一种蒸发室挡板机构的制作方法

本申请涉及真空蒸发镀膜的，尤其是涉及一种蒸发室挡板机构。

背景技术：

1、真空蒸发镀膜（简称蒸镀）是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之汽化，蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。蒸镀技术有着成膜速率快，沉积膜层纯净等特点。参照图1，为本申请的背景技术图，在蒸发腔室01内，有蒸发源02、挡板04和基材03等主要的结构。在设备工作初期，蒸发源02刚刚启动时需要一段时间，待蒸发源02启动完成后，挡板04打开，使蒸发耗材附着在基材03上。

2、但是，旧式挡板的旋转结构使挡板的开合有很大的空间要求。而且当挡板受热出现热变形后，挡板的开合容易出现卡顿。

技术实现思路

1、为了减少挡板开合占用的空间，减少挡板打开时出现的卡顿现象，本申请提供一种蒸发室挡板机构。

2、本申请提供的一种蒸发室挡板机构采用如下的技术方案：

3、一种蒸发室挡板机构，包括底架、滑动连接在所述底架上的挡板结构以及驱动所述挡板结构平移打开的传动结构；

4、所述底架用于固定在蒸发腔室侧壁上，包括安装支架以及安装在所述安装支架上的两个传动支撑板，两个传动支撑板之间形成供所述挡板结构平移滑动的移动平面；

5、所述挡板结构，包括滑动连接在两个所述传动支撑板之间的挡板本体以及安装在所述挡板本体上的冷却组件，其中，所述挡板本体的内部加工有与所述冷却组件连通的冷却通道，

6、所述传动结构，包括驱动件、第一传动件以及第二传动件，其中，所述驱动件与所述第一传动件位于所述挡板本体的同侧且位于蒸发腔室的外部，所述第二传动件设置有两组并分别位于所述挡板本体的两侧，两组所述第二传动件通过穿设其中的传动轴实现传动。

7、通过采用上述技术方案，传动结构的设置可以实现挡板结构沿传动支撑板平移滑动打开，大大减少了挡板结构开合的空间；通过在挡板本体内部加工出冷却通道，并在挡板本体上安装冷却组件，使得制冷物可以通入冷却通道内部，实现与挡板本体的直接接触，使得冷却组件具有更好的冷却效果，减少了挡板本体受热出现热变形的概率，保障了挡板本体的顺滑移动；驱动件和第一传动件设置在蒸发腔室的外部，可以避免蒸发耗材附着的驱动件和第一传动件上，保障驱动件和第一传动件的控制精度。

8、可选的，所述驱动件以及所述第一传动件均通过u型卡座安装在蒸发腔室外部，所述驱动件包括安装在所述u型卡座顶面的驱动电机，所述第一传动件安装在所述u型卡座形成的开口内，所述第一传动件包括与传动轴连接的联轴器、套设在所述联轴器外部的同步带轮以及套设在所述驱动电机输出轴和所述同步带轮之间的同步带。

9、通过采用上述技术方案，当驱动电机启动时，带动同步带轮和同步带转动，同步带转动带动传动轴转动，以驱动挡板本体出现移动。

10、可选的，所述驱动电机使用伺服电机。

11、通过采用上述技术方案，伺服电机具有较高的控制精度，便于精确挡板本体的开合。

12、可选的，所述第二传动件包括套设在所述传动轴上的传动齿轮以及安装在所述挡板本体两侧的用于与所述传动齿轮啮合的传动齿条。

13、通过采用上述技术方案，通过齿轮齿条的传动形式，不仅传动精确，可以实现挡板本体开合位置的精确控制，并且体积小巧，减少挡板本体开合占用的空间。

14、可选的，所述挡板本体的两侧安装有齿条固定座，所述传动齿条与所述齿条固定座可拆卸连接。

15、通过采用上述技术方案，由于传动齿条设置在蒸发腔室内，当传动齿条受热出现热变形或者因为蒸发耗材附着造成传动精度下降时，可以及时更换，保障挡板本体的能够顺滑移动以及精确的开合。

16、可选的，每个所述齿条固定座背离所述挡板本体的一侧均安装有导向轮，每个所述传动支撑板的顶面上开设有凹槽以形成用供所述导向轮行走的导向轨道。

17、通过采用上述技术方案，导向轮的设置可以减少挡板本体和传动支撑板之间的摩擦阻力。

18、可选的，各所述导向轨道的两端均安装有限位件。

19、通过采用上述技术方案，限位件的设置保证了挡板本体的运动安全，避免挡板本体滑脱。

20、可选的，所述冷却组件包括安装在所述挡板本体上的进水管道、出水管道以及固定在所述冷却通道顶部的水道盖板，所述进水管道以及所述出水管道的端口均安装有控制件。

21、通过采用上述技术方案，通过冷却水管向挡板本体内部的通入冷却水，使得冷却水与挡板本体进行直接的接触，对挡板本体的冷却效果更好，降低挡板本体出现热变形的概率。

22、可选的，所述水道盖板的一侧一体成型有用于避免溢水的隔水垫，所述隔水垫盖设在所述冷却通道的上方，所述挡板本体上开设有供所述隔水垫嵌入的隔水槽，所述隔水槽与所述冷却通道连通，且所述隔水槽的两端凸出于所述冷却通道的两端。

23、通过采用上述技术方案，隔水垫嵌设在冷却通道上方的隔水槽内，可以对冷却通道实现较好的密封效果，降低冷却水出现外溢的概率。

24、可选的，所述安装支架包括用于固定在蒸发腔室侧壁上的四个安装底座、安装在各所述安装底座上的支腿以及安装在同侧两个所述支腿之间的两个横梁，各所述横梁的两端开设有供所述传动支撑板卡入的限位凹槽。

25、通过采用上述技术方案，底架具有较高的支撑强度，保障了挡板本体的顺滑移动。

26、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

27、1.本申请通过传动结构的设置可以实现挡板结构沿传动支撑板平移滑动打开，大大减少了挡板结构开合的空间；通过在挡板本体内部加工出冷却通道，并在挡板本体上安装冷却组件，使得制冷剂可以通入冷却通道内部，实现与挡板本体的直接接触，使得冷却组件具有更好的冷却效果，减少了挡板本体受热出现热变形的概率，保障了挡板本体的顺滑移动；

28、2.通过齿轮齿条传动的形式，可以精确控制挡板本体的打开程度；

技术特征：

1.一种蒸发室挡板机构，其特征在于：包括底架(1)、滑动连接在所述底架(1)上的挡板结构(2)以及驱动所述挡板结构(2)平移打开的传动结构(3)；

2.根据权利要求1所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：所述驱动件(31)以及所述第一传动件(32)均通过u型卡座(34)安装在蒸发腔室(01)外部，所述驱动件(31)包括安装在所述u型卡座(34)顶面的驱动电机(311)，所述第一传动件(32)安装在所述u型卡座(34)形成的开口内，所述第一传动件(32)包括与传动轴连接的联轴器(321)、套设在所述联轴器(321)外部的同步带轮(322)以及套设在所述驱动电机(311)输出轴和所述同步带轮(322)之间的同步带(323)。

3.根据权利要求2所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：所述驱动电机(311)使用伺服电机。

4.根据权利要求1所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：所述第二传动件(33)包括套设在所述传动轴上的传动齿轮(331)以及安装在所述挡板本体(21)两侧的用于与所述传动齿轮(331)啮合的传动齿条(332)。

5.根据权利要求4所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：所述挡板本体(21)的两侧安装有齿条固定座(4)，所述传动齿条(332)与所述齿条固定座(4)可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：每个所述齿条固定座(4)背离所述挡板本体(21)的一侧均安装有导向轮(6)，每个所述传动支撑板(12)的顶面上开设有凹槽以形成用供所述导向轮(6)行走的导向轨道(121)。

7.根据权利要求6所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：各所述导向轨道(121)的两端均安装有限位件(7)。

8.根据权利要求1所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：所述冷却组件(22)包括安装在所述挡板本体(21)上的进水管道(221)、出水管道(222)以及固定在所述冷却通道(211)顶部的水道盖板(224)，所述进水管道(221)以及所述出水管道(222)的端口均安装有控制件(223)。

9.根据权利要求8所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：所述水道盖板(224)的一侧一体成型有用于避免溢水的隔水垫(225)，所述隔水垫(225)盖设在所述冷却通道(211)的上方，所述挡板本体(21)上开设有供所述隔水垫(225)嵌入的隔水槽(212)，所述隔水槽(212)与所述冷却通道(211)连通，且所述隔水槽(212)的两端凸出于所述冷却通道(211)的两端。

10.根据权利要求1所述的蒸发室挡板机构，其特征在于：所述安装支架(11)包括用于固定在蒸发腔室(01)侧壁上的四个安装底座(111)、安装在各所述安装底座(111)上的支腿(112)以及安装在同侧两个所述支腿(112)之间的两个横梁(113)，各所述横梁(113)的两端开设有供所述传动支撑板(12)卡入的限位凹槽(1131)。

技术总结本申请涉及一种蒸发室挡板机构，其包括底架、滑动连接在底架上的挡板结构以及驱动挡板结构平移打开的传动结构；底架包括安装支架以及安装在安装支架上的两个传动支撑板，两个传动支撑板之间形成供挡板结构平移滑动的移动平面；挡板结构包括滑动连接在两个传动支撑板之间的挡板本体以及安装在挡板本体上的冷却组件，挡板本体的内部加工有与冷却组件连通的冷却通道；传动结构包括驱动件、第一传动件和第二传动件，驱动件与第一传动件位于挡板本体的同侧且位于蒸发腔室的外部，第二传动件设置有两组并分别位于挡板本体的两侧，两组第二传动件通过穿设其中的传动轴实现传动。本申请具有减少挡板开合占用的空间，减少挡板打开时出现的卡顿现象的效果。技术研发人员：刘学良,刘旭,吴子敬,靳诺受保护的技术使用者：北京北方华创真空技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17