一种氩离子体全方位抛光设备及其使用方法与流程

本发明涉及光纤器件，具体是一种氩离子体全方位抛光设备及其使用方法。

背景技术：

1、氩离子体抛光是一种利用氩离子束对材料表面进行精细加工的技术，它通过物理溅射作用去除表面原子，从而实现高精度的表面处理。这种技术适用于多种材料，包括硬质和脆性材料，如金属、陶瓷、半导体、复合材料等。氩离子抛光能够提供极小的表面粗糙度，减少表面损伤，并且可以通过调整离子束的参数精确控制材料的去除量。

2、公告号为：cn117884986a公开了一种多面共体光学元件的等离子体抛光装置及抛光方法，通过调节机构的设置，控制器可以控制离子抛光机构与安装工位相对活动，使离子抛光机构与相应光学表面调节到适合抛光的位置和角度，在一个光学表面加工完成后，调节机构可以通过角度调节使离子抛光机构在多个光学表面之间来回切换加工表面，不需要操作人员手动切换需要抛光的加工表面，从而提高加工效率；公告号为：cn110004484b公开了一种sic单晶等离子体电化学抛光装置及其抛光方法，通过将sic单晶夹持在夹持器上，夹持器安装在旋转支架上，通过电机带动旋转，位于旋转台的上方，旋转工作台上固接抛光垫，并且表面开孔处与电极架上的不锈钢电极一一对应，电极架在电机带动滚珠丝杠的作用下实现升降和旋转，由于夹持器和旋转工作台的旋转，sic单晶在抛光垫的作用下被抛光，本发明的装置结构简单，加工方法易于实现。

3、上述专利中，虽然能够提高用户的体验度以及提供私密结算通道以提高安全性，但还存在以下不足：1.现阶段离子体抛光是夹持样品之后通过离子束进行抛光，而目前离子束设备虽然能够实现多角度的调节，使得能够对样品多角度进行表面加工，但不能对样品的全部面进行抛光，需要工作人员重新放置样品才能够对样品进行全面抛光，导致降低了工作效率；2.抛光后的样品需要清洗和干燥处理，以去除残留的污染物和碎屑，在现阶段中，工作人员将抛光后的样品放置在清洗池内进行清洗，然后再放入干燥室内进行干燥，以实现对样品处理，这样一来，会增大工作人员的劳动强度。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种氩离子体全方位抛光设备及其使用方法，旨在解决现有技术中的现阶段离子体抛光不能对样品进行全面的抛光，需要工作人员重新放置样品才能够对样品进行全面抛光，导致工作效率低和增大工作人员劳动强度的问题。

2、为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：所述一种氩离子体全方位抛光设备及其使用方法，包括壳体，所述壳体内设有氩离子体抛光头、上下夹持机构，前后夹持机构、清洗组件和干燥组件，所述壳体上设有抽真空器；

3、所述壳体的内顶壁和内底壁分别固定设有能够沿上下方向延伸的伸缩套板，两个所述伸缩套板将壳体的内部从左到右分割成抛光腔和处理腔；

4、所述氩离子体抛光头和上下夹持机构均设在抛光腔内，且氩离子体抛光头位于上下夹持机构的左侧，所述清洗组件设在处理腔内，所述干燥组件设在处理腔的上侧；

5、所述上下夹持机构能够从上下两侧对样品进行夹持，所述上下夹持机构上设有能够转动的夹持板，使夹持样品以上下方向为轴线进行旋转；

6、所述前后夹持机构能够从前后方向夹持样品，并前后夹持机构能够在壳体内从抛光腔滑动至处理腔内，使前后夹持机构夹持样品移动至清洗组件的上方，所述前后夹持机构上设有能够转动的夹紧板，使夹持样品以前后方向为轴线进行旋转；

7、所述前后夹持机构和上下夹持机构相互交替夹持，使得夹持板和夹紧板交替带动样品进行转动，以使样品实现不同方向的转动；

8、所述前后夹持机构夹持样品移动至清洗组件的上方时，能够使样品落入清洗组件内；

9、所述干燥组件上开设有与清洗组件适配的贯穿孔，使清洗组件能够载着样品升至干燥组件内。

10、优选的，所述壳体内设有沿左右方向延伸的水平驱动机构，所述前后夹持机构与水平驱动机构传动连接。

11、优选的，所述上下夹持机构包括两个上下间隔设置在抛光腔内顶壁和内底壁上升降框架组件和与升降框架组件传动连接的第一驱动装置；

12、两个所述升降框架组件在第一驱动装置的驱动下能够夹持在样品的上下两侧。

13、优选的，每个所述升降框架组件均包括下第一连杆、下第二连杆、上第一连杆和上第二连杆；

14、所述下第一连杆和下第二连杆均转动连接有同一个固定座，所述固定座固定安装在抛光腔内顶壁和内底壁上，所述上第一连杆和上第二连杆均转动连接有同一个连接板；

15、所述第一驱动装置的输出端固定设有固定块，所述第一驱动装置的输出轴穿过固定块传动设有横向设置的第一丝杠，所述上第一连杆和下第一连杆相互铰接连接在固定块上；

16、所述上第二连杆和下第二连杆相互铰接连接有移动块，所述移动块套装在第一丝杠上，且移动块与第一丝杠螺纹连接，使连接板竖向移动；

17、两个所述连接板相对一侧分别与夹持板转动连接，且其中一个夹持板与连接板之间设有能够驱动对应夹持板转动的第三驱动装置，使得夹持样品之后，能够使样品沿水平方向转动。

18、优选的，所述前后夹持机构包括第一伸缩装置、滑轨条和两个前后间隔滑动设在滑轨条上的滑动块；

19、所述水平驱动机构上传动设有承载板，所述第一伸缩装置固定设在承载板上；

20、每个所述滑动块上均铰接连接有斜杆，所述承载板的底部转动设有转动杆，两个所述斜杆均与转动杆转动连接；

21、所述承载板上开设有两个前后间隔设置且上下通透的滑行孔，每个所述所述滑动块上均固定设有滑动插设在滑行孔内的滑动板，其中一个所述滑动板上设有伸缩套杆，所述伸缩套杆与第一伸缩装置的固定端相互连接，另一个所述滑动板与第一伸缩装置的活动杆端面相互连接，使实现两个滑动块同时向相对或相背的方向移动。

22、优选的，每个所述滑动块上均固定设有长板，两个所述长板相对的一侧分别与夹紧板转动连接，且其中一个长板与夹紧板之间设有能够驱动对应夹紧板转动的第二驱动装置，能够使得样品沿竖向方向转动；

23、两个滑动块向相对或相背的方向移动时，能够带动两个夹紧板夹持在样品的前后两侧。

24、优选的，所述清洗组件包括固定设在处理腔内底壁上的清洗框、竖向设在清洗框架内的第二伸缩装置和固定设在第二伸缩装置活动杆端面的升降板；

25、所述清洗框内设有清洗水，所述第二伸缩装置为防水材质，第二伸缩装置能够将承载样品的升降板升至干燥组件内。

26、优选的，所述干燥组件包括沿左右方向设置的第三伸缩装置、多个加热灯和箱体，所述第三伸缩装置设在箱体内，多个所述加热灯均设在箱体的内侧壁上；

27、所述贯穿孔开设在箱体的内底壁上；

28、所述升降板插入贯穿孔时，升降板与箱体的内底壁为同一水平面，所述第三伸缩装置的活动杆端面固定设有推板，所述箱体的远离第三伸缩装置的一侧设有排出门，使得通过推板能够将升至箱体内的样品穿过排出门排出。

29、优选的，所述壳体的上端设有进入门，所述抛光腔内设有临时放置台组件，且临时放置台组件设在进入门的正下方；

30、所述临时放置台组件包括竖向设在抛光腔内底壁的第四伸缩装置和固定设在第四伸缩装置活动杆端部的放置板；

31、所述样品通过进入门能够放置在放置板上，以便于前后夹持机构能够夹持样品。

32、优选的，具体操作如下：

33、s1，将样品通过进入门放置在放置板上；

34、s2，通过水平驱动机构将前后夹持机构移动至样品的前后两侧，之后再驱动前后夹持机构启动，使得将样品进行夹持，并夹持样品移动至上下夹持机构之间停止，此时放置板在第四伸缩装置的作用下收缩至抛光腔内；

35、s3，通过第二驱动装置的启动，能够带动夹紧板和样品转动，使得带动样品以前后方向为轴线进行旋转，待转动方向调整好后则停止；

36、s4，通过上下夹持机构的驱动，使得上下夹持机构夹持在调整好方位的样品上下两侧，此时前后夹持机构脱离样品，之后通过第三驱动装置的驱动，使得带动样品以上下方向为轴线进行旋转，以调节样品的抛光方位；

37、s5，待调整样品的抛光方位后，依次对氩离子体抛光头的位置进行调整，以及通过抽真空器进行抽气，之后就可以对样品进行抛光，而需要对样品不同面进行抛光时，则可以重复s3-s5的操作，以实现对样品不同面进行抛光；

38、s6，抛光完成后，前后夹持机构夹持样品移动至移动至清洗框的正上方，并将样品落入清洗水中，进行清洗；

39、s7，待清洗完成后，通过第二伸缩装置能够将承载样品的升降板升至箱体内，在加热灯作用下，对样品进行干燥，而后在第三伸缩装置的作用下，将样品沿排出门推出，使得抛光完成。

40、有益效果是：1.样品在调整的过程中，可以通过上下夹持机构上的夹持板和前后夹持机构上的夹紧板进行交替夹持样品，上下夹持机构通过夹持板将样品夹持时，可驱动第三驱动装置，使得带动夹持板转动，以带动样品沿上下方向轴线进行旋转，而前后夹持机构通过夹紧板进行夹持时，上下夹持机构脱离，之后再驱动第二驱动装置，使得带动样品沿前后方向轴线进行旋转，使得调整样品的抛光面，以达到样品全方位进行抛光的目的。

41、2.抛光完成之后，能够通过前后夹持机构沿着水平驱动机构移动，使得前后夹持机构夹持样品移动至清洗组件的上方，之后抛光厚的样品落入清洗框内进行清洗，此过程不需要工作人员取出再放入，大大降低了工作人员的劳动强度。

42、3.在清洗完的样品可通过第二伸缩装置将载有样品的升降板升至贯穿孔处，并且升降板与箱体的内底壁为同一水平面，之后通过加热灯能够对样品进行干燥，待干燥完成后，可将样品从排出门排出，此过程不需要工作人员手动操作，进而起到了提高工作效率的作用。