4、所述第一观察窗安装在镀膜设备腔室的墙板上,所述第一观察窗包括第一底座和第一玻璃,所述第一底座上成型有第一置物容腔,所述第一玻璃位于所述第一置物容腔内;

5、所述第二观察窗安装在卷绕小车的墙板上,所述第二观察窗包括第二底座和第二玻璃,所述第二底座上成型有第二置物容腔,所述第二玻璃位于所述第二置物容腔内,依次通过所述第二玻璃和所述第一玻璃,能够观察到镀膜设备腔室内部的情况;

6、所述传动组件穿设在所述第一底座和所述第二底座上,所述传动组件与所述第一底座和所述第二底座均转动连接,所述第一观察窗和所述第二观察窗通过所述传动组件实现连接,所述遮挡板安装在所述传动组件上,所述遮挡板位于所述第一观察窗背离所述第二观察窗的一侧,所述传动组件能够带动所述遮挡板转动,当镀膜设备工作时,所述遮挡板对所述第一玻璃遮挡。

7、通过采用上述技术方案,使用时,移动卷绕小车,直至第二观察窗通过传动组件与第一观察窗连接在一起,转动传动件,调整遮挡板的位置,即当镀膜设备工作时,遮挡板对第一玻璃进行遮挡;当需要观察内部情况时,转动遮挡板,便可以观察。这样,该组合式观察窗在实现了能够更好地观察内部情况的前提下,遮挡板能够避免靶材污染玻璃,从而降低清理玻璃带来的工作量,可以降低工作和生产成本;同时通过传动组件的设置,实现在镀膜设备腔室外部便可以调节遮挡板的位置,实用方便。

8、可选的,所述传动组件包括与所述第一底座转动连接的第一转轴和与所述第二底座转动连接的第二转轴;

9、所述第一转轴的两端分别成型有安装部和第一连接部,所述安装部用于安装所述遮挡板,所述第一连接部用于与所述第二转轴连接;

10、所述第二转轴的两端分别成型有操作部和第二连接部,所述操作部用于转动所述第二转轴,所述第二连接部用于与所述第一转轴连接,当所述第一连接部和所述第二连接部连接后,转动所述操作部,所述遮挡板能够转动。

11、通过采用上述技术方案,第一转轴和第二转轴的设置,既实现了传动又可以保证易于分开,便于操作;同时在第一连接部和第二连接部的作用下,第一观察窗和第二观察窗能够实现紧密连接。

12、可选的,所述第一连接部上安装有卡接件,所述第二连接部上安装有卡槽盘,所述卡槽盘与所述第二转轴连接,所述卡接件与所述卡槽盘能够实现卡接。

13、通过采用上述技术方案,在卡接件和卡槽盘的作用下,转动第二转轴,便可以实现转矩的传递,即遮挡板的转动,连接结构简单,同时便于分离。

14、可选的,所述第一底座包括第一转轴座,所述第一转轴与所述第一转轴座转动且滑动连接,所述第一转轴座内成型有安装腔室,所述安装腔室内安装有弹簧,所述弹簧套设在所述第一转轴上,所述第一转轴上连接有压盖,所述压盖设置在所述安装腔室内,所述弹簧靠近所述第二转轴的一端与所述压盖连接。

15、通过采用上述技术方案,在弹簧的作用下,当卷绕小车带动第二观察窗与第一观察窗连接时,弹簧可以起到缓冲作用,从而对第一观察窗起到保护作用。

16、可选的,所述第一转轴上旋拧有调节螺母,所述调节螺母与所述压盖背离所述弹簧的一侧抵接,所述调节螺母能够在所述第一转轴上调节位置。

17、通过采用上述技术方案,根据墙板的厚度不同,可以调节第一转轴伸出第一底座的长度,以保证卷绕小车和镀膜设备腔室紧密贴合时,第一连接部和第二连接部能够实现良好配合,保证传动的正常进行。

18、可选的,所述安装腔室内设置有隔垫,所述隔垫位于所述安装腔室靠近所述安装部的一端,所述第一转轴穿设在所述隔垫上。

19、通过采用上述技术方案,隔垫能够提高安装腔室的密封性,降低发生漏气的可能性。

20、可选的,所述第一转轴包括安装轴、限位轴和转轴主体,所述安装轴、所述限位轴和所述转轴主体一体成型,所述限位轴位于所述安装轴和所述转轴主体之间,所述安装部为所述安装轴和所述限位轴形成的整体,所述安装轴和所述转轴主体的直径均小于所述限位轴的直径。

21、通过采用上述技术方案,安装轴和转轴主体均与限位轴形成阶梯状,一方面便于定位,易于固定遮挡板;另一方面,能够起到限位作用,限制整个第一转轴的滑动范围。

22、可选的,所述第二底座包括第二转轴座,所述第二转轴座内成型有密封腔室,所述密封腔室内安装有骨架油封。

23、通过采用上述技术方案,骨架油封能够起到密封作用,保证了第二转轴在旋转时既可以实现润滑的作用,又不会出现漏气的情况。

24、可选的,所述第一玻璃和所述第二玻璃的两侧均设置有保护件。

25、通过采用上述技术方案,保护件能够在安装第一玻璃和第二玻璃时起到保护作用。

26、可选的,所述操作部上安装有手柄。

27、通过采用上述技术方案,手柄便于转动第二转轴,以提高实用性。

28、综上所述,本技术包括以下至少一种有益技术效果:

29、1.本技术中设置有第一观察窗、第二观察窗、传动组件和遮挡板,第一观察窗和第二观察窗通过传动组件实现组合式连接,同时转动传动件,可以调整遮挡板的位置。这样,该组合式观察窗在实现了能够更好地观察内部情况的前提下,遮挡板能够避免靶材污染玻璃,从而降低清理玻璃带来的工作量,可以降低工作和生产成本;同时通过传动组件的设置,在镀膜设备腔室外部便可以传动以调节遮挡板的位置,实用方便;

30、2.本技术中设置有弹簧和调节螺母,在弹簧的作用下,当卷绕小车带动第二观察窗与第一观察窗连接时,弹簧可以起到缓冲作用,从而对第一观察窗起到保护作用,同时根据墙板的厚度不同,可以调节第一转轴伸出第一底座的长度,以保证第一连接部和第二连接部始终能够实现良好配合;

31、3.根据真空的工作环境,本技术中设置有密封圈、骨架油封和隔垫,大大提高了密封性,以保证正常工作的进行。

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