内部电源结构、半导体器件及内部电源监测方法与流程

本公开涉及半导体领域，尤其涉及一种内部电源结构、半导体器件及内部电源监测方法。

背景技术：

1、在集成电路中，故障或负载等原因会造成电源电压异常，使得电子设备接收到的电压出现异常，进而，电子设备无法正常工作。因此，集成电路中通常会增加监测电源电压的电压监测电路，以判断电源输出的电压是否出现异常。一般情况下，传输内部电源信号的布线(wire)与其他布线之间的耦合效应(coupling effect)会使得电源信号受到破坏，一定程度上影响了监测结果的准确性。

技术实现思路

1、有鉴于此，本公开实施例提供了一种内部电源结构、半导体器件及内部电源监测方法，以避免布线的耦合效应对监测电源信号的过程造成干扰。

2、本发明的技术方案是这样实现的：

3、本公开实施例提供了一种内部电源结构，包括：电源产生电路、内部电源布线、第一开关电路、内部电源监测布线和焊盘；电源产生电路，其输出端与内部电源布线耦接，用于生成内部电压；内部电源布线，通过第一开关电路与内部电源监测布线耦接，用于传输内部电压；内部电源监测布线，耦接焊盘，用于在第一开关电路导通时，向焊盘传输内部电压。

4、上述方案中，内部电源布线与内部电源监测布线同层布置。

5、上述方案中，内部电源结构还包括第二开关电路；第二开关电路分别耦接内部电源监测布线和焊盘，用于导通时将内部电压传输至焊盘。

6、上述方案中，第一开关电路和第二开关电路均为传输门电路。

7、本公开实施例还提供了一种半导体器件，包括如上述方案中的内部电源结构。

8、上述方案中，半导体器件包括：衬底以及与内部电源监测布线异层设置的信号布线；信号布线沿垂直于衬底的方向上的投影与内部电源监测布线沿垂直于衬底的方向上的投影至少部分重叠。

9、上述方案中，半导体器件还包括：内部电源监测控制电路；内部电源监测控制电路，用于当半导体器件处于内部电源监测模式时，导通第一开关电路；或者，当半导体器件处于非内部电源监测模式时，关闭第一开关电路。

10、上述方案中，半导体器件为半导体存储器。

11、上述方案中，信号布线为地址信号线，焊盘为数据输入/输出焊盘。

12、本公开实施例提供了一种内部电源监测方法，包括：提供内部电源结构；内部电源结构包括：电源产生电路、内部电源布线、第一开关电路、内部电源监测布线和焊盘；电源产生电路的输出端与内部电源布线耦接；内部电源布线通过第一开关电路与内部电源监测布线耦接；内部电源监测布线耦接焊盘；由电源产生电路生成内部电压；将第一开关电路导通，通过内部电源监测布线向焊盘传输内部电压。

13、上述方案中，内部电源结构还包括第二开关电路；第二开关电路分别耦接内部电源监测布线和焊盘；将第一开关电路导通之后，内部电源监测方法还包括：将第二开关电路导通，将内部电压传输至所述焊盘。

14、本公开实施例中，内部电源结构包括：电源产生电路、内部电源布线、第一开关电路、内部电源监测布线和焊盘。电源产生电路，其输出端与内部电源布线耦接，用于生成内部电压；内部电源布线，通过第一开关电路与内部电源监测布线耦接，用于传输内部电压；内部电源监测布线，耦接焊盘，用于在第一开关电路导通时，向焊盘传输内部电压。这样，能够基于第一开关电路的导通状态，控制内部电压的传输过程；在第一开关电路导通的情况下，将内部电压通过内部电源监测布线引出至焊盘，以便于监测电源产生电路生成的内部电压。在第一开关电路未导通的情况下，能够避免内部电压传输至内部电源监测布线，从而，能够消除内部电源监测布线可能带来的干扰，避免造成内部电压不准确。

技术特征：

1.一种内部电源结构，其特征在于，包括：电源产生电路、内部电源布线、第一开关电路、内部电源监测布线和焊盘；

2.根据权利要求1所述的内部电源结构，其特征在于，所述内部电源布线与所述内部电源监测布线同层布置。

3.根据权利要求2所述的内部电源结构，其特征在于，所述内部电源结构还包括第二开关电路；

4.根据权利要求3所述的内部电源结构，其特征在于，所述第一开关电路和所述第二开关电路均为传输门电路。

5.一种半导体器件，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的内部电源结构。

6.根据权利要求5所述的半导体器件，其特征在于，所述半导体器件包括：衬底以及与所述内部电源监测布线异层设置的信号布线；所述信号布线沿垂直于所述衬底的方向上的投影与所述内部电源监测布线沿垂直于所述衬底的方向上的投影至少部分重叠。

7.根据权利要求6所述的半导体器件，其特征在于，所述半导体器件还包括：内部电源监测控制电路；

8.根据权利要求7所述的半导体器件，其特征在于，所述半导体器件为半导体存储器。

9.根据权利要求8所述的半导体器件，其特征在于，所述信号布线为地址信号线，所述焊盘为数据输入/输出焊盘。

10.一种内部电源监测方法，其特征在于，包括：

11.根据权利要求10所述的内部电源监测方法，其特征在于，所述内部电源结构还包括第二开关电路；所述第二开关电路分别耦接所述内部电源监测布线和所述焊盘；

技术总结本公开涉及半导体领域，公开了一种内部电源结构、半导体器件及内部电源监测方法，内部电源结构包括：电源产生电路、内部电源布线、第一开关电路、内部电源监测布线和焊盘。电源产生电路，其输出端与内部电源布线耦接，用于生成内部电压；内部电源布线，通过第一开关电路与内部电源监测布线耦接，用于传输内部电压；内部电源监测布线，耦接焊盘，用于在第一开关电路导通时，向焊盘传输内部电压。这样，在第一开关电路导通的情况下，将内部电压引出至焊盘，以便于监测电源产生电路生成的内部电压。在第一开关电路未导通的情况下，避免内部电压传输至内部电源监测布线，消除内部电源监测布线可能带来的干扰，避免造成内部电压不准确。技术研发人员：卢美香受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17